Принципы работы и устройство

приемников света на ПЗС.

Что же такое ПЗС?

Впервые принцип ПЗС с идеей сохранять и затем считывать

электронные заряды был разработан двумя инженерами корпорации
BELL в конце 60-х годов в ходе поиска новых типов памяти для ЭВМ,
способных заменить память на ферритовых кольцах (да – да, была и
такая память). Эта идея оказалась бесперспективной, но способность
кремния реагировать на видимый спектр излучения была замечена и
мысль использовать этот принцип для обработки изображений
получила своё развитие.

Начнем с расшифровки термина.

Аббревиатура ПЗС означает "Приборы с Зарядовой Связью" - этот

термин образовался от английского "Сharge-Сoupled Devices" (CCD).

Данный тип приборов в настоящее время имеет очень широкий круг

применений в самых различных оптоэлектронных устройствах для
регистрации изображения. В быту это цифровые фотоаппараты,
видеокамеры, различные сканеры.

Что же отличает ПЗС-приемник от обычного полупроводникового

фотодиода, имеющего светочувствительную площадку и два
электрических контакта для съема электрического сигнала?

Во-первых , таких светочувствительных площадок (часто их

называют пикселами - элементами, принимающими свет и
преобразующими его в электрические заряды) в ПЗС-приемнике очень
много, от нескольких тысяч до нескольких сотен тысяч и даже
нескольких миллионов. Размеры отдельных пикселов одинаковы и
могут быть от единиц до десятков микрон. Пиксели могут быть
выстроены в один ряд - тогда приемник называется ПЗС-линейкой,
или ровными рядами заполнять участок поверхности - тогда приемник
называют ПЗС-матрицей.
 Раcположение светоприемных элементов (прямоугольники синего
цвета) в ПЗС-линейке и ПЗС-матрице.

Во-вторых , в ПЗС-приёмнике, внешне похожем на обычную

микросхему, нет огромного числа электрических контактов для вывода
электрических сигналов, которые, казалось бы, должны идти от
каждого светоприемного элемента. Зато к ПЗС-приемнику
подключается электронная схема, которая позволяет извлекать с
каждого светочувствительного элемента электрический сигнал,
пропорциональный его засветке.

Действие ПЗС можно описать следующим образом: каждый

светочувствительный элемент - пиксель - работает как копилка для
электронов. Электроны возникают в пикселях под действием света,
пришедшего от источника. В течение заданного интервала времени
каждый пиксель постепенно заполняется электронами
пропорционально количеству попавшего в него света, как ведро,
выставленное на улицу во время дождя. По окончании этого времени
электрические заряды, накопленные каждым пикселем, по очереди
передаются на "выход" прибора и измеряются. Все это возможно за
счет определенной структуры кристалла, где размещаются
светочувствительные элементы, и электрической схемы управления.

Практически точно так же работает и ПЗС-матрица. После

экспонирования (засветки проецируемым изображением) электронная
схема управления прибором подаёт на него сложный набор
импульсных напряжений, которые начинают сдвигать столбцы с
накопленными в пикселях электронами к краю матрицы, где находится
аналогичный измерительный ПЗС-регистр, заряды в котором
сдвигаются уже в перпендикулярном направлении и попадают на
измерительный элемент, создавая в нем сигналы, пропорциональные
отдельным зарядам. Таким образом, для каждого последующего
момента времени мы можем получить значение накопленного заряда и
сообразить, какому пикселю на матрице (номер строки и номер
столбца) он соответствует.

Кратко о физике процесса.

Для начала отметим, что ПЗС относятся к изделиям так называемой

функциональной электроники, Их нельзя представить как
совокупность отдельных радиоэлементов - транзисторов,
сопротивлений и конденсаторов. В основе работы лежит принцип
зарядовой связи. Принцип зарядовой связи использует два известных
из электростатики положения:

1. одноимённые заряды отталкиваются,

2. заряды стремятся расположиться там, где их
потенциальная энергия минимальна. Т.е. грубо – «рыба ищет
там, где глубже».

Для начала представим себе МОП-конденсатор (МОП - сокращение

от слов металл-окисел- полупроводник). Это то, что остаётся от МОП-
транзистора, если убрать из него сток и исток, то есть просто
электрод, отделённый от кремния слоем диэлектрика. Для
определённости будем считать, что полупроводник - p-типа, т. е.
концентрация дырок в равновесных условиях много (на несколько
порядков) больше, чем электронов. В электрофизике «дыркой»
называют заряд, обратный заряду электрона, т.е. положительный
заряд.

Что будет, если на такой электрод (его называют затвором) подать

положительный потенциал? Электрическое поле, создаваемое
затвором, проникая в кремний сквозь диэлектрик, отталкивает
подвижные дырки; возникает обеднённая область - некоторый объём
кремния, свободный от основных носителей. При параметрах
полупроводниковых подложек, типичных для ПЗС, глубина этой
области составляет около 5 мкм. Напротив, электроны, возникшие
здесь под действием света, притянутся к затвору и будут
накапливаться на границе раздела окисел-кремний непосредственно
под затвором, т. е. сваливаются в потенциальную яму (рис. 1).
  
Рис. 1 
Образование потенциальной ямы при приложении напряжения к
затвору

При этом электроны по мере накопления в яме частично

нейтрализуют электрическое поле, создаваемое в полупроводнике
затвором, и в конце концов могут полностью его скомпенсировать, так
что всё электрическое поле будет падать только на диэлектрике, и всё
вернётся в исходное состояние - за тем исключением, что на границе
раздела образуется тонкий слой электронов.

Пусть теперь рядом с затвором расположен ещё один затвор, и на

него тоже подан положительный потенциал, причём больший, чем на
первый (рис. 2). Если только затворы расположены достаточно близко,
их потенциальные ямы объединяются, и электроны, находящиеся в
одной потенциальной яме, перемещаются в соседнюю, если она
«глубже».

 
Рис. 2 
Перекрытие потенциальных ям двух близко расположенных затворов.
Заряд перетекает в то место, где потенциальная яма глубже.

Теперь уже должно быть ясно, что если мы имеем цепочку затворов,
то можно, подавая на них соответствующие управляющие напряжения,
передавать локализованный зарядовый пакет вдоль такой структуры.
Замечательное свойство ПЗС - свойство самосканирования - состоит в
том, что для управления цепочкой затворов любой длины достаточно
всего трёх тактовых шин. (Термин шина в электронике - проводник
электрического тока, соединящиий однотипные элементы, тактовая
шина - проводники по которым передается смещенное по фазе
напряжение.) Действительно, для передачи зарядовых пакетов
необходимо и достаточно трёх электродов: одного передающего,
одного принимающего и одного изолирующего, разделяющего пары
принимающих и передающих друг от друга, причём одноимённые
электроды таких троек могут быть соединены друг с другом в единую
тактовую шину, требующую лишь одного внешнего вывода (рис. 3).

 
Рис. 3 
Простейший трёхфазный ПЗС-регистр. 
Заряд в каждой потенциальной яме разный.

Это и есть простейший трёхфазный регистр сдвига на ПЗС. Тактовые

диаграммы работы такого регистра показаны на рис. 4.

 
Рис. 4 
Тактовые диаграммы управления трёхфазным регистром -- это три
меандра, сдвинутые на 120 градусов. 
При смене потенциалов происходит передвижение зарядов.

Видно, что для его нормальной работы в каждый момент времени, по

крайней мере, на одной тактовой шине должен присутствовать
высокий потенциал, и, по крайней мере, на одной - низкий потенциал
(потенциал барьера). При повышении потенциала на одной шине и
понижении его на другой (предыдущей) происходит одновременная
передача всех зарядовых пакетов под соседние затворы, и за полный
цикл (один такт на каждой фазной шине) происходит передача (сдвиг)
зарядовых пакетов на один элемент регистра.

Для локализации зарядовых пакетов в поперечном направлении

формируются так называемые стоп-каналы - узкие полоски с
повышенной концентрацией основной легирующей примеси, идущие
вдоль канала переноса (рис. 5).

 
Рис. 5. 
Вид на регистр "сверху". 
Канал переноса в боковом направлении ограничивается стоп-
каналами.

Дело в том, что от концентрации легирующей примеси зависит, при

каком конкретно напряжении на затворе под ним образуется
обеднённая область (этот параметр есть не что иное, как пороговое
напряжение МОП-структуры). Из интуитивных соображений понятно,
что чем больше концентрация примеси, т. е. чем больше дырок в
полупроводнике, тем труднее их отогнать вглубь, т. е. тем выше
пороговое напряжение или же, при одном напряжении, тем ниже
потенциал в потенциальной яме.

Проблемы

Если при производстве цифровых приборов разброс параметров по

пластине может достигать нескольких крат без заметного влияния на
параметры получаемых приборов (поскольку работа идёт с
дискретными уровнями напряжения), то в ПЗС изменение, скажем,
концентрации легирующей примеси на 10% уже заметно на
изображении. Свои проблемы добавляет и размер кристалла, и
невозможность резервирования, как в БИС памяти, так что дефектные
участки приводят к негодности всего кристалла.

Итог

Разные пикселы ПЗС матрицы технологически имеют разную

чувствительность к свету и эту разницу необходимо корректировать.

В цифровых КМА эта коррекция называется системой Auto Gain

Control (AGC)

Как работает система AGC

Для простоты рассмотрения не будем брать что-то конкретное.

Предположим, что на выходе АЦП узла ПЗС есть некие потенциальные
уровни. Предположим, что 60 - средний уровень белого.
  

1. Для каждого пикселя линейки ПЗС считывается

значение при освещении его эталонным белым светом (а в
более серьезных аппаратах – и считывание «уровня черного»).
2. Значение сравнивается с опорным уровнем (например,
средним).
3. Разница между выходным значением и опорным
уровнем запоминается для каждого пиксела.
4. В дальнейшем, при сканировании эта разница
компенсируется для каждого пиксела.

Инициализация системы AGC производится каждый раз при

инициализации системы сканера. Наверное, вы замечали, что при
включении машины через какое-то время каретка сканера начинает
совершать поступательно-возвратные движения (елозить у ч/б
полоски). Это и есть процесс инициализации системы AGC. Система
так же учитывает и состояние лампы (старение).

Так же Вы наверняка обращали внимание, что малые МФУ,

снабженные цветным сканером, «зажигают лампу» тремя цветами по
очереди: красным, синим и зеленым. Затем только подсветка
оригинала зажигается белым. Это сделано для лучшей коррекции
чувствительности матрицы раздельно по каналам RGB.

Тест полутонов (SHADING TEST) позволяет инициировать эту

процедуру по желанию инженера и привести значения корректировки
к реальным условиям.
 Попробуем рассмотреть все это на реальной, «боевой» машине. За
основу возьмем широкоизвестный и популярный аппарат SAMSUNG
SCX-4521 (Xerox Pe 220).

Необходимо отметить, что в нашем случае CCD становится CIS

(Contact Image Sensor), но суть происходящего в корне от этого не
меняется. Просто в качестве источника света используются линейки
светодиодов.

Итак:

Сигнал изображения от CIS имеет уровень около 1,2 В и поступает

на АЦП-секцию (САЦП) контроллера аппарата (САЦП). После САЦП
аналоговый сигнал CIS будет преобразован в 8-битовый цифровой
сигнал.

Процессор обработки изображения в САЦП прежде всего использует

функцию коррекции тона, а затем функцию гамма-коррекции. После
этого данные подаются на различные модули в соответствии с
режимом работы. В режиме Text данные изображения поступают на
модуль LAT, в режиме Photo данные изображения поступают на модуль
"Error Diffusion", в режиме PC-Scan данные изображения поступают
прямо на персональный компьютер через доступ DMA.

Перед осуществлением тестирования положите на стекло

экспонирования несколько чистых листов белой бумаги. Само
собой разумеется, что оптика, ч/б полоса и вообще узел
сканера изнутри должны быть предварительно «вылизаны»

1. Выберите [Shading Test] в TECH MODE

2. Нажмите кнопку ENTER (Ввод) для сканирования
изображения.
3. После сканирования будет распечатан "CIS SHADING
PROFILE" (профиль полутонов CIS). Пример такого листа
приведен ниже. Не обязательно, что он должен быть копией
Вашего результата, но близок по изображению.
4. Если распечатанное изображение сильно отличается от
изображения, показанного на рисунке, значит CIS неисправен.
Обратите внимание – внизу листа отчета написано “Results:
OK”. Это означает, что система серьезных претензий к модулю
CIS не имеет. В противном случае будут даны результаты
ошибок.

Пример распечатки профиля: