СТРУКТУРА ВЕЩЕСТВА И ТЕОРИЯ ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

УДК 537.525.7+621.762

И. Ш. Абдуллин, В. С. Желтухин, В. Ю. Чебакова

ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ЕМКОСТНОЙ РАЗРЯД: МОДЕЛИРОВАНИЕ (ОБЗОР)
Ключевые слова: Математическое моделирование, высокочастотный разряд.

Проведен анализ математических моделей высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда. Показана необхо-
димость включения уравнений, учитывающих перенос энергии электронами и тяжелыми частицами, и ба-
лансных уравнений для концентрации метастабильных атомов.

Keywords: Mathematical modeling, radio-frequency discharges.

The analysis of mathematical models of capacitive coupled radio-frequency discharge is carried out. The necessity of
the adding of equations that take into account the transfer of energy by electrons and heavy particles, and balance
equation of metastable atoms.

Введение имущественным процессом переноса заряженных

частиц является дрейф в электрическом поле СПЗ, и
В последнее время устройства, использую-
область положительного столба, в которой перенос
щие низкотемпературную плазму, интенсивно вне-
электронов и ионов осуществляется амбиполярной
дряются в промышленность. Плазма эффективно
диффузией. Оценки элементарных процессов пока-
используется для создания и модификации наност-
зывают, что в типичных условиях поддержания ВЧЕ
руктур (например, для обработки материалов с це-
разряда пониженного давления (давление P=13,3–
лью повышения срока службы и надежности изде-
`133 Па, мощность разряда Wp=0,5–5 кВт, расход
лий машиностроения, создания легких и прочных
газа G до 0,04 г/с, частота f=13,56 МГц, межэлек-
полимерных композиционных материалов, полиэти-
тродное расстояниt d = 0,02–0,1 м) длина свободно-
ленпластиков, получения нанодисперсионных по-
го пробега электронов le=≤10-3 м, толщина дебаев-
рошков металлов и соединений и т. д. ) [1-10].
ского слоя λd  10-5 м , толщина СПЗ h  10-3 м [15,
Большой интерес представляет изучение процессов
16]. Как видно, толщина приэлектродного слоя мно-
взаимодействия ВЧ - плазмы пониженного давления
го меньше межэлектродного расстояния. Однако,
с многослойными материалами. Это - и исследова-
именно процессы протекающие в приэлектродных
ние стойкости тонкопленочных пластиковых мате-
областях оказывают существенное влияние на фор-
риалов, используемых для формирования систем
мирование режима горения ВЧЕ–разряда [17].
изоляции электрических, к действию электрических
Поэтому при описании ВЧЕ- разряда стро-
разрядов [11], и проблемы согласования энергетиче-
ятся нестационарные одномерные и двухмерные
ских параметров отдельных контактирующих слоев
математические модели, чаще всего включающие в
в многослойных устройствах типа органических
себя уравнения баланса заряженных частиц и урав-
электролюминесцентных диодов [12], а так же мо-
нения Пуассона для распределения потенциала
дификация различных полимерных и композитных
электрического поля. Так, в работе [18] рассмотрены
материалов [13,14].
основные процессы, протекающие в высокочастот-
Разработка специальных установок, настро-
ном емкостном разряде, техника и практические
енных на работу в определенных режимах, связана с
методы эксперимента, диагностики, измерений при
проведением большого количества эксперименталь-
работе с высокочастотными разрядами, вопросы
ных исследований по подбору параметров плазмен-
теории и численного моделирования разрядного
ных установок. Для оптимизации режимов работы
процесса. В ней рассматриваются методы возбуж-
установки создаются и численно решаются матема-
дения высокочастотного поля в газе, даны основные
тические модели, которые позволяют рассчитывать
сведения о структуре и формах существования ВЧЕ-
основные параметры ВЧ-разрядов, так как экспери-
разрядов, а также представлена следующая одно-
ментальные методы исследования не дают полной
мерная математическая модель. В этой модели рас-
картины процессов в плазме. Численное моделиро-
пределения и изменения во времени плотностей за-
вание газоразрядной плазмы в гидродинамическом
рядов ne, n+ и поля E в межэлектродном промежутке
приближении позволяет получить достаточно пол-
описываются системой уравнений непрерывности и
ные данные о пространственной структуре заряда.
электростатики:
Проведем обзор математических моделей разрабо-
танных в приближении сплошной среды. ne (1)
 div Ge  ne ( -  n )
t i
Классическая модель ВЧЕ разряда
n (2)
В структуре ВЧЕ разряда выделяют облас-  div G  ne ( -  n )
t i
d
i
v
g
r
a
d

ти слоев положительного заряда (СПЗ), прилегаю-

щих непосредственно к электродам, в которых пре-    e(n  ne ) (3)

9
Здесь ne, n+ - плотности потоков электронов и ио-
нов, Ge, G+ - плотности потоков электронов и ионов,
соответственно, причем в них учитываются только
дрейфовые составляющие ( Ge  ne e E ,
G  n  E ), напряженность электрического поля
E   , e -заряд электрона, e ,  и De , D -
коэффициенты подвижности и диффузии электро-
нов и ионов, β – коэффициент электронной реком-
бинации, частота ионизации  считается завися-
i параметры анодного сдоя. Приведенные результаты
щей от мгновенного поля и выражается через иони-
зационный коэффициент Таунсенда α согласно со-
отношениям ne   Ge .
i
Граничные условия у поверхности электро-
дов или изолирующих их диэлектриков ставятся в
зависимости от направления поля:
G   G , если поле направлено в электрод;
e 
G  0 , если поле направлено от электрода.
Здесь  - коэффициент ион-электронной эмиссии с
поверхности катода. В плазме задается ток
j  ja cos t , связанный c n и E посредством
уравнения ионизационно-рекомбинационного рав-
новесия e E   n . Здесь плазма предполагается
квазинейтральной ne=n+=n.
Плазма ВЧЕ-разряда во многом подобна
плазме тлеющего разряда. В работе [19] представле-
на модель тлеющего разряда, сходного по своим
характеристикам с ВЧЕ разрядом. Моделирование
плоского разряда в азоте проводится в рамках диф-
фузионно- дрейфового приближения, ось х берется
направленной вдоль поверхности электродов, а ось
y – перпендикулярно к ним. В уравнениях (1), (2)
учитывается скорость внешней ионизации Q. В
уравнении (1) учитывается диффузия к боковой
стенке путем включения члена со второй производ-
ной по x:
ne  2ne
 divGe  D  ne (   n )  Q
i
t x 2
Уравнение (3) остается без изменений. Счи-
тается, что вторичные электроны на катоде возни-
кают за счет ионно-электронной эмиссии с коэффи-
циентом γ:
ne y 0   n i / e y 0 .
На аноде плазма предполагается квазинейт-
ральной.
Для уравнения Пуассона (3) на электродах
ставилось условие
|  0,  |  U, U  const  0 .
y 0 d
где U − падение напряжения на разрядном проме-
жутке. Граничные условия на боковых поверхностях
обеспечивают условия непротекания ионного и
электронного тока
 n ne (4)
 
x x x
Ионизация задавалась таунсендовской зави-
симостью. Исследованы условия формирования в
10
поднормальном режиме поперечной структуры раз-
ряда на катоде в виде многих пятен. Показано что
разряд с многими пятнами является трехмерным, а
не двумерным объектом
В [20] приводятся результаты численного
моделирования тлеющего разряда в азоте в двумер-
ной постановке для широкого диапазона давлений и
токов. Показано существование стационарных
анодных пятен с нормальной плотностью тока. Ана-
лизируются влияние диффузионных процессов на
соответствуют модели с осесимметричной геомет-
рией. Для более адекватного описания пространст-
венных неоднородностей использована нестацио-
нарная модель разряда (1)–(3) учитывающая как
поперечные, так и продольные составляющие диф-
фузионных процессов, то есть
Ge  De ne  ne e E, (5)
G  D n  n  E, (6)
В качестве граничных условий на боковых
поверхностях и оси симметрии в квазинейтральной
плазме ставятся условия непротекания ионного и
электронного токов (4). На аноде ставятся условия
x
j  0, G x  0, ne   G x ,
где - единичный вектор в направлении внешней
нормали на рассматриваемых поверхностях и
-1/ 2
 
2  8kTe 
  2 1 p  
  ne 
,
p – вероятность отражения электронов.
На положительном столбе формулируются
условия
  U , U  const  0 ,
Ge i  G e   0 , nx  0
Для численного решения системы уравне-
ний (1)-(3) использовалась неявные конечно- разно-
стные схемы второго порядка аппроксимации по
пространственной переменной и первого порядка по
времени с равномерным разбиением сетки. На каж-
дом временном шаге нелинейные уравнения реша-
лись неявным двухслойным итерационным методом
с выбором оптимального итерационного параметра.
Выбор оператора Лапласа в качестве разрешающего
позволил применить метод полной редукции. На
каждом шаге по времени проводились итерации по
нелинейности. Сходимость итерационного процесса
удалось повысить переходом к полностью неявной
форме вычисления. Приведенные расчеты показали
относительную самостоятельность анодного слоя и
существование закона нормальной плотности тока
на аноде.
В [21] изложен численный алгоритм второ-
го порядка аппроксимации по пространственным
координатам для моделирования двумерного тлею-
щего разряда повышенного давления в рамках диф-
фузионно-дрейфового приближения. Особенностью
рассматриваемого численного метода является вы-
бор оператора Лапласа в качестве разрешающего
при решении системы сеточных уравнений, позво-
лившего обеспечить сходимость решения в доста-
точно сильных сеточных нормах. Последовательно
обсуждаются математические аспекты постановки
дифференциально-разностной и конечно-разностной
задач (разрешимость, неотрицательность решения,
аппроксимация, устойчивость, сходимость) и вы-
числяются границы норм соответствующих диффе-
ренциальных и разностных операторов, необходи-
мые для построения оптимального итерационного
процесса.
В [22,23] исследована корректность матема-
тической постановки системы нелинейных уравне-
ний диффузионно-дрейфового приближения, широ-
ко использующейся в моделировании газового раз-
ряда. Определен класс нелинейных граничных усло-
вий, обеспечивающих существование и единствен-
ность сильных решений. Показано, что при доста-
точно гладких параметрах и при условии строгой
положительности коэффициентов диффузии элек-
тронов и ионов обычно используемые граничные
условия обеспечивают существования и единствен-
ность распределений концентрации электронов и
ионов.
В статье [24] приведены результаты чис-
ленных экспериментов, в которых высокочастотный
емкостный тлеющий разряд сосуществует в двух
формах (в α- и γ- формах) при одних и тех же гра-
ничных условиях. Модель включает уравнения (1)–
(3) с соотношениями (5),(6). Граничные условия
имеют следующий вид
при х  0 : Ge   G ,   0
при x  H : n   0,   U
 n ne
при r  0 :   ;  div ( G )  eGe E  ne Nk .
x x x
U Здесь Ge плотность потока энергии, равная:
при r  R : 1) ne  n  0,   x,
H 5
 n  n
2)   e
r r r
Здесь ось x направлена поперек электрода, ось r -
вдоль. При r=R рассматриваются условия для пло-
ской и цилиндрической геометрии соответственно.
Для нахождения падение напряжения на разряд-
ном промежутке были привлечены условия во
внешней цепи.
В условиях установившегося процесса го-
рения тлеющего разряда можно записать очевидное
соотношение
 U R m
 2  Ge, x ( r , x  H ) r dr ,
eR0 0 где  a ,  – частота прилипания и отлипания со-
которое указывает на равенство суммы падений на-
пряжений на сопротивлении R0 и разрядном проме-
жутке электродвижущей силы ε; Ge,x – проекция
вектора плотности потоков электронов на ось x. В
этом условии m = 0 соответствует плоскому слу-
чаю, а m=1 – цилиндрическому.
Путем численных экспериментов показано,
что в широком диапазоне параметров тлеющего раз-
ряда тип граничных условий не оказывает сущест-
венного влияния на результаты расчетов.
11
В работах [25, 26] приведены зависимости
основных ионизационных и дрейфовых характери-
стик от приведенной напряженности поля Е/р.
Следует при этом отметить, что решение
двухмерных, а тем более, трехмерных задач весьма
трудоемко, при этом оно проводится лишь в упро-
щенной постановке, когда не учитывается ряд спе-
цифических факторов, присущих ВЧЕ разрядам.
Например, того что согласно [27], ионизационный
коэффициент Таунсенда не применим в случае
сильных полей, так как в этом случае частота иони-
зации монотонно нарастает с ростом отношения
напряженность/давление, тогда как в очень сильных
полях ионизационная способность с ростом поля
падает.
Модели с учетом переноса энергии
электронами
В ВЧЕ-разряде существенным является за-
висимость ионизационных, диффузионных и дрей-
фовых характеристик от электронной температуры.
Изменение электронной температуры электронов
может привести к изменению остальных характери-
стик плазмы, поэтому расчет температуры электро-
нов в разряде является важной задачей. Температура
электронов в газовом разряде устанавливается само-
согласованно и зависит от природы газа, давления и
плотности тока.
В статье [28] представлена модель ВЧЕ
разряда включающая в себя уравнения непрерывно-
сти для электронов и ионов (1),(2), уравнение Паус-
сона (3) с потоками частиц (5), (6) и уравнение для
энергии электронов:
ne e 5
t 2 L
5
G  Ge e  De ne  e ,
2 3
 e - энергия электронов. Все основные коэффици-
енты аппроксимировались зависимостью от Е/N.
Расчеты производились при частоте генератора
13,56 МГц, давление 100 мТорр и амплитуде напря-
жения 100 В и показали качественное согласие с
экспериментальными данными.
В программном обеспечении SIGLO-RF 1.0
фирмы Kinema Software [29] заложена следующая
физическая модель:
ne Ge
  ne (   a   n )   nn ,
t x i d
d
ответственно, nn - концентрация отрицательных
ионов;
ne e 5 G
  eGe E  ne L( e ) .
t 3 x
Коэффициент электронной диффузии связан
со средней энергией отношением Эйнштейна:
De T 2
k e  e .
e e 3e
 Плотность потока энергии записывается в n G
виде   ne Nk  ne n k  kmp n 2 ;
t x i * si *
ne e уравнение баланса метастабильных атомов:
G  ne e e E  De ,
x n G
где L(ε) – член, учитывающий потери энергии и за- *  *  n Nk  k n 2  n Nk 
t x e ex mp * e 2q
висящий от локальной средней энергии электронов
таким же образом, как и при равновесных условиях  ne n (k  ksc  kr )  k N 2n ;
* si 3q *
(L(ε)= eμeE2).
Для положительных ионов: уравнение баланса электронной температуры:
n G 3k neTe qe
  ne (   n )   n n ,   eGe E   H R  0 .
t x i ( i i ) n  2t x j j j
а для отрицательных ионов Здесь ki, ksi, kmp,kex ,ksc,kr, k2q, k3q -константы со-
nn Gn
  ne a   n n  nn . ответствующих процессов,Hj - количество энергии
t x ( i i ) n  d
выделяемой или затраченной в соответствующем
n процессе, Rj есть численное значение соответ-
Здесь Gn  Dn n  nn n E, и соответственно
x ствующего процесса при j=i, si, mp, ex, sc, r, 2q,
Dn , n - коэффициент диффузии и подвижность 3q, плотности потоков заряженных частиц опреде-
ляются согласно (5), (6); плотность потока метаста-
отрицательных ионов, 
( i i )
- коэффициент ион- бильных атомов
ионной рекомбинации . n
G  D *,
Уравнение Пуассона для электрического * * x
потенциала записывается в виде:
плотность потока энергии
 2 e T 5
2
  (n  ne  nn ) . qe  Ke e  kTeGe ,
x  x 2
0
Используются следующие граничные усло- коэффициент теплопроводности
вия для потока заряженных частиц и концентраций 5
Ke  De ne .
на электродах: 2
Ge= ne vt / 4, Граничные условия задавались в виде:
n+ →0 на электродах, Ge   ks ne   G , при x  0, L
где vt – тепловая скорость электронов.
Граничные условия для потенциала соот- G  n   E , при x  0, L
ветствуют заземленному левому электроду (нулевой
потенциал), на правый электрод подается ВЧ на- n  0, Te  0.5 эВ, при x  0, L
*
пряжение. Начальные условия не оказывают значи-
тельного влияния и задаются только начальная тем-   0, при x  0,
пература электронов в эВ и начальная максимальная   Va sin  ft  , при x  L.
концентрация плазмы. Алгоритм расчетов основы-
вается на использовании схемы Кранка– Николсона. Здесь Va - амплитуда напряжения.
В работе выделен следующий набор реак-
Модели ВЧЕ- разряда с учетом ций для трехуровневой схемы термов атома аргона:
*
A
r
e

A
r r
e

метастабильных атомов
   (i) - возбуждение метастабильного
A
e

A
r

2 A
e *r

  
Так как концентрация метастабильных ато-
уровня, (si) - прямая ионизация с
мов в аргоне сопоставима с концентрацией заря-
A
r

2
e
e


женных частиц, то сверхупругие столкновения этих основного состояния,    (mp)
атомов с электронами приводят к изменению сред- ступенчатая ионизация с метастабильного уровня,
*

r
A
r
e

A
r
e

ней энергии и коэффициентов скороcтей всех про-

   (sc) – перемешивание с метаста-
цессов под действием электронного удара [30-33].
бильного на резонансный уровень,
*

В работе [34] проведено моделирование

A
r

A
r

A
r

A
r
e

ВЧЕ разряда в аргоне при межэлектродных расстоя-      (r) - пеннинговская иони-

ниях 2.54 см, давлении 1 Торр, постоянной газовой зация; а также процессы девозбуждения метаста-
*
A
r e

A
r r
2 e
A
r

температуре, равной 300 К и амплитуде напряжения

бильного уровня   (2q),
*

50 В и 100 В. Расчеты проведены с учетом влияния

A
r
2
A
r

A
r

A
r

A
r

A
2

метастабильных атомов. Модель включает в себя    (3q),    (ex).

следующие уравнения: уравнение Пуассона (3), В работе [35] выделено также резонансное
rr
A

уравнения баланса заряженных частиц

излучение с учетом самопоглощения 
A
r

ne Ge
  ne Nk  ne nn k  kmp n 2 ,  .
t ч i si * В работе [36] более подробно рассмотрено
влияние резонансных атомов:

12
 r
*
A
r*
e e
A
rr
e e
A
rr
e e
A
r A
e 2
   ,    ,
A потенциала.
r
A
r
A
r
e
   ,   
и упругих соударений частиц друг с другом, всего
учтено 16 реакций.
В работе [37] для аргона учитывались кине-
тические уравнения для ионов (Ar+, Ar2+) и элек-
тронных возбужденных состояний аргона: связанно-
го метастабильного уровня, связанного резонанст-
ного уровня и 3-х вышележащих сосредоточенных
уровней, всего учитывалось 26 реакций.
В работе [38] определены абсолютные засе-
ленности метастабильных состояний аргона в плаз-
ме высокочастотного разряда в атмосфере чистого
аргона.
В работе[39] дана схема нижних электрон-
ных уровней аргона и обозначено уже 32 элемен-
тарных процесса.
Программное обеспечение BOLSIG+ версия
1.2 позволяет считать константы физических про-
цессов для моделей сплошной среды с учетом их
зависимости от приведенной напряженности элек-
трического поля (E/N) или (электронной температу-
ры).
Заключение
Оценки элементарных процессов в плазме
высокочастотных ВЧ-разрядов пониженного давле-
ния, приведенные в работе, показывают, что мате-
матическая модель ВЧЕ-разряда пониженного дав-
ления может быть удовлетворительно описана в
приближении сплошной среды. В результате анали-
за изложенных математических моделей ВЧЕ-
разряда пониженного давления установлено, что
они не дают полного самосогласованного описания
состояния плазмы, а в частности не учитывают ряд
факторов приобретающих существенное значение
при изменении характеристик плазмотронов, на-
пример развод электродов на большие межэлек-
тродные расстояния.
Как уже было показано выше в аргоне на-
личие метастабильных атомов оказывает сущест-
венное влияние на процессы происходящие в разря-
де. Кроме этого при описании свойств низкотемпе-
ратурной плазмы, при постоянном давлении, темпе-
ратура газа является важным параметром, который
определяет концентрацию тяжелых частиц в объеме.
Параметры электронной компоненты плазмы, а
именно средняя энергия электронов, коэффициенты
переноса и коэффициенты скоростей процессов при
электронном ударе зависят от приведенного элек-
трического поля. Кроме того, от температуры газа
часто зависят коэффициенты скоростей реакции
тяжелых частиц и длину свободного пробега тяже-
лых частиц [18, 27, 41].
Следовательно для определения диапазона
устойчивого горения ВЧЕ-разряда пониженного
давления в плазмотроне с большим межэлектрод-
ным расстоянием математическая модель должна
включать в себя уравнения баланса для электронно-
го и ионного газа, электронной энергии, энергии
тяжелых частиц, а также баланса метастабильных
13
атомов и уравнение Пуассона для распределения
Работа выполнена при финансовой под-
держке РФФИ (проекты 12-01-00955, 14-01-00755) и
Минобрнауки РФ (базовая часть госзадания, проект
от 01.02.2014 г. № 2196).
Литература
1. Р. Оулет, М. Барбье, П. Черемисинофф и др. Техноло-
гическое применение низкотемпературной плазмы. М.:
Энергоатомиздат, 1983. 144с.
2. А.Л. Моссе, Междунар. Науч. конф. «Плазмен. Технол.
исследования, модификации и получения материалов
различной природы» и Междунар. Шк. молодых ученых
и специалистов «Плазмен. Технол. в исслед. и получении
новых материалов»: материалы конференции ( Казань,
2012) Изд-во КНИТУ, 2012, С. 16-19.
3. И.Ш. Абдуллин, Р.Г. Ибрагимов, О.В. Зайцева
В.В.Парошин. // Вест. Казан. Технол. Ун-та, 9, 11-16
(2013)
4. Г.И. Гарипова., И.Ш Абдуллин, Л.Ю. Махоткина //
Вест. Казан. Технол. Ун-та, 17, 153-155 (2013)
5. И.Ш. Абдуллин., Р.Г. Ибрагимов, О.В. Зайцева., В.В.
Парошин // Вест. Казан. Технол. Ун-та, 24, 34-37 (2012)
6. И.Ш. Абдуллин, Е.В. Слепнева, В.В. Хамматова //
Вест. Казан. Технол. Ун-та, 16, 106-109 (2011)
7. Т.В. Бурдикова, Междунар. Науч. конф. «Плазмен.
Технол. исследования, модификации и получения мате-
риалов различной природы» и Междунар. Шк. молодых
ученых и специалистов «Плазмен. Технол. в исслед. и по-
лучении новых материалов»: материалы конференции
(Казань, 2012), Изд-во КНИТУ, 2012, C. 24-30.
8. А.Л.Моссе, И.О.Буров, Обработка дисперсионных
материалов в плазменных реакторах. Минск: Наука и
техника, 1980 – 205 с.
9. В.ВКудинов, Н.В.Корнеева, Междунар. Конф. «Физ.
Высокочастот. разрядов». Междунар. Шк. Мол. ученых
и специалистов «Высокочастот. разряд: теория и тех-
ника»: материалы конференции (Казань, 2011): Изд-во
КНИТУ, С. 35.
10. В.В. Рыбкин. Сорос. Образ. Ж., 6, 3, 118-123 (2000).
11. В.В. Шалимов, Е.Б. Беспалов, Г.А. Зорин,
Т.Б.Кандиболотская. .ЖТФ, 63, 9, 185-190 (1993)
12. Р.Б. Салихов, А.Н Лачинов, В.М. Корнилов, Р.Г. Рах-
меев. ЖТФ, 79, 4, 131-135 (2009)
13. А.Х. Зайнутдинов, М.А.Магрупов, ЖТФ, 63, 9, 53-64
(1993).
14. В.Л. Бычков, ЖТФ, 63, 2, 152–159 (1993)
15. И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, Н.Ф.Кашапов. Высо-
кочастотная плазменно-струйная обработка материа-
лов при пониженных давлениях. Теория и практика при-
менения, Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2000, 348 с.
16. М.Митчнер, Ч.Кругер. Частично-ионизованнные газы.
М.: Мир, 1976, 496 с.
17. А.Е.Дулькин., С.А.Мошкалев, А.С.Смирнов,
К.С.Фролов, ЖТФ, 63, 7, 64-73 (1993)
18. Ю.П Райзер, М.Н.Шнейдер, Н.А. Яценко, Высо-
кочастотный емкостный разряд: Физика. Техника
эксперимента. Приложения. М: Изд-во МФТИ, 1995,
320 с.
19. В.А. Швейгерт, ЖТФ, 63, 5, 29-40 (1993).
20. Р.Ш. Исламов, ЖТФ, 61, 7, 12-15 (1991)
21. Р.Ш. Исламов, ЖВМиМФ, 46, 11, 2065–2080 (2006).
22. Р.Ш. Исламов, О разрешимости диффузионно-
дрейфового приближения в теории газового разряда.
Троицк, 1991, 32 с (НИЦТЛАН 91-81)
23. Р.Ш. Исламов, ЖВМиМФ, 46, 1, 131–147(2006)
24. С.Т. Суржиков. Физико-химическая кинетика в газо-
вой динамике, 7 (2008)
25. В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко, Вест. Харьк. Нац. Ун- 34. Dimitris P. Lymberopoulos and Demetre J. Economou, J.
та. Сер. Физ.: ядра, частицы, поля. 887, 1(45), 81-87 Appl. Phys., 73, 8, 3668–3679 (1993).
(2010). 35. Е.А. Богданов., А.А. Кудрявцев., Л.Д. Цендин., Р.Р.
26. А.Н. Ткачев, А.А Феденев, С.И. Яковленко, ЖТФ, 77, Арсланбеков, В.И. Колобов, В.В. Кудрявцев, ЖТФ, 74,
6, 22-27 (2007) 6, 35–42 (2004).
27. Ю.П. Райзер, Физика газового разряда. Долгопрудный: 36. L Lauro-Taroni, M M Turner and N StJ Braithwaite ,J.
Изд. дом «Интеллект», 2009. – 736 с Phys. D: Appl. Phys. 37, 2216–2222(2004)
28. J.P. Boeuf, L.C. Pitchford, Phys. Rev. E, 51, 2, 1376- 37. I. L. Epstein, M. Gavrilović, S. Joviґcević, N. Konjević,
1390 (1995) Yu. A. Lebedev, A. V. Tatarinov. Eur. Phys. J. D , 68, 334,
29. SIGLO-RF v.1.0. KINEMA SOFTWARE & CPAT. 1995. (2014)
http://www.kinema.com 38. Б.Т. Байсова, В.И. Струнин, Н.Н. Струнина,
30. Л.С. Полак, Г.Б.Синярев, Д.И. Словецкий и др. Химия Г.Ж. Худайбергенов, ЖТФ, 73, 8,30–33.( 2003)
плазмы. Под редакцией Л.С. Полак и Ю.А. Лебедев. 39. Н.А. Дятко, Ю.З. Ионих, А.В. Мещанов, А.П. Напар-
Новосибирск, »Наука»,1991-325с. тович, Физика плазмы. Т. 31, 10,939–953 (2005).
31. Ю.А. Лебедев, Высокочастотный разряд в волновых 40. G. J. M. Hagelaar and L. C. Pitchford, Plasma Sources
полях: материалы конференции, (Самара, 1990), 25-62. Sci. Techn., 14, 722-733 (2005).
32. E. Karoulina, Yu. Lebedev, J .Phys. D: Appl.Phys., 25, 41. И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, В.Ю., Чебакова, М.Н.
401-412 (1992) Шнейдер, Уч. Зап. Казан. Ун-та. Сер. Физ.-мат. науки,
33. Б. М. Смирнов, УФН, 133, 4, 569-616. 155, 2, 123–130 (2013).
_____________________________________________
© И. Ш. Абдуллин – д.т.н., проф., зав. каф. ПНТВМ КНИТУ, abdullin_i@kstu.ru; В. С. Желтухин – д.ф.-м.н., г.н.с. каф.
ПНТВМ КНИТУ, vzheltukhin@gmail.com; В. Ю. Чебакова – асс. каф. мат. статистики КФУ, vchebakova@mail.ru.

© I. Sh. Abdullin – Dr.Sci., Prof., Chief of the Plasma Technology and Nanotechnology of High Molecular Weight Materials of
Kazan National Research Technological University, abdullin_i@kstu.ru; V. S. Zheltukhin – Dr.Sci., chief researcher of the Plasma
Technology and Nanotechnology of High Molecular Weight Materials of Kazan National Research Technological University,
vzheltukhin@gmail.com; V. Yu. Chebakova – lecturer of Chair of Mathematical Statistics Department of Kazan Federal University,
vchebakova@mail.ru.

14