Доброго времени суток всем моим читателям!

Сразу хочу отметить, что

это внеплановая статья, не относится к какой либо теме. Эту статью я давно
обещал написать. Она будет достаточно объёмной. В ней я постараюсь как
можно подробнее раскрыть все аспекты герконов, что это такое, зачем они
нужны; расскажу о своей работе, где я работаю, чем занимаемся, какие
работы ведутся отделом над герконами. Данная статья является
дополнением, подробным пояснением к работе [Горбунов С. В., Суворов Д.
В., Шевелёв В. А. Ионно-плазменная технология формирования защитного
покрытия герконов // Актуальные исследования. 2023. №20 (150). Ч.I. С. 12-
20. URL: https://apni.ru/article/6215-ionno-plazmennaya-tekhnologiya-
formirovaniya] и к моей магистерской диссертации: «Ионно – плазменная
технология формирования защитных покрытий контактов герконов».

До этого мы с вами начали большую тему, целый цикл статей,

посвящённый биполярным транзисторам, статья идёт под номером 6.
Разобрали только начало, 6.1. Конечно же, мы продолжим рассматривать эту
тему и дальше, как только разберёмся с герконами.
 Понятие герконов и их практическое применение.

В 1922 году профессором Петербургского университета В. И.

Коваленковым было изобретено реле с магнитоуправляемыми контактами.

В 1936 году независимо двумя учёными — профессором

Ленинградского электротехнического университета С. К. Улитовским и
инженером американской компании Bell Telephone Laboratories Уолтером
Эллвудом — магнитоуправляемые контакты было предложено поместить в
герметичную оболочку. Однако из-за невостребованности и технологической
сложности производства это изобретение не сразу стало широко известным,
и было запатентовано только в 1941 году в США.

Если обращаться к моей магистерской диссертации или к литературе

[С.М. Карабанов, Р.М. Майзельс, В.Н. Шоффа. Магнитоуправляемые
герметизированные контакты (герконы) и изделия на их основе. – М.:
Интеллект. – 2011 г. – 408 с.], то понятию геркон даётся следующее
определение:

Геркон (магнитоуправляемый герметизированный контакт) –

электромеханическая система, состоящая из контактов (контакт-деталей),
запаянных в герметичный стеклянный баллон, заполненный защитным газом,
в качестве которого используется азот, аргон, водород или их смеси.
Контакты представляют собой отрезки ферромагнитной проволоки
диаметром 0.4–1.3 мм, изготовленной из железоникелевого сплава
(пермаллоя), с плоской рабочей частью, непосредственно участвующей в
коммутационных процессах геркона. Между контактами создается зазор
шириной 30–200 мкм.

Говоря более простым языком, то геркон – это есть не что иное, как
переключатель, контакты которого запаяны в герметичный стеклянный
баллон. Действие такого переключателя основано на взаимодействии его
контактов с окружающим магнитным полем. Рассмотрим на примере геркона
МКА 14103. Самый массово распространённый геркон. В своём исходном
положении его контакты разомкнуты, и через геркон не протекает
электрический ток. Если к геркону подносить магнит, то его контакты под
действием магнитного поля намагничиваются и притягиваются друг к другу,
в итоге замыкаются, в таком случае через геркон протекает электрический
ток. Внешний вид геркона представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 – Внешний вид геркона.

1 – выводы геркона

2 – стеклобаллон геркона

3 – контакт – детали геркона (к/д) или контакты геркона.

Я уже много писал о взаимодействии контактов герконов с внешним

магнитным полем. Контакты герконов делают из магнитного материала, в
нашем случае речь идёт о пермаллое, сплаве железа и никеля.

Многие из вас не слышали и не знают, что такое герконы. Но они одни

из самых старших радиоэлементов и до сих пор много где применяются.
Одни из самых первых компьютерных клавиатур были разработаны на
основе герконов. Сейчас герконы активно применяются в охранных
системах, в автомобилестроении, в противопожарных системах
безопасности.

На примере охранной системы. Возьмём сигнализацию. Представим

закрытую дверь. На двери и на раме двери установлены две небольшие
коробочки. В той, что на двери, располагается магнит. В той, что на раме
двери, располагается геркон. Когда дверь закрыта, магнит располагается
рядом с герконом, через геркон протекает сигнал и идёт на мозг охранной
сигнализации (микроконтроллер). В этом случае микроконтроллер видит
наличие сигнала от двери и воспринимает это, как то, что всё в порядке.
Когда дверь открывается, магнит от геркона отдаляется, контакты геркона
размыкаются и через геркон не протекает электрический ток, в цепи
возникает обрыв и сигнал на микроконтроллер не поступает. Тогда
микроконтроллер понимает, что что–то не так и включает звуковое
оповещение, сигнализирующее о взломе.

Что касаемо автомобилестроения, то в современном автомобиле

используется как минимум около 30 датчиков на герконах. Напишу о самом
наглядном. Когда в машине открываешь какую-либо дверь, включается
подсветка ног. В данном случае работает геркон переключающего типа. В
корпусе машины вблизи района дверей помещают магнит. В самой двери
геркон, и после него в электрической цепи располагается лампочка
подсветки. Геркон переключающего типа имеет три контакта. Два контакта
статических, выводы которых направлены на разные участки электрической
цепи. И третий контакт переключающийся. Он меняет своё положение между
двумя статическими контактами в зависимости от полярности магнитного
поля. В исходном состоянии, когда дверь машины закрыта, магнит
расположен вблизи геркона, переключающийся контакт геркона замкнут на
цепь с заземлением и, соответственно, лампочка подсветки ног не светится.
Когда дверь открываем, магнит отдаляется от геркона, происходит процесс
перемагничивания контактов геркона, и переключающийся контакт геркона
переключается на цепь с напряжением автомобильного питания. В этом
случае напряжение и, соответственно, ток поступают на лампочку подсветки
ног и она светится.

Поговорим ещё о противопожарных системах безопасности.

Рассмотрим принцип работы теплового пожарного извещателя на основе
геркона и легкоплавкого материала. Так же, как и в прошлых двух случаях,
рассмотрим чисто на словах, не вникая в подробности, в конструкции и так
далее. Говорим с вами о сложном простыми словами для понимания.

В конструкции теплового пожарного извещателя установлен геркон, к

которому крепится легкоплавкий материал, а к этому материалу крепится
магнит, назовём его первый магнит. На некотором расстоянии от геркона
крепится ещё один магнит, второй магнит. Он направлен так, чтобы
притягивать к себе магнит, расположенный на легкоплавком материале, то
есть, чтобы притягивать к себе первый магнит. Пока температура в норме,
легкоплавкий материал цел и не разрушается, таким образом, первый магнит
остаётся вблизи геркона, контакты геркона замкнуты, через геркон протекает
электрический ток. Именно так с извещателя на микроконтроллер поступает
сигнал о том, что возгорания нет. Когда же температура превышает
некоторый порог, легкоплавкий материал начинает разрушаться, теряет свою
жёсткость. Тогда первый магнит притягивает вторым, то есть начинает
перемещаться и отдаляться от геркона. Контакты геркона размыкаются,
электрический ток через геркон не протекает, в электрической цепи обрыв.
Следовательно, микроконтроллер включает звуковое оповещение,
сигнализирующее о возгорании.
 Производство по выпуску герконов.

В настоящее время производством герконов занимаются следующие

предприятия:

- компания Oki (Япония);

- Standex – meder (США - Германия);

- Comus (США);

- Рязанский завод металлокерамических приборов [АО «РЗМКП»]

(Россия, Рязань).

АО «РЗМКП» – российская компания, которая занимает 14% мирового

рынка герконов, при этом 90% продукции поставляется на экспорт. В
настоящее время предприятие выпускает 220 млн. шт. герконов в год. Из них
150 млн. шт. – МКА - 14103 и 50 млн. шт. – МКА - 10110.

Не сложно догадаться, что я работаю инженером – конструктором в

научно техническом отделе (НТО) на АО «РЗМКП».

Наш отдел не участвует напрямую в технологическом процессе (ТП)

изготовления герконов или в устройствах на их основе. НТО занимается
модернизацией ТП по изготовлению герконов. Например, на той или иной
операции ТП периодически возникает брак по неизвестным причинам. Наша
задача смоделировать у себя в лаборатории максимально точно операцию
ТП, найти причину брака, научно объяснить природу её возникновения,
предложить решение по устранению проблемы, провести у себя
эксперименты и испытания, результаты которых демонстрируют, что
найденное решение устраняет проблему и его необходимо внедрять в
производство. Именно таким образом была изобретена совершенно новая
технология формирования защитных покрытий контактов герконов, которая
способна полностью заменить традиционную гальваническую технологию.
 Технологический процесс изготовления герконов на АО «РЗМКП» и не
только там, состоит из следующих операций, представленных на рисунке 2.

Рисунок 2 – Схема технологического маршрута изготовления герконов в настоящее

время.
 Из рисунка видно, что на предприятие поступает отдельно стекло и
отдельно проволока. Марка стекла используемая для производства герконов-
С93 – 3. Это электровакуумное зеленое стекло платиновой группы. Выбор
был сделан в пользу этого стекла именно из–за двух факторов. Первое – его
температурный коэффициент линейного расширения (ТКЛР) близок по
значению к ТКЛР пермаллоя, но чуть меньше, что даёт действие силы
сжатия на стеклобаллон в месте спая после заварки. Второе – С93 - 3 имеет в
своём составе закись железа (FeO), благодаря этому стекло обладает высокой
степенью поглощения инфракрасного излучения, что позволяет применять
его при заварке герконов источниками инфракрасного (ИК) нагрева.

Стекло и проволока отдельно друг от друга проходят

последовательность операций, и затем идёт сборка готовой конструкции
геркона. Стоит отметить, что на АО «РЗМКП» объём стеклобаллона
заполняют азотом. Его давление составляет около 40 кПа или 300 мм. рт. ст.
(300 Торр), что ниже атмосферного давления. Как упоминалось выше,
стеклобаллон может быть заполнен одним из инертных газов, таких как: азот,
аргон и водород. На предприятии выбор был сделан в пользу азота. Это
связано с тем, что водород очень дорогой и является взрывоопасным. А если
выбирать между аргоном и азотом, то грубо говоря, они похожи, но выбран
был азот, так как он дешевле. Таким образом, в совокупности таких
факторов, как низкое давление и наличия азота даёт нам инертную
атмосферу, которая защищает контакты герконов от окисления.

Из рисунка 2 видно, что защитное покрытие на поверхности контактов

геркона формируется до того, как производится сборка конструкции геркона.
Как упоминалось выше, защитное покрытие контактов герконов в
традиционной технологии получают гальваническим способом.

Используемый технологический прием имеет ряд существенных

недостатков:
 – трудоемкость, токсичность и нестабильность процесса;

– дороговизна оборудования и используемых электролитов;

– электро-и материалоемкость;

– расход и потери драгоценных материалов (золото, палладий, родий,

рутений – используют в качестве защитных покрытий);

– разброс параметров получаемых покрытий.

В связи с этим актуальным является поиск альтернативных способов

нанесения защитных покрытий, позволяющих уменьшить трудоемкость
изготовления, исключить использование дорогостоящих материалов и
снизить себестоимость герконов.

Огромный интерес вызвала ионно-плазменная обработка, она же и

ионно–плазменное азотирование. Такой вид обработки уже давно известен и
применяется в технологических масштабах. Суть обработки заключается в
том, что на поверхности металла формируются нитридосодержащие
защитные покрытия. Да, такая обработка существует, но условия её
применения и реализации сильно далеки от её использования в герконах. Но
нас это не остановило. Мы взялись за реализацию данной обработки в ранее
не используемых условиях. Стали реализовывать ионно–плазменную
обработку (ИПО) внутри геркона.

Почему мы решили за это взяться!? Для образования нитридов

необходима рабочая камера наполненная азотом под небольшим давлением.
Такой рабочей камерой является каждый геркон. То есть в самой
конструкции геркона есть всё для реализации ИПО.

Принципиальное отличие предлагаемой технологии формирования

нитридосодержащих покрытий от известных заключается в том, что
обработку поверхностей контактов герконов необходимо осуществлять при
фиксированных и ранее не используемых условиях: давление азота 300 мм
рт. ст., межэлектродный зазор 30–200 мкм, длина стеклобаллона 14–50 мм,
температура контактов не превышает 500°С (температуру размягчения
материала стеклобаллона). В связи с этим опыт применения известных
вариантов ИПО не может быть механически» использован для решения
поставленной задачи.

По предлагаемой в работе технологии процесс изготовления герконов

будет иметь следующую структуру:

Рисунок 3 – Схема технологического маршрута изготовления герконов по

предлагаемой технологии.

Далее поговорим с вами о плазме, о природе тлеющего разряда, ведь

именно он участвует в процессе ИПО, и поговорим о самой ИПО, о её физике
и принципе. ИПО рассмотрим уже на итоговой работающей установке по
ИПО, которая основана на синусоидальном сигнале промышленной частоты.
До этого я уже не раз писал в своих работах, в том числе в магистерской
диссертации и говорил на защите, что уже существовала установка ИПО на
основе сигналов импульсной формы частотой 25 кГц. Про неё тут ничего
писать и говорить не буду. Лишь напишу, что в качестве основы для своей
работы, мы использовали режимы из импульсной установки. Почему
импульсная установка не нашла своего применения и все возможные
подробности о ней, вы можете прочитать в моей магистерской диссертации.
Но, забегая вперёд, напишу, что именно наша установка, на основе
синусоидального сигнала промышленной частоты, уже нашла своё
применение и только набирает обороты.

Также хочу упомянуть, что помимо того, что применение ИПО, вместо
гальваники, позволит устранить все минусы, которые связаны с гальваникой,
так ещё и уменьшается себестоимость герконов в 1.5 раза, что делает наши
герконы ещё более конкурентоспособными. Себестоимость уменьшается в
счёт того, что не происходит затрат на драгоценные металлы, как при
гальванике, из которых и формировали защитные покрытия (такие
драгоценные металлы как палладий, родий, рутений). И есть ещё одна
особенность, ТП по изготовлению герконов становится намного легче, ибо
формирование защитных покрытий контактов герконов теперь происходит
не отдельно на каждом контакте, а потом заварка, то есть сборка в готовую
конструкцию геркона. А уже защитное покрытие контактов герконов
формируется в готовом герконе, на финишной стадии его изготовления.

Возник вопрос, почему нельзя сформировать нитридосодержащее

покрытие на контактах герконов, затем собрать геркон в готовую
конструкцию, то есть заварку контактов с стеклобаллоном. Сложность
заключается в том, что в этом случае придётся конструировать отдельную
рабочую камеру, в которую будут загружаться контакты герконов. И зачем
так усложнять, когда есть решение на глазах. В готовом герконе легко
реализовать ИПО и сформировать на поверхности контактов защитное
нитридосодержащее покрытие. Ведь готовый геркон даёт все возможности.
Его контакты, как два электрода, зазор между контактами, как
межэлектродное расстояние для формирования тлеющего разряда,
стеклобаллон, наполненный азотом под конкретным давлением, как рабочая
камера.

Природа тлеющего разряда.

Плазма.

Прежде чем рассуждать о природе тлеющего разряда, нужно понимать,

что такое плазма. Плазма была впервые обнаружена Уильямом Круксом в
1879 году, он назвал её «Сияющей материей». Только в 1928 году «Сияющую
материю» Ирвинг Ленгмюр назвал плазмой по аналогии с термином из
медицины, плазма крови. Плазма в переводе означает желе.

Из медицины: Плазма крови ― это жидкая часть крови, состоящая из

растворённых в воде белков, витаминов, гормонов, которая переносит
красные тельца (эритроциты, основная функция перенос кислорода и
собирают углекислый газ) и белые тельца (лейкоциты, основная функция
бороться с инфекционными агентами).

Состав плазмы: Н2О (90—92%) и сухой (плотный) остаток (8—10%),

который включает неорганические и органические вещества.

То есть из определения видно, что плазма крови это раствор, которые

является переносчиком, так же как и плазма в физике, своего рода раствор,
смесь, желе кучи заряженных частиц, которое хорошо проводит
электрический ток, то есть является переносчиком электрического тока.

Читая школьные учебники физики, большое количество ссылок в

интернете, сталкиваешься с определением плазмы. Плазму определяют, как
четвёртое агрегатное состояние вещества, сильно ионизированный газ. Так
ли это? Да, конечно так. Но это определение очень сухое и не даёт никакого

понимания, что же всё - таки такое плазма!?

В учебниках по вакуумной и плазменной электронике дают уже более

серьёзное определение термину плазма. Плазма – это квазинейтральная
система, состоящая из электронов, положительно заряженных ионов
(катионов) и отрицательно заряженных ионов (анионов).

То есть то, о чём я писал выше, своего рода раствор, в составе которого
находятся данные компоненты. Плазму можно получить искусственно, путём
нагрева газа. При нагревании газа, температурная энергия передаётся к
атомам газа, те в свою очередь начинают приобретать ускорение. Атомы газа
начинают сталкиваться друг с другом. А раз атомы приобретают энергию, то
логично, что и электроны в составе атома тоже получают энергию, и когда
этой энергии достаточно, как правило, это возникает при столкновении
атомов, то электроны покидают атом, в этом случае атом становится
положительно заряженным ионом, то есть катионом. Также возможен и
обратный процесс, что теперь уже свободный электрон будет поглощён
другим атомом и тогда такой атом становится отрицательно заряженным
ионом, то есть анионом.

Таким образом, происходит ионизация газа. И чем больше рождается

ионов и электронов, носителей заряда, тем больше становится концентрация
их, так сказать раствора, плазмы, отсюда и школьное определение, что
плазма – это сильно ионизированный газ. Только теперь мы понимаем, что
под этим скрывается.

Помимо нагрева, плазму получают и при воздействии электрического

поля. Принцип тот же, по сути, будет идти процесс разогрева газа, но не
температурным воздействием на него, не передачей тепловой энергии, а
атомам газа будет передаваться энергия электрического поля. Дальнейшее
развитие будет абсолютно таким же. Самым явным примером плазмы
(вспомним статью: «Свободное электричество. Природа молний») является
молния. Только благодаря сильной ионизации воздуха возникает проводник,
который способен передать электрический заряд с неба до земли, и мы видим
искру молнии. Этот проводник и есть плазма.

Если ещё раз вчитаться в определение плазмы учебников вакуумной и

плазменной электроники, то встречается слово квазинейтральность. Отсюда
мысль, что раз плазма нейтральна, то в чём разница между плазмой и газом?
Ведь есть немалое количество нейтральных газов. В том и разница, что
плазма квазинейтральна, то есть она не совсем нейтральна, а почти
нейтральна. Сейчас объясню. В плазме в равновесном состоянии почти
одинаковое количество электронов и ионов, следовательно, общий заряд
данной системы равен нулю, отсюда вывод, что она нейтральна. Но, плазма
очень хорошо подвергается воздействию электрического поля, является
отличным проводником электрического тока, отсюда следует вывод, что
плазма не настолько и нейтральна. Вспомним, что нейтральный газ – это газ,
который не вступает в реакцию. А плазма ведёт себя совершенно иначе. Она
вступает в реакцию с внешним воздействием.

Я писал, чтобы получить плазму осуществляется нагрев газа. Для

такого фазового перехода газа в плазму будет достаточно 10 000 ‫ﹾ‬С. Если
нагревать дальше и нагревать уже саму плазму, скажем до десяти
триллионов градусов Цельсия, то ядра атомов газа будут разрушаться на
кварки. В таком случае происходит ещё один фазовый переход, переход от
плазмы к кварк – глюонной плазме.

С плазмой разобрались, теперь мы с вами знаем о ней многое, пора

поговорить о тлеющем разряде.
 Тлеющий разряд.

Начнём с того, что разрядов бывает несколько: искровой, тлеющий,

дуговой и другие. Каждый из них имеет свои особенности, свою природу.
Можно все эти разряды увидеть на одной Вольт – Амперной характеристике
(ВАХ) разрядов. Искровой разряд, данный разряд нам всем хорошо знаком, -
происходит при атмосферном давлении в виде искры. Опять же самый явный
пример – это молния. Теперь подробно поговорим про тлеющий разряд. В
современной информационной среде, интернете, есть два часто встречаемых
определения термину тлеющий разряд.

*Первое

Тлеющий разряд – это плазма, образующаяся при прохождении

электрического тока через газ. Он часто создается путем приложения
напряжения между двумя электродами в стеклянной трубке, содержащей
газ низкого давления.

*Второе

Тлеющий разряд — один из видов стационарного самостоятельного

электрического разряда в газах. Формируется, как правило, при низком
давлении газа и малом токе.

Второе определение ближе к истине, первое определение абсолютно

неправильное!!! Попробуем с вами дать своё определение тлеющему
разряду. Для начала рассмотрим процесс образования тлеющего разряда.
 Тлеющий разряд был открыт Фарадеем.

Рисунок 4 – Формирование плазмы.

Тёмное астоново пространство – электроны, покинув катод, обладают

пока относительно небольшой скоростью, следовательно, и небольшой
энергией. Потому электроны не в состоянии возбудить молекулы газа. Из –
за этого в этой области и нет никаких свечений.

Катодное свечение – электроны в тёмном астоновом пространстве

ускоряются, в результате чего энергии становится достаточно для
возбуждения молекул газа и благодаря этому мы наблюдаем катодное
свечение.

Тёмное катодное пространство – тут электроны, которые пролетают

область катодного свечения и не возбуждают молекулы газа - попадают в
область тёмного катодного пространства. В этой области электроны больше
ионизируют молекулы газа, чем возбуждают из–за большой энергии
электронов.

Следующая область, область отрицательного свечения или по-другому

область тлеющего свечения. В области тёмного катодного пространства
происходит образование ионов. В итоге это приводит к тому, что в области
тлеющего свечения большая концентрация ионов и электронов. Происходит
их рекомбинация, то есть обратный процесс ионизации, ион захватывает
свободный электрон. Захваченный электрон в свою очередь теряет энергию и
испускает её в виде фотона, то есть в виде видимого излучения. За счёт чего
и наблюдается характерное свечение. Именно эта область определила
название разряда.

Фарадеево тёмное пространство – область без свечения, так как тут

малая концентрация носителей заряда и у них малая скорость. В этом
пространстве происходит ускорение носителей заряда, что приводит вновь к
ионизации газа, следовательно, к образованию плазмы. Благодаря чему и
возникает положительный столб, то есть образуется столб разряда.

Название тлеющего разряда произошло от слова тлеть, то есть как угли,

тлеют, а не горят в пламени. Так и с разрядом, то есть свечение возникает не
из-за искры, а из-за испускаемых электронами фотонов.

ВАХ разряда представлена на рисунке 5. Участок ДЕ – характеризует

нормальный тлеющий разряд, а ЕЖ – характеризует аномальный тлеющий
разряд. Стоит отметить, что тлеющий разряд возникает при давлениях ниже
атмосферного.

Рисунок 5 – ВАХ разряда.

Для нормального тлеющего разряда (НТР) характерна

пропорциональность между площадью катода, покрытой свечением, и током,
то есть постоянная (нормальная) плотность тока на катоде.
 I
J ; (1)
S

Плотность тока остаётся величиной постоянной. Следовательно,

увеличение значения электрического тока приводит к увеличению площади
катода, покрытого свечением. Другими словами, площадь катода, покрытая
свечением, соответствует значению подаваемого тока. Таким образом,
площадь обработки разрядом ограничивается величиной тока.

При НТР увеличение значения тока, значение напряжения остаётся

постоянным.

U
I ;
R (2)
U  I  R;

l
R ; (3)
S

Из формулы (2) видно, что при увеличении значения тока

увеличивается и напряжение. Но в НТР напряжение остаётся постоянным.
Это происходит как раз за счёт того, что уменьшается сопротивление, так как
выяснили, что увеличение значения тока приводит к увеличению площади
катода, покрытой свечением. А увеличение площади приводит к
уменьшению сопротивления, потому напряжение и остаётся постоянным.

Для аномального тлеющего разряда (АТР) характерно, что вся

поверхность катода покрывается свечением. То есть площадь выступает
постоянной величиной.

I
S . (4)
J

Следовательно, при увеличении тока, увеличивается и плотность тока.

Так как площадь постоянная, то сопротивление неизменно, следовательно, по
формуле (2) при АТР выполняется закон Ома, то есть увеличение значения
тока приводит к увеличению значения напряжения.

Как раз из-за такой особенности АТР, что вся поверхность катода
покрывается свечением, и был выбран АТР для ИПО.

Когда рассматривали процесс возникновения тлеющего разряда, я

писал, что возникает столб разряда перед анодом. Данный столб и есть
плазма, которая проводит электрический ток после тёмного Фарадеева
пространства к аноду.

Итак, мы с вами разобрались с процессом возникновения тлеющего

разряда и даже посмотрели, что он бывает нормальным и аномальным,
увидели, в чём различия и познакомились с их определениями. Но до сих пор
не дали общее определение тлеющему разряду. Попробуем!

Тлеющий разряд – разряд, который возникает в условиях низкого

давления газа, на десятки кПа меньше атмосферного давления, при
подаче на электроды напряжения.

Факторы тлеющего разряда:

- Низкое давление газа;

- Характерное свечение;

- Чётко выраженное разделение НТР и АТР;

- Образование плазмы (столба разряда).

*А теперь зададимся вопросом… Обязательно ли формирование

плазмы в тлеющем разряде? Будет разряд являться тлеющим без плазмы
и на что это повлияет!?
 Ионно–плазменная обработка (ИПО).

Ионно – плазменная обработка, она же азотирование представляет

собой химико-термическую обработку металлов, обеспечивающую
насыщение их поверхностного слоя азотом. Принцип действия ИПО
заключается в том, что в разреженной азотсодержащей газовой среде между
деталями (катодом) и стенками вакуумной камеры (анодом) возбуждается
тлеющий или дуговой газовый разряд, образующий химически активную
среду (ионы и атомы азота).

Под действием плазмы газового разряда происходит имплантация

ионов в приповерхностный слой и их дальнейшая миграция в объем металла.
Этот эффект приводит к диффузионному насыщению поверхностного слоя
материала, изменению его фазового состава и структуры. В результате в
поверхностном слое металла формируется азотированный слой, состоящий
из внешней нитридной и располагающейся под ней диффузионной зоны,
обладающий высокой микротвердостью, теплостойкостью и коррозионной
устойчивостью. Варьируя состав газа, давление, температуру и время
выдержки, можно получать азотированные слои заданной структуры и
фазового состава.

Это как понимаю ИПО я. Теперь посмотрим, какое определение даёт

нам интернет:

Ионно-плазменная обработка основана на взаимодействии ионов и

других энергетических частиц, полученных в низкотемпературной плазме, с
поверхностью твердого тела.

Вот так коротко и понятно. В принципе, тут написано всё то, что я
писал выше. Если вчитываться, то видно, что в обоих случаях ИПО
определяется как обработка, в основе которой лежит плазма. Это и понятно
из названия. ИПО происходит под действием плазмы газового разряда.

Раннее, мы разбирали Тлеющий разряд, уже знаем, что в тёмном

Фарадеевом пространстве, перед анодом, образуется плазма, формируется
положительный столб. Логично предположить, что в нашем случае ИПО по
формированию нитридосодержащих защитных покрытий контактов
герконов, происходит именно под действием этой плазмы, плазмы тлеющего
разряда. По аналогии с определением: «… под действием плазмы газового
разряда». Но это в корне не так. И я сначала тоже думал, что так всё и есть,
что в герконе тлеющий разряд формируется в полной мере, есть плазма,
происходит обработка. Но, к моему удивлению, это совершенно не так. Мне
объяснили на словах, а позже проделали расчёт + компьютерное
моделирование и результат таков, что плазмы в используемом нами разряде
для ИПО герконов нет.

Суть ионно – плазменной обработки в нашем случае заключается в том,

что в среде азота в разомкнутом герконе, в промежутке между его
контактами возбуждается тлеющий разряд. Такая обработка позволяет
формировать нитродосодержащие защитные покрытия.

Рисунок 6 – Ионное азотирование.

При подаче переменного напряжения на геркон, когда происходит

увеличение значения напряжения, происходит увеличение интенсивности
электрического поля между катодом и анодом. В результате происходит
ионизация газа, которым наполнен стеклобаллон, то есть ионизация азота.
Положительные ионы притягиваются катодом и распыляют его. Большая
часть энергии ионов расходуется на нагрев катода, и лишь некоторая часть
энергии ионов идёт на эмиссию электронов и распыление материала катода.
Эмиссия электронов способствует ещё большей ионизации газа, в результате
формируется тлеющий разряд. В среде тлеющего разряда происходит
нагревание и плавление распыляемого материала катода, плавление ведёт за
собой переход распыляемого материала катода в газовую фазу. Что приводит
к взаимодействию распыляемого материала катода с атомами азота, вслед за
этим образуются нитриды железа и никеля, которые осаждаются на
контактах геркона. Следующим шагом происходит диффузия молекул
нитридов в поверхностный слой контактов герконов. Это и приводит к
образованию нитридосодержащих защитных покрытий контактов герконов.

Следующее, что я считаю нужным, так это представить доказательства,

которые подтверждают тот факт, что ИПО в нашем случае происходит без
плазмы в принципе. Но прежде чем переходить к расчёту и компьютерному
моделированию, нужно разобраться с ещё одним обстоятельством.
Поговорим о кривых Пашена.

Кривые Пашена – графики, которые отображают зависимость

величины напряжения пробоя газа от произведения давления газа на
межэлектродное расстояние. Кривые Пашена представлены на рисунке 7.
 Рисунок 7 – Кривые Пашена U =f(p×d).

Кривые Пашена имеют три характерные точки, левая ветвь, область

низких давлений, минимум и правая ветвь, область высоких давлений. Если
говорить про вид кривой Пашена, то её вид объясняется следующим образом:
При низких давлениях, газы обладают высоким пробивным напряжением.
Это объясняется малым количеством столкновений электронов, разгоняемых
электрическим полем, с молекулами газа и соответственно малой
вероятностью ионизации.

С увеличением давления возрастает число молекул газа в единице

объема, увеличивается число столкновений электронов с молекулами, а в
результате возрастает вероятность ударной ионизации. Это приводит к
снижению Uпр, вплоть до значения Uпр.min.
 При дальнейшем увеличении давления число молекул в единице
объема становится настолько большим, что существенно сокращается длина
пути свободного пробега электронов. Электроны, постоянно сталкиваясь с
молекулами, не могут разогнаться электрическим полем и приобрести
кинетическую энергию, необходимую для ударной ионизации. В результате
вероятность ионизации уменьшается и Uпр возрастает.

Стоит также отметить, что тлеющий разряд образуется только

на правой ветви кривой Пашена !

Минимум кривой Пашена определяется произведением давления на

межэлектродное расстояние (P × d)m = [2.718×ln(1+(1/γ))]/А.

Итак, теперь мы разобрались с кривыми Пашена, что же, пришло

время проделать расчёт.

Начнём расчёт с того, что нам необходимо оценить концентрацию

заряженных частиц в условиях режима, в котором происходит ИПО. А
именно: 300 Торр давление азота, 30 мкм расстояние между электродами, газ
– азот, материал катода и анода: сплав железа и никеля (пермаллой),
амплитуда тока разряда 3 мА, амплитуда напряжения поддержания разряда,
фиксируемое с помощью осциллографа, 200 В.

Важное условие существование плазмы:

ne  ni
n0  ne  ni - квазинейтральность

Приближённо концентрацию заряженных частиц, можно определить по

формуле:

I
n0  ; (5)
0.4  e  K e  EZ   R 2
 K e  EZ  e ;
mee 2
Uп  e  ;
2
2U п  e  mee 2 ;
2U п  e
e 2  ;
me

2U п  e
e  ; (6)
me

где

EZ - продольная напряжённость электрического поля

K e - подвижность электронов
R - радиус трубки
I - действующее значение тока разряда
e - скорость электронов
U п - действующее значение напряжения поддержания разряда
e - заряд электрона
me - масса электрона

Uп m
Uп  ;
2
200
Uп   141.42 В;
2
I
I m ;
2
3 103
I  2.12 мА.
2

По формуле (6)
 2 141.42 1.6 1019
e  31
 7 106 м/с.
9.110

Формулы, которыми я пользуюсь, давно известны. И, конкретно,

откуда я их беру, это методичка к лабораторным работам на базе Рязанского
радиотехнического университета по курсу плазменная и вакуумная
электроника. Методичку написал один из самых уважаемых учёных в
области газовых разрядов, В.А. Коротченко. Методичка так и называется,
физика газового разряда.

Единственное, что мне не понятно из формулы (5), так это радиус

трубки. Прочитав методичку, я так понял, что в ней имеется виду, что R и d
берётся как одно и то же. Но я всё же подстрахуюсь и сделаю два случая.
Первый случай, пусть радиусом будет радиус стеклобаллона геркона.

Второй случай, возьмём, что радиус и расстояние d это одно и то же.

Тогда, по формуле (5) получим:

Первый случай (радиус стеклобаллона геркона равен 0.115 см или 1.15

мм)

2.12 103
n0   1.11015 м 3 .
0.4 1.6 1019  7 106  3.14  1.15 10 
3 2

Ионизированный газ считается плазмой, если выполняется условие:

L  D
L - характерный размер, в нашем случае 30 мкм
межэлектродный зазор
D - радиус Дебая. Характерное расстояние на котором происходит
экранирование внешнего электрического поля заряженными
частицами плазмы
 0  k T
D ; (7)
2  (e) 2  n0

где Т – абсолютная температура заряженных частиц в плазме.

me  e 3kT
 ;
2 2
me  e  3kT ;
me  e
T ;
3k
9.1 10 31   7 106 
2

T 23
 106 К.
3 1.38 10

Тогда по формуле (7):

8.85 1012 1.38 10 23 10 6

D  0.0015 м.
2  1.6 10 19 2
 1.110 15

L = 30 мкм = 0.00003 м. Условие L >> D не выполняется. В нашем случае:

L << D.

Проделаем тот же расчёт при втором случае (R = d).

По формуле (5):

2.12 103
n0   1.68 1018 м 3 .
0.4 1.6 1019  7 106  3.14   30 10 
6 2

Во втором случае мы не ищем вновь скорость электронов и

температуру заряженных частиц, так как для обоих случаев эти параметры
одинаковы.

По формуле (7):
 8.85 1012 1.38 10 23 10 6
D  3.8 105  0.000038 м.
2  1.6 10 
19 2
1.68 1018

Условие L >> D не выполняется. В нашем случае: L < D.

Теперь посмотрим на результаты моделирования в программе, которую

разработал В.А. Коротченко. Программа не носит определённого названия. В
ней студенты выполняют лабораторные работы. Программа моделирует
процесс образования газового разряда, строит ВАХ и по формулам проводит
расчёт, выводит результаты. Проведём моделирование в данной программе,
введём условия, при которых производится обработка, посмотрим на
результат моделирования. Стоит отметить, что в программе нет такого
материала электродов как пермаллой, есть только никель. Это влечёт за
собой неточность в расчётах. Так как в расчёте будет использоваться
формула:

Bpd
Uв  ;
  1  (8)
ln  Apd   ln  ln 1   
   

в которой фигурирует γ – коэффициент электронно–ионной эмиссии.

Этот коэффициент, как правило, приводится в литературе, у каждого
материала он имеет своё значение. Но для материала контактов герконов, в
литературе значение данного коэффициента не приводится. Поэтому при
моделировании указываем материал катода никель, и оцениваем результаты
моделирования, как приблизительные. Uв – напряжение возникновения
самостоятельного разряда.
 Рисунок 8 – Результаты моделирования газового разряда в заданных условиях.

Из рисунка 8 видно, что ВАХ разряда строится, следовательно, разряд

формируется, в чём и не было сомнений, так как на практике разряд уже был
получен в данных условиях. Также видно, что минимум кривой Пашена (P ×
d)m = 0.6. В нашем случае газовый разряд формируется при P × d = 300 ×
0.003 (30 мкм) = 0.9. То есть, условно, кривая Пашена будет иметь
следующий вид:

Рисунок 9.
 Из рисунка 9 следует, что газовый разряд формируется на правой
кривой Пашена, следовательно, разряд является тлеющим, условие
формирования не противоречит теории. Раз разряд формируется не совсем в
минимуме кривой Пашена, но близко к ней, то в разряде всё же есть
вероятность небольшого содержания плазмы.

Вывод: В нашем случае ионизированный азот не считается плазмой.

Формируемый тлеющий разряд существует без положительного столба, без
плазмы. Разряд без плазмы называют: «Затруднённый» [А. Энгель, М.
Штенбек «Физика и техника электрического разряда в газах», М–Л: «ОНТИ,
НКТП», том 2, 1936, с. 83].

Но, обратите внимание, что во втором случае, если всё же второй

случай расчёта верен, а не первый, то видно, что условие почти выполняется,
очень и очень близка вероятность существования плазмы в заданных
условиях, L >> D, L = 30 мкм, а D по расчёту второго случая получилась 38
мкм. Это же подтверждают и результаты моделирования. В образовавшемся
газовом разряде есть вероятность небольшого содержания плазмы, но
вероятность - это не зафиксированный факт, так что будем опираться на
результаты расчёта и говорить, что плазмы в нашем разряде нет.

А теперь, к чему всё это велось, все эти доказательства и споры, ИПО
или не ИПО, есть плазма или нет плазмы. Из всего выше описанного
возникает вопрос. Раз в нашем тлеющем разряде отсутствует плазма, что
доказано, то почему же мы назвали технологию: «Ионно–плазменная
технология по формированию защитных покрытий контактов герконов» ???

Для меня, как для человека, который этим занимался, это было
открытием. Я слепо верил, что в нашем случае в ИПО, действительно есть
плазма, согласно определению самой обработки. И признаюсь в своей
ошибке…
 Так вот, технология была так названа лишь по той причине, что многие
другие похожие обработки по формированию нитридов на поверхности
металлов называются также. То есть на других предприятиях, где
используют обработку металлов в разряде для формирования нитридов на
поверхности металлов, такую обработку называют ионно-плазменной. Но на
таких предприятиях, совсем другие условия обработки, всё рассчитано и у
них, действительно при обработке металлов возникает плазма, поэтому
название соответствует действительности. А мы лишь назвали свою
технологию ионно–плазменной потому что тоже обрабатываем поверхности
контактов герконов в разряде. Когда при рассмотрении физики нашей
обработки, плазмы в ней вовсе нет, и технологию стоило назвать ионной, а не
ионно-плазменной. Может со временем я её и переименую…

Теперь пришло время поговорить об установке и о том, как у нас

происходит обработка. Лабораторный образец по ИПО в одном герконе
имеет следующую электрическую принципиальную схему:

Рисунок 10 – Схемотехническое решение лабораторного образца ИПО.

 Рисунок 11 – Внешний вид лабораторного образца ИПО.

Лабораторный образец состоит из повышающего трансформатора да

стойки, в которой фиксировался геркон, и производилась обработка.
 На трансформатор подаётся напряжение сети, с трансформатора на
геркон поступает повышенное напряжение и в герконе происходит пробой,
формирование тлеющего разряда. Также в цепь с герконом включен
балластный резистор, он служит ограничителем величины тока, проходящего
через геркон. Без данного резистора разряд может уйти в дуговой, а так он
сохраняется тлеющим.

На данном лабораторном образце и велись эксперименты с целью

найти режим обработки, который позволил бы добиться наилучшего
результата.

После многочисленных экспериментов удалось добиться наилучшего

результата. Был найден новый режим обработки. Поставленные задачи были
выполнены. Осталось решить одну задачу - это разработать более дешёвый
аналог УИПО, который будет производить групповую обработку герконов.

Шаги разработки такой установки вы можете посмотреть в моей

магистерской диссертации. Итоговая УИПО версия два имеет следующее
схемотехническое решение:

Рисунок 12 – Общая электрическая схема установки.

 Электрическая принципиальная схема генератора гармонических
сигналов:

Рисунок 13 – Схемотехническое решение генератора гармонических сигналов.

В положение тумблера SA1 «Сеть» загораются лампочки HL1 и HL2,

это показывает, что генератор включён. Напряжение сети поступает на БП
(блок питания активного воздушного охлаждения) и сетевой фильтр А1. На
выходе БП формируется напряжение +12 В, которое поступает на вывод XT2
«Управ». Данное значение напряжения необходимо для питания активной
воздушной системы охлаждения блока групповой обработки герконов.
Напряжение сети через сетевой фильтр А1 поступает на ЛАТР Т1.
Регулируемое значение напряжения с Т1 поступает на повышающий
трансформатор Т2, с его выхода напряжение поступает на вывод XT3
«Выход». Вольтметр PV, позволяет контролировать величину напряжения,
подаваемого на Т2. Выходное действующее напряжение, формируемое на
выводе XT3, определяется как произведение показания вольтметра PV на
коэффициент трансформации Т2.
Рисунок 14 – Внешний вид установки.

Рисунок 15 – Процесс ИПО.

 Осциллограмма работы УИПО версия 2

Рисунок 16 – Осциллограмма работы установки УИПО версия 2.

Жёлтый сигнал – это электрический ток через геркон. То есть как раз
наш разряд.

Синий сигнал – напряжение, которое падает на герконе.

Участок А – Б. Видно, как увеличивается значение переменного

напряжения. Когда напряжение достигает определённого значения (точка Б),
это значение достаточно велико, то происходил пробой, через газовую среду,
азот, в зазоре между контактами геркона начинает протекать электрический
ток (жёлтый сигнал, видно, что он был в нуле, а когда произошёл пробой, то
потёк электрический ток, видно жёлтую синусоиду), то есть сформировался
газовый разряд, тлеющий разряд. Напряжение, при котором происходит
пробой, формирование газового разряда, называют напряжением
возникновения самостоятельного разряда Uв.
 Участок Б – В, участок протекания электрического тока (участок
действия газового разряда). Также на этом участке видно, что образовалась
некоторая «полочка напряжения», то есть напряжение принимает постоянное
значение, это напряжение, которое падает на герконе. Такое напряжение
называется напряжением поддержания газового разряда, Uп, мы
использовали его при расчёте.

В точке (Г), переменное напряжение принимает минимальное

значение и через геркон перестаёт протекать электрический ток.

Участок Г – Д, показывает нам начало точно такого же поведения

тока и напряжения, которое было рассмотрено выше. Разница лишь в
полярности. До этого была положительная полуволна, а начиная с точки (Г),
действует отрицательная полуволна. В нашей обработке используется
биполярный сигнал, что и видно на осциллограммах.

Также стоит отметить, что при смене полярности катод и анод

меняются местами. Это приводит к тому, что оба контакта геркона
обрабатываются.

Приведу сравнение осциллограмм УИПО версии 1 и версии 2

 Рисунок 17 – Осциллограмма работы установки УИПО версия 1

Синий – электрический ток, жёлтый - напряжение.

Осциллограммы установки УИПО версия 2 вы уже видели на рисунке

16. Из сравнения видно, что совершенно разные сигналы. В первой версии
импульсный сигнал, во второй синусоидальный сигнал. Но и, конечно же,
отличия в амплитудах и частоте. В первой версии установки использовался
сигнал частотой 25 кГц, когда же мы используем в своей работе сигнал
промышленной частоты, то есть 50 Гц. Как это влияет и что меняется при
этом?

Меняется время запаздывания разряда, меняется время действия

разряда. Снижение частоты приводит к увеличению времени. В нашем
случае частота изменилась глобально, следовательно, и времена возросли на
порядки. Увеличение времени действия разряда ведёт к нагреванию
контактов герконов. Что может привести к разрушению поверхности, а
сильный нагрев может и привести к размягчению материала стеклобаллона.
Мы пошли на серьёзный шаг. В конструкции УИПО версия 2 предусмотрели
активное воздушное охлаждение, которое не только отводит тепло от
резисторов, но и также отводит тепло от герконов, тем самым не давая им
перегреться. В прошлой версии УИПО активное воздушное охлаждение
также было, но оно лишь отводило тепло от резисторов. Герконы не было
необходимости охлаждать дополнительно, ведь время действия разряда было
мало.

Параметры разряда в УИПО версия 1

Напряжение поддержания разряда составляет 210 В;

Амплитуда тока разряда 2 мА;

Время длительности разряда составляет 15 мкс;

Плотность тока составляет: 5×102 мА/см2, так как площадь

контакта 14 геркона равна 0.5 мм2;

Среднее время статического запаздывания разряда составляет 5 мкс.

Параметры разряда в УИПО версия 2

Напряжение поддержания разряда составляет 200 В;

Амплитуда ток разряда 3 мА;

Время длительности разряда составляет 7.2 мс;

Плотность тока составляет 6×102 мА/см2 ;

Среднее время статического запаздывания разряда составляет 2.8 мс.

 Итак, на этом я бы хотел завершить данную статью. Статью, которая
стала методичкой. Да, предупреждал, что будет объёмной, но сам не ожидал,
что настолько. Многое хотелось обсудить, рассказать, показать, пояснить.
Надеюсь, что данная статья была полезной. Дала представление о том, что
такое герконы, где и как они применяются, особенности их работы,
особенности их производства, о том, что такое плазма и о природе тлеющего
разряда. Также статья должна была дать представление о моей работе, чем я
занимаюсь, что изобрёл и как моё изобретение работает. Надеюсь, я смог
донести все эти непростые вещи простыми словами, доступным языком так,
чтобы осталось понимание происходящего. Отмечу, что на данный момент
наша разработка, упоминаемая в статье технология, достигла своего потолка,
мы взяли с ней паузу. Она считается готовой и достигает своих результатов
по работе. Безусловно, есть что улучшать, но немного подустали от неё.
Сейчас ведём активную работу над другими исследованиями, разработками и
изобретениями, которые также вращаются вокруг герконов, газового разряда,
но направлены немного на решение других задач, совершенно разные
режимы обработок и, соответственно, различная физика. По своим
дальнейшим работам в данной области, ближайшие четыре года, я буду
писать кандидатскую диссертацию.

Спасибо всем за внимание!

С вами был, как всегда, ваш Шевелёв Вадим Александрович,

not DOOM ed_circuitengineer (Не обречённый схемотехник).