Национальный исследовательский технологический

университет «МИСиС»
Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков

Измерение температурных зависимостей

пьезоэлектрических коэффициентов
бидоменных кристаллов LiNbO3
Докладчик: Осипов П.П.
Группа: БМТМ-18-4
Научный руководитель:
к.ф.-м.н. Малинкович М.Д.
Консультант:
Кубасов И.В.

Москва 2021
 Ниобат лития и сферы его использования
Ниобат лития (LiNbO3, LN) - бесцветный пьезоэлектрический
кристалл относящийся к классу симметрии 3m.

Классическое применение

Неклассическое применение

2
 Мотивация
Перспективные применения ниобата лития
• LN имеет высокую ТКюри (до 1140°C)
• В доступной литературе приведены зависимости пьезомодулей LiNbO3 до 500°C

⇒  Актуальной темой является измерение пьезоэлектрических коэффициентов в широком диапазоне

температур (до 1000°C)

Было решено использовать бидоменные пластины ниобата лития, которые обладают следующими
преимуществами по сравнению с монокристаллами LiNbO3, а также свинецсодержащими сегнетоэлектриками:
 Наличие заряженной доменной стенки большой площади, высокие поля переключения доменов и внутреннее
экранирование
⇒ Эти условия делают бидоменные кристаллы метастабильными вплоть до температуры Кюри

 Отсутствие механоэлектрического гистерезиса и нелинейностей

⇒ Позволяет повысить коэффициент преобразования электрического поля в механическое перемещение для
создания высокоточных сенсоров и актюаторов

3
 Цель работы
Получить температурные зависимости
пьезоэлектрических коэффициентов (T)
ниобата лития

Задачи
 Дать теоретическое обоснование
метода измерений температурных
зависимостей пьезоэлектрических
коэффициентов LN

 Разработать и создать
экспериментальную установку

 Определить пьезоэлектрические
коэффициенты методом лазерной
Температурные зависимости
интерферометрии вплоть до пьезоэлектрических коэффициентов
температуры 1000°С ниобата лития [1]
4
[1]: Chen, F., Kong, L., Song, W., Jiang, C., Tian, S., Yu, F., … Zhao, X. (2018). The electromechanical features of LiNbO3 crystal for potential high temperature piezoelectric applications. Journal of Materiomics.
 Теоретическое обоснование эксперимента
𝑑 ′ 𝑖𝑗𝑘 =𝑎𝑖𝑙 𝑎 𝑗𝑚 𝑎𝑘𝑛 𝑑𝑙𝑚𝑛

( ) ( )( )( )
0 0 0 0 𝑑15 − 2 𝑑 22 𝑘1 𝑘2 𝑘 3 𝑘4 𝑑15 𝑑 ′ 23 (Y + 128 срез)
− 𝑑 22 𝑑 22 0 𝑑 15 0 0 𝑘5 𝑘6 𝑘 7 𝑘8 𝑑22 𝑑 ′ 23 (Y + 163 срез)
× =
𝑑31 𝑑 31 𝑑33 0 0 0 ( 4) 𝑘9 𝑘 10 𝑘 11 𝑘12 𝑑31 𝑑 ′ 23
(Y + 41 срез)
Матрица пьезомодулей LN 𝑘13 𝑘 14 𝑘 15 𝑘16 𝑑33 𝑑 ′ 23
(Y + 36 срез)
Система из 4-х уравнений в матричном виде (Сингулярность)

()
2
3 𝑙

{
𝛿= 𝑑′ 𝑖𝑗 𝑈 ¿ 𝑘1 𝑑22 +𝑘2 𝑑 31+𝑘3 ( 𝑑 33 − 𝑑 15 )=𝑑 ′ 23 (Y + 128 срез)
2 𝑡
Уравнение для биморфа, с помощью которого ¿ 𝑘 4 𝑑 22+𝑘5 𝑑 31+ 𝑘6 ( 𝑑 33 − 𝑑15 ) =𝑑 ′ 23 (Y + 163 срез)
экспериментально определяются поперечные ¿ 𝑘7 𝑑22 +𝑘8 𝑑 31+𝑘 9 ( 𝑑 33 − 𝑑15 ) =𝑑 ′ 23 (Y + 41 срез)
пьезомодули
по поворотной по продольному
деформации пьезоэффекту

3 𝑙
𝜓= 𝑑𝑖𝑗 𝑈 2
2 𝑡

5
 Разработка и создание экспериментальной установки

ра
Заготовка Экспериментальный стенд с печкой
нагревательного элемента без креплений для образцов
ет
ом
ер
рф
те
ин
ч
Лу

Условия эксперимента:

 При и мощность установки

составляет , что позволяет
нагреть печь до 600°C за 1 час
и поддерживать температуру
длительное время
Определение экстремальных
3D модель малогабаритной печи, скоростей нагрева и
чертеж создан на базе Compas-3D охлаждения 6
 Изготовление бидоменных кристаллов

Метод длительного отжига с аутдиффузией

лития

Протравленные косые шлифы

бидоменной структуры LN

Коммерчески доступные срезы LN:

• Y + 128°
• Y + 163°
• Y + 41°
• Y + 36° Примеры пластин,
• Y + 64° изготавливаемых
• Z (Y + 90°) в лаборатории
7
 Измерение температурных зависимостей пьезокоэффициентов
LN с помощью интерферометра

Интерферометр
1

Лазерный луч Отверстие в

футеровке печи
2

Иллюстрация обратного
Экспериментальный стенд с интерферометром SIOS SP 5000 пьезоэффекта, используемого
в данной работе
8
 Заключение

 Предложен метод измерений пьезоэлектрических коэффициентов LN

по деформации бидоменных кристаллов

 Изготовлена малогабаритная печь, способная нагревать кристаллы до

600°C

 Выбраны кристаллографические срезы для формирования

бидоменной структуры в LN для измерения перемещений в широком
диапазоне температур

 Следующий этап работ: исследование температурных зависимостей

пьезомодулей ниобата лития c помощью лазерной интерферометрии в
широком интервале температур с целью дальнейшей научной
публикации

9
 Национальный исследовательский технологический
университет «МИСиС»
Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков

Спасибо за внимание!
Докладчик: Осипов П.П.
Группа: БМТМ-18-4
Научный руководитель:
к.ф.-м.н. Малинкович М.Д.
Консультант:
Кубасов И.В.

Москва 2021