To do list:

Плата радиочастотного интерфейса (02 101498 90)

Плата радиочастотного интерфейса сбрасывается сигналом сброса системы от платы
управления 386EX. Во время сброса 80C32 проверяет состояние DIP-переключателей
SW1-2–SW1-6, на мгновение включает светодиоды D4 и D5 и выполняет
четырехсекундный тест ОЗУ. IC9 сбрасывается, чтобы гарантировать, что во время
инициализации отключены как высоковольтный источник анода, так и источник накала.
После инициализации платы радиочастотного интерфейса D4 периодически мигает.
Это указывает на то, что последовательный канал связи RS-422 работает правильно.
Диагностика СППЗУ
Все четыре платы на базе микропроцессора (платы управления 386EX, управления
газом, радиочастотного интерфейса и платы перистальтического насоса) оснащены
диагностическими переключателями/перемычками и светодиодами.
Диагностические тесты, запускаемые диагностическими
переключателями/перемычками, проверяют различные функции прибора и должны
использоваться для поиска и устранения неисправностей. Все диагностические тесты
EPROM, управляемые переключателем, будут работать, когда печатная плата снята с
прибора для стендовых испытаний. Все, что необходимо, — это подключения
источника питания для работы печатной платы. Эта функция позволяет выполнять
полный спектр диагностических тестов во время стендовых испытаний печатных плат.
Для запуска любого из диагностических тестов выберите необходимую комбинацию
переключателей и включите функцию сброса (включите низкое напряжение). Подайте
+5 В постоянного тока на микропроцессор 80C32 (при стендовых испытаниях) или
выполните сброс системы прибора на плате управления 386EX, чтобы начать
испытание.
Тесты будут продолжаться до тех пор, пока переключатели не вернутся в нормальное
рабочее положение и плата не будет повторно инициализирована при сбросе
системы.
Трансформатор тока РФ
Радиочастотный ток в индукционной катушке контролируется трансформатором тока
40:1, расположенным между обратным проводом индукционной катушки и землей.
Вторичная обмотка трансформатора выполнена из ферритового тороида с обмоткой в
40 витков. Вторичная обмотка установлена на изолированной стойке
водоохлаждаемого корпуса, образующей единую первичную обмотку. Вторичная
обмотка завершается нагрузкой 4,125 Вт, состоящей из R1-R8 в последовательно-
параллельной конфигурации.
ВЧ напряжение на нагрузочном резисторе, образованном вторичной обмоткой
трансформатора датчика тока и R1-R8, удваивается по амплитуде трансформатором
Т1 на плате датчика тока. T1 также изолирует обратный сигнал на плате
радиочастотного интерфейса от земли шасси радиочастотного генератора. Диод D1 с
R10 и C2 генерируют постоянное напряжение, пропорциональное ВЧ току рабочей
катушки. Диод D2 включен последовательно с напряжением регулирования уровня
мощности от платы радиочастотного интерфейса для обеспечения температурной
компенсации прямого падения напряжения на диоде D1. Примечание. Диоды D1 и D2
представляют собой согласованную пару диодов Шоттки и всегда должны заменяться
парой. L1, L2, C3 и C4 — это компоненты фильтра, которые удаляют радиочастотную
энергию из выходных линий компенсирующего диода.
Плата радиочастотного интерфейса
Плата радиочастотного интерфейса управляет и контролирует процесс генерации
плазмы.
система. Эти функции включают в себя:
· Контроль уровня радиочастотной мощности (ALC)
· Мониторинг охлаждающего вентилятора
· Расход охлаждающей воды
· Плазма включена
· Защитные блокировки
· Статус источника высокого напряжения
· Статус поставок нити
· Ток сетки силового генератора
· Микропроцессорные схемы
Плата радиочастотного интерфейса управляется микропроцессором IC5 80C32,
работающим на тактовой частоте 12 МГц. 80C32 имеет четыре 8-битных
параллельных порта ввода-вывода:
Порт 0 (контакты 32–39) Младший байт адреса/данных
Порт 1 (контакты 1–8) Мониторинг состояния ALC с высоким/низким коэффициентом
усиления, выход радиочастотного сторожевого таймера, управление направлением
данных последовательной связи.
Порт 2 (контакты 21–28) Старший адресный байт.
Порт 3 (контакты 10–17) Последовательная связь, прерывание радиочастотного
таймера,
Прерывание при сбое питания HVDC, линии чтения/записи.
Память
Мультиплексированная информация данных/адреса разделяется микросхемой IC6
(74HCT573), которая фиксирует младший байт адреса по заднему фронту сигнала
«ALE». Выход активного нижнего хранилища программ (PSEN) микропроцессора
выбирает СППЗУ IC 7. IC7, электронная программируемая микросхема постоянной
памяти 27C256 емкостью 32 КБ, является основным хранилищем программ, доступ к
которому осуществляется, когда PSEN низкий. IC8, микросхема статической
оперативной памяти 6264 объемом 8 КБ, представляет собой хранилище
динамических данных, доступ к которому осуществляется, когда сигналы RD или WR
имеют низкий уровень, а A15 высокий. IC9, устройство контроллера ввода-вывода
UPD71055, выбирается, когда все A15, RD и WR имеют низкий уровень.
Коммуникации
Связь между платой радиочастотного интерфейса и платой управления 386EX
осуществляется с помощью IC3, специального приемопередатчика двунаправленной
шины RS-422. Поток данных TX и RX через это устройство контролируется состоянием
выходного порта P1-6 микросхемы IC1, контакт 7. Когда на контакте 7 низкий уровень,
микропроцессор находится в режиме передачи. Преобразование данных
последовательного формата RS-422 в данные формата параллельной шины
выполняется внутри микропроцессора 80C32 через выделенные порты RX и TX,
контакты 10 и 11.
Перезагрузить
Плата радиочастотного интерфейса может быть сброшена сигналом сброса системы
от платы управления 386EX. Падающий фронт на выводе 1 отключает оптоизолятор
IC1 и создает высокий уровень на выводе 9 микросхемы 80C32. Сброс 80C32 также
сбрасывает UPD71055.
Светодиоды контроля блокировки и состояния
Два порта ввода-вывода IC9 предназначены для мониторинга состояния блокировок
системы генерации плазмы. 80C32 считывает состояние этих двух портов, когда на
адресных линиях A0 и A1 низкий уровень.
Светодиодные индикаторы состояния РЧ-интерфейса PWB:
D6 ВКЛ = Плазма работает (желтый)
D7 ВКЛ = Расход воды в норме (зеленый)
D8 ВКЛ = Вентилятор охлаждения в порядке (зеленый)
D9 ВКЛ = Подача нити в порядке (зеленый)
D13 ВКЛ = Блокировка плазмы/ВН в норме (зеленый)
D14 ВКЛ = сбой ALC (красный)
Блокировка плазмы/высокого напряжения
PA1 контролирует состояние блокировки крышки доступа к отсеку высокого
напряжения, блокировки двери плазменного отсека и кнопки аварийного выключения
ПЛАЗМЫ на передней панели. Все условия в порядке, на выводе 3 IC9 выдается
высокий уровень. Разомкнутый блокировочный выключатель или нажатие кнопки
ВЫКЛ ПЛАЗМЫ запретят воспламенение плазмы.
Чувство нити
Схема управления накалом, расположенная на плате питания прибора, выдает сигнал
FIL SENSE, который указывает, что источник питания накала работает и подается на
силовой ВЧ-триод. Этот сигнал состояния используется платой радиочастотного
интерфейса на порте PA-4, IC9, чтобы гарантировать, что источник накала работает
до того, как на триод будет подано высоковольтное анодное питание. Если во время
зажигания плазмы происходит сбой подачи нити, на ПК отображается сообщение об
ошибке «Нет напряжения накала» или «Отказ напряжения накала».
Мониторинг расхода воды
Контроль расхода воды осуществляется крыльчатым датчиком, прикрепленным к
водяному коллектору. Импульсы генерируются датчиком в ответ на скорость потока
через устройство. Эти импульсы подаются на плату управления перистальтическим
насосом на контакт 2 разъема P9. Плата управления перистальтическим насосом
контролирует частоту пульса, которая пропорциональна скорости потока.
Интервалы 19 мс = 0,8 л/мин. Если импульсы расхода на TP10 составляют менее 19
мс, на выходе 4 U10 будет высокий импульс, заряжая конденсатор C2. Высокое
значение на C2 приводит к тому, что выходной сигнал на выводе 6 U2C становится
низким, сигнализируя о низком расходе воды на радиочастотную плату управления и
плату питания, предупреждая микропроцессор о неисправности. В результате на ПК
отображается сообщение об ошибке «Низкий расход воды». Это состояние
неисправности препятствует воспламенению плазмы и вызывает принудительное
отключение, если оно обнаружено во время работы плазмы. Этот сигнал также
подается на микропроцессор U1, который обеспечивает индикацию расхода воды в
норме с помощью светодиода D8 (зеленого цвета) на плате управления
перистальтическим насосом.
Мониторинг охлаждающего вентилятора
Работа охлаждающего вентилятора определяется реле давления воздуха, которое
подключено к входному воздуховоду генератора мощности ВЧ. Отказ вентилятора
приводит к размыканию реле давления воздуха и предупреждению 80C32 о состоянии
с помощью низкого логического уровня на порте PA3 IC9. Это приводит к отображению
на ПК сообщения об ошибке «Недостаточный поток воздуха». Это состояние
неисправности будет препятствовать воспламенению плазмы.
Мониторинг смещения сети
Ток сетки контролируется на плате радиочастотного интерфейса для определения
состояния радиочастотного триода. Когда анодное напряжение триода ВЧ-генератора
мощности падает до минимального уровня, напряжение сетки триода становится
положительным, вызывая протекание тока сетки.
Ток сетки в ВЧ генераторе мощности вызывает падение напряжения, которое
контролируется на выводе 10 микросхемы IC15. В нормальном режиме работы это
напряжение более отрицательное, чем -1,123 В постоянного тока, что приводит к
высокому выходному сигналу на выводе 7 IC15 и порту PA5, выводе 39 IC9.
В случае, когда высокочастотный генератор мощности не колеблется, ток сетки не
течет, и выходной сигнал на выводе 7 IC15 будет низким. Этот низкий уровень на
порту PA5 IC9 приводит к отображению на ПК сообщения об ошибке «F1285 RF error».
Это состояние неисправности препятствует воспламенению плазмы и вызывает
принудительное отключение, если оно обнаружено во время работы плазмы.

Мониторинг включения плазмы

Оптическое волокно в отсеке горелки расположено таким образом, чтобы смотреть на
плазму. Когда плазма включена, образец света из волокна включает фототранзистор
TR1, что приводит к более высокому напряжению на выводе 5 компаратора.
IC14B, чем 1 В постоянного тока, создаваемое на выводе 4 падением напряжения на
резисторах R18, R19 и R20. Более высокое напряжение на выводе 5 приводит к
высокому выходному сигналу на выводе 2 микросхемы IC14B.
Если плазма гаснет, TR1 выключается, устанавливая контакт 5 ниже, чем контакт 4,
что приводит к низкому уровню выхода IC14B. Это предупреждает 80C32 об этом
состоянии через порт PA6 IC9 и вызывает сообщение об ошибке «Плазма имеет
вышел» для отображения на ПК. Если это состояние неисправности обнаружено при
включенной плазме, ВЧ-генератор и блок управления газом отключаются.
Контроллер радиочастотного контроля
IC13B контролирует способность 80C32 на плате радиочастотного интерфейса
управлять системой генерации плазмы. Если 80C32 теряет контроль над системой,
эта схема отключает подачу высокого напряжения и отключает ВЧ-питание.
Моностабильный IC13B с повторным запуском имеет постоянную времени 220 мс (R11
и C7). Положительный фронт на входе A (контакт 1) переключает выход Q с низкого на
высокий на 220 мс. Когда команда включения высокого напряжения отправляется с
выходного порта P1-5 выходного порта P1-7 80C32, генерируется последовательность
импульсов с периодом 65 мс. Генерация последовательности импульсов 80C32
является показателем того, что он работает правильно и контролирует схему. Период
последовательности импульсов обеспечивает на входе A моностабильной схемы
IC13B положительный фронт каждые 65 мс, заставляя выход Q поддерживать высокое
состояние.
В случае сбоя программного обеспечения 80C32 последовательность импульсов
генерироваться не будет. Это позволит выходу Q IC13B переключиться на низкий
уровень и сбросить 80C32 через прерывание 0 (порт P3.4). Сбой источника питания
высокого напряжения. Состояние перегрузки, обнаруженное источником питания
HVDC, подаст сигнал 80C32 через порт P1.1. Это состояние неисправности будет
препятствовать воспламенению плазмы или, если плазма уже работает, приведет к
отключению ВЧ-питания 80C32. Если источник питания генерирует сигнал с высоким
логическим уровнем, вывод 2 OLOAD IC12 перейдет в низкий уровень, и P1.1
сгенерирует сбой источника питания HVDC.

Автоматический контроль уровня

Уровень выходной мощности выбирается путем ввода желаемой мощности в
киловаттах через интерфейс программного обеспечения. Это приводит к тому, что в
цепи ЦАП на плате радиочастотного интерфейса (IC17, IC18 и IC19) создается
напряжение постоянного тока, пропорциональное запрошенной мощности.
Калибровочный регулятор RV1 предназначен для установки опорного напряжения ALC
на выводе 7 микросхемы IC19.
Выходной сигнал схемы ЦАП проходит через схему опорного диода ALC на плате
датчика ВЧ-тока, а затем на вывод 2 усилителя ошибки IC19.
Напряжение выборки, создаваемое схемой выборки РЧ на печатной плате датчика
тока, суммируется с опорным напряжением, возвращающимся с диода
термокомпенсации D2. Сумма двух напряжений подается на инвертирующую сторону
контакта 2 усилителя ошибки IC19. На выходе получается усиленное напряжение,
представляющее разницу между уровнем мощности клавиатуры и дискретным
уровнем мощности.
Выход на выводе 1 IC19 управляет источником питания HVDC. Выход +10 В
постоянного тока усилителя ошибки устанавливает напряжение питания высокого
напряжения постоянного тока на максимальное выходное напряжение 7 кВ. Чтобы
гарантировать, что максимальный выходной сигнал HVDC не будет превышен,
выходной сигнал усилителя ошибки на выводе 1 IC19 сравнивается с опорным
напряжением +10 В. Выводы 12, 13 и 14 IC19 настроены на ограничение выходного
сигнала на выводе 14 до +10 В путем подачи тока на вывод 2 IC19 через TR5 и R55.
Выборочное напряжение ALC и напряжение ЦАП, генерируемое клавиатурой, также
используются для контроля способности схемы ALC контролировать уровень
радиочастотной мощности. Это осуществляется компаратором IC15, который
контролирует выходное напряжение на выводе 14 ограничительного усилителя IC19. В
нормальном режиме выходной сигнал на выводе 14 IC19 составляет от -12 до -15 В.
Если положительное напряжение от цепи датчика тока силового генератора через
резисторы R54 и R51 не может соответствовать отрицательному напряжению уставки
мощности через R49 и R50, выходной сигнал усилителя ошибки IC19 (контакт 1)
пытается превысить +10 Вольт. Выходной сигнал на выводе 14 IC19 становится
положительным, вызывая низкий уровень на выходе компаратора IC15 и
предупреждая 80C32 об ошибке на порте PA-7 IC9. Это состояние неисправности
приводит к отображению на ПК сообщения об ошибке «Питание недостижимо».

Зажигание
Спектрометры Varian ICP-OES используют программное обеспечение для ПК для
управления
приборная аппаратура при зажигании плазмы. Процедура программного обеспечения
зажигания состоит из четырех этапов.
· Удалять
· Задерживать
· Свет
· Бегать
Удалять
Стадия продувки используется для удаления нежелательного воздуха и влаги из
линий подачи газа и системы ввода проб. Он также обеспечивает подачу чистого
аргона через горелку. Настройки по умолчанию для
Стадия очистки:
Плазменный вспомогательный импульсный насос времени Neb Power
22,5
л/мин
2.25
л/мин
Выкл. 0,9
л/мин
0,00
кВт
15
сек
0
об/мин
Задерживать
Геометрия горелки обеспечивает потоки газа, которые усиливают генерацию плазмы и
позволяют вводить образцы в плазму после ее образования.
Поток пробы и газа-носителя при зажигании через центр горелки изменяет геометрию
газов аргона, проходящих через рабочую катушку. Аэрозоль из трубки инжектора
вытесняет вспомогательные и плазменные газы из центра факела к внешним стенкам.
Полученный газовый поток цилиндрической формы трудно использовать для
воспламенения плазмы.
При выключении распылителя вспомогательный и плазменный потоки сходятся в
центре горелки, проходя через рабочую катушку. Задержка
Этап позволяет небулайзеру выключиться. Значения по умолчанию для этапа
задержки следующие:
Плазменный вспомогательный импульсный насос времени Neb Power
22,5
л/мин
2.25
л/мин
Выкл. 0,0
л/мин
0,00
кВт
10
сек
0
об/мин
Зажечь
На этапе зажигания включается РЧ и аргон в горелке засеивается электронами из
искры воспламенителя. Плазменные и вспомогательные потоки сокращаются до
минимума, и включается дополнительный поток наддувочного газа 26 л/мин.
Вспомогательный наддув обеспечивает подачу аргона через центр рабочей катушки.
Этот этап также включает в себя 11–13-секундный прогрев источника питания
высокого напряжения постоянного тока.
Источник питания высокого напряжения постоянного тока имеет внутреннюю
аппаратную линию задержки, которая отключает подачу управляющего напряжения,
подаваемого на него с платы радиочастотного интерфейса. Напряжение схемы ALC
обеспечивает контроль уровня на выходе источника питания.
Наддувочный газ, проходящий через горелку, обеспечивает достаточный
положительный эффект.
давление, чтобы оттолкнуть формирующуюся плазму от промежуточного и
инжекторная трубка горелки.
Вспомогательный соленоид наддува включается перед включением источника
питания постоянного тока высокого напряжения. Это позволяет вспомогательному
наддуву обеспечивать положительное давление в течение 11–13 секунд, необходимых
для прогрева высоковольтного источника постоянного тока.
События этапа зажигания
· Настройка вспомогательного потока для световой сцены
· Настройка потока плазмы для световой сцены
· Включите вспомогательный соленоид наддува.
· Подождите 11–13 секунд, пока источник питания постоянного тока высокого
напряжения прогреется.
· Запустите воспламенитель и установите мощность РЧ на 2 кВт.
· Когда плазма обнаружена как горящая, начните этап запуска.
· Настройки по умолчанию для этапа зажигания:

Стадия зажигания будет продолжаться до тех пор, пока не истечет время ожидания
или не будет активировано оптоволоконное соединение.
Датчик плазмы на плате радиочастотного интерфейса обнаруживает плазму.
Бегать
Стадия запуска используется для перехода между плазменным зажиганием и
введение пробы и газа-носителя от ввода пробы
система. Плазма должна быть стабильной, прежде чем поток распылителя
повернется.
на.
Стадия запуска активируется при правильной работе плазменного датчика на
Плата радиочастотного интерфейса, которая разрешает эти действия -
· Установите вспомогательный поток для этапа работы.
· Настройка потока плазмы для этапа запуска
· Выключите вспомогательный соленоид наддува.
· Задержка для времени задержки этапа выполнения
· Включите соленоид распылителя.
· Установите вспомогательный поток на ноль.
· Задержка на 2,5 секунды
· Установите вспомогательный поток на значение этапа работы.
Настройки по умолчанию для этапа выполнения:
Вспомогательный для выключения
На этапе запуска подача вспомогательного газа временно устанавливается на ноль,
чтобы исключить любую капиллярную плазму, которая может образоваться во время
воспламенения.
Отсутствие вспомогательного потока аргона приводит к истощению капиллярной
плазмы.
(стримы), которые могут образоваться.
Программное обеспечение ПК устанавливает вспомогательный расход на ноль на 2,5
секунды.
Интерфейс охлаждаемого конуса (только осевой) Интерфейс охлаждаемого конуса
защищает окно предварительной оптики и поглощает тепло в корпус конуса и
охлаждающую втулку. Циркулирующая вода через охлаждающий рукав отводит тепло.
Большая, горизонтально установленная катушка над корпусом предварительной
оптики, является катушкой резонатора. Он подключен от охлаждающей втулки к
земле. Его основная цель — сформировать цепь, которая резонирует при
параллельном соединении с емкостью, образованной конусом, рукавом охлаждающей
воды и полипропиленовым изолятором. Если конус является резонансным, эффекты
дугового разряда от плазмы к конусу сводятся к минимуму.

Что мне делать?

Выключите прибор и отсоедините сетевой кабель от
инструмент.
См. раздел 1.5 «Доступ к основным узлам», в котором содержится информация по
снятию внешних крышек и идентификации узла ВЧ-генератора мощности. Удалите все
винты Pozidriv, которыми внешняя верхняя панель крепится к блоку усилителя.
Снимите верхнюю панель.
Удалите все винты с головкой Pozidriv, крепящие внутреннюю верхнюю крышку узла, и
поднимите крышку. Используйте высоковольтную разрядную палочку, чтобы
разрядить все открытые компоненты генератора перед работой со сборкой.
Предупреждение Контакт с компонентами в сборочной коробке ВЧ-генератора
мощности, которые работают при опасных уровнях ВЧ-мощности и температурах,
может привести к смерти или серьезной травме. Прежде чем снимать какие-либо
панели, всегда выключайте прибор и отсоединяйте его от электросети.
Доступ к отсеку для горелки
Доступ к отсеку горелки осуществляется через верхние крышки или переднюю дверцу
блока усилителя.
Доступ к решетчатому отсеку
См. раздел 1.5 Доступ к основным собраниям, в котором содержится информация.
для снятия внешних крышек и идентификации мощности ВЧ
генераторный агрегат.
Снимите верхние крышки ВЧ генератора мощности в соответствии с разделом
11.6.1.
Удалите винты M4, удерживающие крышку доступа на фильтре.
сборка.
Отпаяйте два нижних соединения (медный провод с покрытием и белый провод).
изолированный провод), которые проходят из фильтрующего отсека в сетку
отсек.
Удалите два винта М4, расположенные перед отсеком фильтра, которые
пройти через внешнюю коробку и в верхнюю крышку решетки
отсек.
Ослабьте червячный зажим вокруг анода ВЧ-триода и осторожно
снять триод.
Снимите червячный зажим с кронштейна в верхней части змеевика бака L1.
Снимите тефлоновую втулку для передачи охлаждающего воздуха с верхней части
триода.
разъем.
Снимите гайку M6 и шайбу с верхней части стойки из ПТФЭ и
анод триода/кронштейн L2.
Выверните три винта М4 из конденсаторов C6, C7, C8 и L1.
Снимите L1 со сборки.
Удалите два винта M4 в верхней части панели отсека решетки.
и снимите сетчатый отсек.
Доступ к фильтрующему отсеку
См. раздел 1.5 Доступ к основным собраниям, в котором содержится информация.
для снятия внешних крышек и идентификации мощности ВЧ
генераторный агрегат.
Ослабьте червячный хомут, удерживающий канал передачи охлаждающего
выхлопного воздуха.
над отсеком фильтра. Зажим расположен на круглом
Удерживающий зажим в нижней части верхней крышки внутреннего ВЧ-генератора.
Снимите алодированный воздуховод для передачи выхлопных газов и резиновую
накладку с
инструмент, опустив воздуховод через верхний лоток инструмента.
Выверните двадцать два винта М4 из передней крышки фильтра.
отсек.
Используйте высоковольтную разрядную палочку, чтобы разрядить все открытые
компоненты в отсеке фильтра перед началом работ по сборке.
Снятие узла ВЧ генератора мощности
Выключите прибор и охладитель воды. Отсоедините сетевой кабель от прибора.
Снимите блок предварительной оптики, как описано в разделе 12, и храните его в
надежном месте.
Отсоедините оптоволокно от платы радиочастотного интерфейса.
Отсоедините разъемы SK3, SK5, SK6 от платы радиочастотного интерфейса.
Отсоедините разъемы 1TR2 нити накаливания.
Снимите четыре винта M4 и панель доступа к источнику питания постоянного тока
высокого напряжения на задней панели прибора. Отсоедините шланг подачи воды для
охлаждения от коллектора датчика расхода воды к ВЧ генератору мощности на
коллекторе. Отсоедините шланг охлаждения возвратной воды от водоохладителя.
Снимите горелку и крышку из отсека горелки (при необходимости). Снимите блок
воспламенителя с торцевой панели радиочастотного генератора.
Удалите четыре специальных крепежных винта, которые удерживают усилитель.
сборка на шасси прибора. Доступ к ним осуществляется на
нижнюю часть верхнего лотка в отсеке HVDC.
Примечание. Если вы снимаете и заменяете узел генератора, вам может
потребоваться перенастроить предварительную оптику. См. раздел 12.4.9 для
получения подробной информации о том, как проверить выравнивание
предварительной оптики.
Примечание. При повторной установке радиочастотного блока в прибор убедитесь,
что четыре крепежных винта полностью затянуты. Эти винты обеспечивают
правильное заземление.
Удаление платы радиочастотного интерфейса
Удаление платы радиочастотного интерфейса не вызывает затруднений. См. раздел 1
для
расположение платы радиочастотного интерфейса. Замена ВЧ силового триода См.
раздел 1.5 Доступ к основным узлам, который обеспечивает
информация по снятию внешних крышек и идентификации узла ВЧ генератора
мощности. Снимите верхние крышки генератора мощности ВЧ в соответствии с
разделом 11.6.1. Удалите два винта M4, расположенные перед отсеком фильтра,
которые проходят через внешнюю коробку и в верхнюю крышку отсека решетки.
Ослабьте червячный зажим вокруг анода ВЧ-триода и осторожно снимите триод.
Розетка силового ВЧ-триода См. раздел 1 «Доступ к основным узлам», в котором
содержится информация о снятии внешних крышек и идентификации

РЧ мощность
генераторный агрегат.
Снимите верхние крышки ВЧ генератора мощности в соответствии с разделом
11.6.1.
Удалите винты M4, удерживающие крышку доступа на блоке фильтра. Отпаяйте два
нижних соединения (медный провод с покрытием и провод с белой изоляцией),
которые проходят из отсека фильтра в отсек сетки.
Удалите два винта M4, расположенные перед отсеком фильтра, которые проходят
через внешнюю коробку и в верхнюю крышку отсека решетки.
Ослабьте червячный зажим вокруг анода ВЧ-триода и осторожно снимите триод.
Снимите червячный зажим с кронштейна в верхней части змеевика бака L1.
Снимите тефлоновую втулку для передачи охлаждающего воздуха с верхней части
триодного гнезда.
Снимите гайку M6 и шайбу с верхней части стойки из ПТФЭ и
анод триода/кронштейн L2.
Выверните три винта М4 из конденсаторов C6, C7, C8 и L1.
Снимите L1 со сборки.
Выкрутите два винта M4 в верхней части панели отсека решетки и снимите отсек
решетки. Отпаять соединения с разъемом.
Снимите четыре винта крепления гнезда и проставки.
Замена рабочей катушки
Индукционная катушка расположена в отсеке горелки.
Выключите прибор и отсоедините сетевой кабель.
Выключите охладитель воды. Снимите узел горелки.
Снимите старую катушку.
Установите новую катушку, используя инструмент для выравнивания резака, чтобы
установить местоположение катушки.
(72-100211-00 для радиального и 72-100214-00 для осевого)
Затяните гайки индукционной катушки вручную, затем с помощью гаечного ключа
затяните гайки Swagelok на 1/4–1/2 оборота, чтобы обеспечить водонепроницаемое
уплотнение. Убедитесь, что катушка не деформируется во время этого процесса.
Включите водяной охладитель и проверьте, нет ли утечек воды вокруг соединений
индукционной катушки.
Проверьте вертикальное и горизонтальное выравнивание резака, поскольку они могли
быть нарушены. См. раздел 12.4.5. В этом разделе представлен справочный список
контрольных точек для проведения измерений системы генерации плазмы в самых
безопасных и доступных местах.
Измерения мощности радиочастотного генератора
Узел генератора мощности ВЧ содержит компоненты
работающие при высоких напряжениях (7 кВ постоянного тока), высоких уровнях
радиочастотной мощности (1,8 кВт, 40 МГц) и высоких температурах.
Во избежание смерти, поражения электрическим током, радиочастотных/тепловых
ожогов или радиационного повреждения тела все крышки и панели должны
находиться на своих местах. Измерения или калибровку нельзя выполнять, если все
внутренние панели не установлены и не закреплены. Никогда не отключайте какие-
либо блокировки системы генерации плазмы.
Анодный и сетевой ток
Точки измерения тока анода и сетки расположены на плате радиочастотного
интерфейса (разъем PL8).
Анодный ток можно рассчитать, измерив напряжение между TP20 и TP18 (10 В =
анодный ток 1 А). Для настройки клавиатуры на 2,0 кВт анодный ток обычно
составляет от 400 до 430 мА. Напряжение, измеренное от TP20 до TP18, обычно
составляет от 4,0 до 4,3 В. Ток сети можно рассчитать путем измерения напряжения
между TP16 и TP18 (1 В = ток сети 10 мА). При настройке клавиатуры на 2,0 кВт ток
сети обычно составляет от -6 до -7 В.
Напряжение накала
Напряжение накала можно измерить на вторичных клеммах накального
трансформатора TR2. Оно должно составлять приблизительно 6,35 В переменного
тока (СКЗ).
Падение напряжения на проводке, ведущей к силовой лампе, приводит к
номинальному действующему напряжению переменного тока 6,25 В переменного тока
на триодной розетке, которое необходимо для нормальной работы.
Примечание. Для этого измерения необходимо использовать вольтметр с истинным
среднеквадратичным значением.
Питание накала регулируется по фазе.
Ток накала
Примечание. Для этого измерения необходимо использовать амперметр с истинным
среднеквадратичным значением, рассчитанный минимум на 25 А (среднеквадратичное
значение).
Измерить ток накала можно двумя способами:
Зажимы вокруг одного из проводов от накального трансформатора к блоку усилителя
ВЧ.
Разорвите цепь и подключите измеритель тока последовательно с источником
питания.
Снимите лепестковый разъем со вторичной клеммы. Подключите
метр между открытой клеммой трансформатора и лепестковым разъемом.
При необходимости используйте провод 12 AWG (или эквивалентный) для соединения
счетчика.
Внутреннее сопротивление измерителя немного уменьшит ток. Чтобы избежать
чрезмерного падения напряжения, провода счетчика должны быть короткими, а все
соединения — прочными. Ток, измеренный любым методом, должен быть
около 22 ампер.
Калибровка уровня радиочастотной мощности
ВЧ генератор мощности не имеет внутренних регулировок.
На плате радиочастотного интерфейса предусмотрена регулировка для установки
управляющего напряжения ALC на TP13 (на разъеме PL9). Эту процедуру калибровки
следует выполнять при каждой замене платы радиочастотного интерфейса.
Калибровка различна для радиальных и осевых инструментов.
Подключите цифровой мультиметр от TP13 к TP 2 (сигнальная земля).
На экране РЧ диагностики установите мощность 1,8 кВт и включите
РФ снабжение.
Отрегулируйте RV1:
Радиальные инструменты
-5,302 вольта
Осевые инструменты
-5,715 вольт.
Типичные значения радиочастотных контрольных точек
Это не номера спецификаций – они включены в качестве справочных материалов для
типичного прибора.
(Таблица)