Академический Документы
Профессиональный Документы
Культура Документы
Нанотехнологии в
производстве изделий
электронной техники
(раздел 6)
Мигас Дмитрий Борисович
доктор физ.-матем.наук, профессор
Электрохимическое
осаждение металлов
и полупроводников
Электрохимическое осаждение
(electrochemical deposition, electroplating)
Три электрода
помещаются в ванну,
заполненную жидкой
электропроводящей
средой – электролитом.
Один электрод (катод) –
подложка, на которую
производится осаждение
материала.
На нее подается отрицательное по полярности напряжение
по отношению к другому электроду – аноду.
Контролируемое пропускание тока по цепи анод-
электролит-катод и обеспечивает электрохимическое
осаждение материала.
Электрохимическое осаждение
Электролитическая ячейка
Анод может быть двух типов: жертвенный анод
(расходуемый анод) или инертный анод (нерасходуемый
анод). Расходуемые аноды изготавливаются из материала,
который необходимо осадить на катоде. Нерасходуемые
аноды предназначены только для замыкания электрической
цепи. В качестве материала инертных анодов используют
платину или углерод (графит). Третий электрод – электрод
сравнения (ртутный, каломельный и хлорсеребряный
электроды), служит для контроля потенциала катода во
время процесса осаждения. Т.к. их собственные потенциалы
отличаются друг от друга, за точку отсчета принимается
потенциал стандартного водородного электрода,
который принимается равным нулю. Потенциалы
указанных выше электродов сравнения относительно
водородного электрода, представляющие собой
справочные данные, учитываются в реальных измерениях.
Электрохимическое осаждение