Квазираоравновесна Неравновесная
-Распределением частиц по скоростям
-Максвелл- я и внутренним состояниям
больцмановское отличающимся в общем случае, от
распределение частиц по распределений Максвелла-
энергиям; Больцмана;
-Единая для всех частиц -Описывается несколькими
температурами для частиц разной
температурой. массы или для разных типов их
Квазиравновесные
плазмохимические процессы
Как правило, квазиравновесная плазма образуется при
давлениях, близких к атмосферному. Поскольку в
газоразрядной плазме энергия от внешнего источника
поступает к тяжелой компоненте через электроны, то полного
равновесия в такой системе быть не может, и для обеспечения
потока энергии в газ энергия (температура) электронов всегда
больше температуры тяжелых частиц (в отличие, например, от
плазмы, создаваемой в установках адиабатического сжатия).
Плазмохимические процессы, проводимые в таких условиях,
определяются как квазиравновесные процессы.
Неравновесные
плазмохимические процессы
Внутренние состояния частиц разделяют на вращательные,
колебательные, электронные, заселенности которых описываются
равновесными распределениями Больцмана с температурами Tr,
Tv, Te соответственно. Если распределения электронов по
скоростям является максвелловским с температурой Te, а
распределение атомов и молекул по скоростям (поступательная
степень свободы) тоже максвелловское с температурой Тg
(газовой), то в общем случае для неравновесной плазмы:
Tg ≠ Tr ≠ Tv ≠ Te
Обычно такая ситуация наблюдается в плазме при пониженных
давлениях (менее 100 Topр).
Специфические особенности
плазмохимических реакций
уравнение Аррениуса: