1

Азербайджанский государственный университет нефти и

промышленности
Факультет
«ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И УПРАВЛЕНИЕ»
Кафедра
«ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»

ОТЧЕТ О НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ
ПРАКТИКЕ

Магистрант Султанов О.И.

Руководитель практики д.т.ф.н., доцент Муталлимова А.С.

Научный руководитель к.т.н., доцент Рамазанов К.Щ.

УТВЕРЖДЕНО НА ЗАСЕДАНИИ УТВЕРЖДЕНО НА УЧЕНОМ

КАФЕДРЫ СОВЕТЕ ФАКУЛЬТЕТА
ИНФОРМАЦИОННЫХ
ТЕХНОЛОГИЙ
И УПРАВЛЕНИЯ

Пр. № «___» _________2024 год Пр. № «___» _________2024 год

ЗАВЕДУЮЩИЙ КАФЕДРЫ_____ ДЕКАН ФАКУЛЬТЕТА ______

 2

Азербайджанский государственный университет нефти и

промышленности

«Подтверждено»
_________________________
_________________________
Заведующий кафедры, д.т.н., профессор

Бекирова Л.Р. ______________

«____»________________2024

ИНДИВИДУАЛЬНЫЙ ПЛАН
исследовательских практик, включенных в учебный план 2-го года обучения
магистерской программы

Магистрант: Султанов Омар Иса Оглы

Факультет: Информационные Технологии и Управление
Кафедра: Приборостроение
Код и название специализации: 060648.1.– Биотехнические и
медицинские аппараты и системы

Тема исследовательской практики:

Применение доплеровского аппарата

для обследования биобъектов

Научный
руководитель: к.т.н., доцент Рамазанов К.Щ.
(ф.и.о.) (подпись) (дата)

Магистрант: Султанов О.И

(ф.и.о.) (подпись) (дата)
 3

ГЛАВА 1. ОБЗОР И СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ

ДОППЛЕРОГРАФИИ И ЭЛАСТОГРАФИИ

1.1. Основы ультразвуковой допплеровской технологии

Ультразвуковая доплеровская визуализация, также известная как

сонография - это неинвазивный метод диагностики, использующий
высокочастотные звуковые волны для получения изображений структур
внутри организма. Эта технология играет важную роль в различных областях
медицины, позволяя проводить внутренние исследования без необходимости
облучения, что делает её особенно ценной в таких областях как акушерство,
кардиология, исследования опорно-двигательного аппарата и т. д.
Основой такого вида исследования является ультразвуковая волна.
Ультразвуковые волны - это звуковые волны, частота которых превышает
верхний предел человеческого слуха, который обычно составляет около 20
кГц. В медицине обычно используются частоты от 1 МГц до 20 МГц,
поскольку они обеспечивают оптимальный баланс между глубиной
проникновения и разрешением получаемого изображения [1]. Для
распространения ультразвука, как для механической волны, необходима
среда. Фундаментальными принципами, определяющими поведение
ультразвуковых волн в среде, являются эффекты отражения, преломления,
поглощения и рассеяния.
Принцип отражения имеет большое значение при ультразвуковой
визуализации, поскольку отраженные волны улавливаются датчиком и
используются для построения изображения внутренних структур тела.
Величина отражения зависит от разницы в акустическом сопротивлении
между двумя средами, которое определяется плотностью и скоростью звука в
среде.
 4

Преломление - это изменение направления ультразвуковых волн при

переходе из одной среды в другую с другой скоростью звука. Этот принцип
может привести к искажению ультразвуковых изображений, если он не
учитывается должным образом, так как может изменить видимое положение
структур внутри тела.
Поглощение относится к преобразованию энергии ультразвуковых волн
в тепло при прохождении через среду. На поглощение существенно влияет
частота ультразвуковых волн, причем более высокие частоты поглощаются
быстрее.
Рассеяние происходит, когда ультразвуковые волны сталкиваются с
неровностями или мелкими частицами в среде, в результате чего волны
расходятся в разные стороны. При ультразвуковой визуализации рассеяние
дает информацию о текстуре и составе тканей, но оно также может ухудшить
качество изображения, снизив четкость отраженных сигналов.
На взаимодействие ультразвуковых волн с биологическими тканями
влияет эффект Доплера, который описывает изменение частоты волн при их
отражении от движущихся объектов, таких как клетки крови. Именно этот
эффект используется в допплеровском ультразвуке для измерения скорости
кровотока.
Эффект Доплера описывает изменение частоты или длины волны по
отношению к наблюдателю, который движется относительно источника
волны. По своей сути эффект Доплера основан на относительном движении
между источником волн и наблюдателем. Когда источник и наблюдатель
движутся ближе друг к другу, наблюдаемая частота волны увеличивается; и
наоборот, когда они удаляются друг от друга, наблюдаемая частота
уменьшается. Это изменение происходит потому, что движение изменяет
эффективную длину волн, достигающих наблюдателя. Для источника,
приближающегося к наблюдателю, волны сжимаются, что приводит к
повышению частоты или "синему сдвигу" в спектре света. Для источника,
 5

удаляющегося от наблюдателя, волны растягиваются, что приводит к

снижению частоты или "красному смещению" [2].

Рисунок 1. Эффект Доплера

В контексте ультразвуковой визуализации эффект Доплера используется

для измерения скорости и направления кровотока в артериях и венах. Когда
ультразвуковые волны, испускаемые датчиком, сталкиваются с
движущимися эритроцитами, частота отраженных волн изменяется
пропорционально скорости движения клеток крови. Этот сдвиг частоты,
обнаруживаемый ультразвуковым аппаратом, затем обрабатывается для
создания визуальных и звуковых представлений о кровотоке. Именно этот
метод, известен как допплеровское ультразвуковое исследование [3].
Основные принципы ультразвуковой доплеровской визуализации
включают в себя генерацию, прием и интерпретацию ультразвуковых волн
при их взаимодействии с различными тканями и структурами внутри
организма.
В основе ультразвуковой технологии лежит пьезоэлектрический эффект,
который заключается в способности некоторых материалов генерировать
электрический заряд в ответ на приложенное механическое напряжение. В
контексте ультразвуковой визуализации пьезоэлектрические кристаллы в
 6

ультразвуковом датчике (трансдьюсере) возбуждаются электрическим током,

заставляя их вибрировать и излучать звуковые волны на ультразвуковых
частотах, как правило, в диапазоне от 2 до 18 МГц. Эти высокочастотные
звуковые волны, которые превышают порог слышимости человека, проходят
через тело и на своем пути сталкиваются с различными тканями и органами.

Рисунок 2. Структура пьезоэлектрического датчика

Распространяясь по телу, ультразвуковые волны взаимодействуют с

различными тканями несколькими способами - отражением, преломлением и
поглощением. Наиболее значимым из этих взаимодействий для целей
визуализации является отражение, по-другому называемое эхом, которое
имеет место в момент, когда звуковые волны отражаются от границы между
двумя различными типами тканей, например, от границы между
структурами, заполненными жидкостью, и мягкими тканями. Количество
отраженного эхо зависит от акустического импеданса тканей - меры
сопротивления распространению звуковой волны. При пересечении тканей с
разным акустическим сопротивлением возникают более сильные эхо-
сигналы, которые имеют решающее значение для создания изображения.
Возвращающиеся эхо-сигналы улавливаются тем же датчиком, который
также и выступает в роли приемника.
 7

Рисунок 3. Принцип работы доплероскопии: fr- Отраженная волна,

Ft - Сгенерированная волна, θ - угол между волной и течением
кровотока, v – скорость кровотока

Пьезоэлектрические кристаллы преобразуют механическую энергию

эхосигналов в электрические сигналы, которые затем обрабатываются
ультразвуковым аппаратом для получения изображения. Этот процесс
сопровождается расчетом алгоритмов, которые рассчитывают время
возвращения эхо-сигналов и интенсивность полученных эхо-сигналов, что
позволяет аппарату построить на мониторе двухмерное полутоновое
изображение, называемое сонограммой. Яркость каждой точки на
изображении соответствует интенсивности эхосигнала: более яркие области
представляют более сильные эхосигналы (более твердые или плотные ткани),
а более темные - более слабые эхосигналы (более мягкие ткани или
жидкости).
 8

Рисунок 4. Области сонографических изображений: красные стрелки –

нет эхосигналов, синие стрелки – почечная ткань.

Ультразвуковая визуализация может проводиться в различных режимах,

каждый из которых предоставляет различные типы информации. Наиболее
распространенным режимом является B-режим (режим яркости), который
позволяет получить двухмерное изображение поперечного сечения
сканируемой области. М-режим (режим движения) фиксирует движение
тканей или органов, что полезно при кардиологических исследованиях для
наблюдения за движением сердца. Допплеровский ультразвук, еще один
важный режим, измеряет изменение частоты возвращающихся звуковых
волн, вызванное движением, например, крови, текущей по артериям и венам,
что позволяет оценить кровоток и работу сердца.

1.2. Ограничения доплеровской визуализации при анализе

биологических тканей

Несмотря свое на широкое применение в медицине, допплеровская

визуализация имеет ряд ограничений. Эти ограничения носят не только
технический характер, но также создают препятствия при проведении
клинических исследований, т.к влияют на точность и надежность
диагностических результатов. В частности, такие ограничения могут
привести к трудностям в диагностике заболеваний, расположенных в
глубоких тканях или же заслоненных другими биологическими структурами.
Кроме того, эти ограничения могут повлиять на возможность мониторинга
прогрессирования заболеваний или реакции на лечение при состояниях,
расположенных в глубоких тканях.
Одной из существенных проблем, присущих допплеровской
визуализации, является сложность различения кровотока и окружающих
тканей с аналогичной эхогенностью. Эта проблема может усложнить
 9

интерпретацию допплеровских изображений и потенциально повлиять на

точность диагноза.
Под эхогенностью понимается свойство тканей отражать
ультразвуковые волны, что имеет решающее значение для создания
контраста на ультразвуковых изображениях. Ткани с высокой эхогенностью
выглядят на экране УЗИ ярче, а с низкой - темнее.

Рисунок 5. Разные уровни эхогенности

Кровь, обычно гипоэхогенная или с низкой эхогенностью,

контрастирует с более высокой эхогенностью окружающих тканей, что
облегчает ее визуализацию при обычной ультразвуковой визуализации.
Однако перекрытие эхогенных свойств кровотока и прилегающих тканей,
особенно при патологических состояниях или в областях со сложной
анатомией, может значительно ухудшить четкость и интерпретируемость
допплеровских изображений.
Несколько факторов способствуют тому, что при допплеровской
визуализации трудно отличить кровоток от тканей с подобной эхогенностью:
1. Во-первых, наличие медленно движущегося или турбулентного
кровотока может создавать сигналы, имитирующие сигналы окружающих
тканей, что может привести к их неправильной интерпретации. Кроме того,
патологические состояния, такие как воспаление или фиброз, могут изменять
 10

эхогенность тканей, делая их более похожими на кровь [4]. Это сходство

может смешивать границы между кровеносными сосудами и окружающими
тканями, усложняя оценку сосудистых структур и выявление нарушений
кровотока.
2. Во-вторых, другим фактором, способствующим трудности
визуализации, являются технические ограничения оборудования для
допплерографии. Разрешающая способность системы визуализации, которая
зависима от частоты датчика и глубины визуализации, может влиять на
способность различать близко расположенные или одинаково эхогенные
структуры. Более высокочастотные датчики, обеспечивающие лучшее
разрешение, имеют меньшую глубину проникновения, что ограничивает их
эффективность при визуализации более глубоких тканей. И наоборот, более
низкочастотные датчики, которые проникают глубже, могут не обеспечивать
разрешение, необходимое для точного различения кровотока и прилегающих
тканей.
3. В-третьих, пространственное разрешение при допплеровской
визуализации является фактором, который напрямую влияет на способность
метода различать типы тканей и точно определять характер кровотока.
Эффективность метода доплероскопии исчерпывается ограничениями
пространственного разрешения, что может существенно повлиять на
дифференциацию тканей и, следовательно, на клинические результаты.
Под пространственным разрешением в визуализации понимается
способность системы визуализации различать два объекта, расположенных
близко друг к другу. В контексте допплеровского ультразвука это относится
к способности системы различать соседние области кровотока и окружающие
ткани. Высокое пространственное разрешение имеет решающее значение для
точного определения границ кровеносных сосудов, оценки кровотока в
мелких сосудах и различения просвета сосуда и стенки сосуда или
близлежащих патологических образований.
 11

Ограничения пространственного разрешения при допплеровской

визуализации зависят от нескольких факторов, включая длину
ультразвуковых волн, характеристики датчика и используемый метод
визуализации. Ультразвуковые волны с более высокой частотой
обеспечивают лучшее пространственное разрешение за счет меньшей длины
волны. Однако волны с более высокой частотой также имеют меньшую
глубину проникновения, что ограничивает их применение для визуализации
более глубоких структур. Совмещение пространственного разрешения и
глубины проникновения является фундаментальным ограничением в
ультразвуковой визуализации, требующим тщательной оптимизации в
зависимости от клинических условий.
Конструкция преобразователя также играет ключевую роль в
определении пространственного разрешения. Разрешение апертуры датчика,
плотность элементов внутри датчика и возможности фокусировки - все это
также влияет на разрешение. Передовые технологии датчиков и методы
адаптивной фокусировки могут улучшить разрешение, но не всегда
применимы или доступны во всех клинических условиях.
Кроме того, сам метод допплерографии создает проблемы для
определения пространственного разрешения. Допплеровская визуализация в
основном используется для измерения скорости движения клеток крови, что
требует обнаружения частотных сдвигов в отраженных ультразвуковых
волнах. Этот процесс по своей природе подвержен шуму и артефактам,
которые могут затушевывать мелкие детали и мешать точному различению
тканевых структур. Угол инсонации, или угол, под которым ультразвуковые
волны падают на движущиеся клетки крови, должен тщательно
регулироваться, чтобы оптимизировать обнаружение частотных сдвигов.
Неправильный угол наклона может привести к неточным измерениям
скорости кровотока и затруднить различение различных типов тканей.
На практике эти ограничения пространственного разрешения могут
влиять на клиническую пользу допплеровской визуализации несколькими
 12

способами. Один из распространенных клинических сценариев, в котором

возникает эта проблема, - эхокардиография при оценке клапанных пороков
сердца [6]. Постоянное движение сердца может создавать вибрации тканей,
имитирующие патологические регургитационные струи или аномальные
потоки, что может привести к неправильной оценке степени тяжести
клапанов. Аналогичным образом, при обследовании сонных артерий
вибрация окружающих тканей под воздействием пульсирующего потока
может быть неверно истолкована как внутрипросветные нарушения потока,
что приводит к неточному диагнозу стеноза.
Еще одна область, подверженная этому явлению, - оценка сосудистого
русла печени [7]. Паренхима печени может создавать вибрации из-за
присущей органу подвижности и пульсации печеночных и портальных вен.
Эти колебания тканей могут мешать четкой визуализации и точному
измерению кровотока, что усложняет оценку таких состояний, как
портальная гипертензия или цирроз печени.
Как было сказано выше, проблема различения кровотока и вибраций
тканей при допплеровской визуализации создает диагностические трудности.
В ультразвуковых технологиях был внедрен ряд усовершенствований,
призванных уменьшить эти ограничения. К ним относятся высокочастотные
датчики, трехмерная визуализация и сложные алгоритмы обработки сигнала,
направленные на повышение пространственного разрешения и четкости
изображения [8]. Кроме того, были изучены дополнительные методы
визуализации, такие как ультразвук с контрастным усилением (CEUS), и
интеграция с другими методами визуализации для обеспечения более
комплексного подхода [9].
Несмотря на попытки внедрения данных методов, по-прежнему
сохраняются проблемы, связанные с эффективным различением кровотока и
сходных эхогенных тканей. Например, гармоническая визуализация и CEUS
зависят от наличия контрастных веществ или особых условий для
оптимальной работы, которые могут быть не везде применимы или
 13

доступны. Аналогичным образом, интеграция допплерографии с МРТ или

КТ, хотя и выгодна, но требует доступа к передовым средствам визуализации
и может повысить сложность и стоимость диагностических процедур.
В данной работе предлагается интеграция допплеровской визуализации
с методом эластографии, т.к данный метод оценивая механические свойства
тканей путем измерения их жесткости или упругости, предоставляет
дополнительную информацию к данным о кровотоке, полученным с
помощью допплеровской визуализации. Такой синергетический подход
позволяет более тонко дифференцировать сосудистые структуры и
окружающие ткани, повышая точность диагностики.

1.3. Определение методов и принципов эластографии

Эластография - это метод медицинской визуализации, который

отображает эластические свойства и жесткость мягких тканей, тем самым
обеспечивая неинвазивную методику оценки тканевых отклонений.
Эластография расширяет возможности традиционных методов визуализации,
таких как ультразвук и магнитно-резонансная томография (МРТ), и в
потенциале может быть использована как вспомогательный инструмент при
интеграции.
Основополагающий принцип эластографии основан на наблюдении, что
механические свойства тканей, такие как эластичность или жесткость,
изменяются по мере развития и прогрессирования заболевания. Здоровые и
больные ткани часто демонстрируют разные упругие свойства из-за
изменений в их структурном составе. Эластография измеряет эти различия,
создавая изображения или карты (эластограммы), которые визуально
отображают жесткость тканей.
 14

Рисунок 6. Принципиальная схема эластографии

Метод включает в себя приложение механической силы (вручную или с

помощью самого устройства визуализации) для деформации ткани, а затем
использования метода визуализации для наблюдения за реакцией ткани на
эту деформацию.
Измерение эластичности тканей - это основа эластографии,
базированная на физических понятиях напряжения, деформации и модуля
упругости:
1. Напряжение определяется как сила, приложенная к материалу на
единицу площади. То, как ткань реагирует на напряжение, свидетельствует о
ее внутренней структуре и составе, которые могут быть изменены при
различных патологических состояниях.

F
σ = , (1)
A

где F - приложенная сила (Н), A - площадь поперечного сечения, на

которую действует эта сила (м²). Напряжение измеряется в паскалях (Па) или
 15

ньютонах на квадратный метр (Н/м²) и является важнейшим параметром,

определяющим силу воздействия на ткань [8].
2. Деформация - это деформация или смещение материала в ответ на
приложенное напряжение. Деформация в биологических тканях при
эластографии проявляется в виде поля смещения, которое можно измерить с
помощью методов визуализации. Связь между приложенным напряжением и
полученной деформацией дает ценное представление о механических
свойствах ткани. Деформация часто выражается в процентах или в
соотношении, показывая степень деформации по сравнению с исходными
размерами материала [9].
3. Модуль упругости, также известный как модуль Юнга, - это
фундаментальное свойство, количественно определяющее упругость или
жесткость материала. В медицинской эластографии измерение модуля
упругости тканей помогает отличить здоровые ткани от патологических,
поскольку больные ткани часто демонстрируют измененную жесткость.
Модуль Юнга (E) связан с модулем сдвига (G) через коэффициент
Пуассона (ν), который является мерой поперечной деформации к продольной
деформации:
E=2G(1+ν), (2)

Коэффициент Пуассона для большинства биологических тканей

колеблется в пределах от 0,45 до 0,5, что указывает на их почти
несжимаемый характер [10]. Модуль упругости измеряется в паскалях (Па),
что указывает на уровень силы, вызывающей определенную степень
деформации.
В динамической эластографии, в частности в методе сдвиговой волны,
жёсткость ткани оценивается по скорости распространения сдвиговых волн
Vs Скорость этих волн напрямую связана с модулем упругости ткани:

2E=ρ*(Vs )2, (3)

 16

Где, ρ - плотность ткани, а Vs - скорость сдвиговой волны в ткани.

Плотность ткани (ρ) обычно считается константой для большинства мягких
тканей и принимается равной приблизительно 1000 кг/м³.
Данные принципы имеют решающее значение для понимания того, как
структуры деформируются под действием силы и возвращаются к своей
первоначальной форме после ее снятия - это свойство важно для оценки
механических характеристик биологических тканей в медицинской
диагностике.
Методы эластографии различаются по способу приложения напряжения
и измерения деформации, но физика, лежащая в их основе, остается
неизменной, так, они все основанны на методе измерения упругости:
статическая эластография, динамическая эластография (включая
эластографию сдвиговой волны) и визуализация импульса силы
акустического излучения (ARFI).
В рамках данной диссертации будет рассмотрен и в дальнейшем
использоваться метод динамической эластографии как наиболее подходящий
для интеграции с доплерографией для осуществления поставленных целей.
Динамическая эластография предполагает генерацию сдвиговых волн в
ткани, скорость которых напрямую связана с жесткостью ткани.
Эластография сдвиговой волны (SWE) и переходная эластография являются
подтипами динамической эластографии. Среди данных подтипов
эластография сдвиговой волны (SWE) наиболее лучше подходит для
интеграции с допплеровской визуализацией. Эта синергия позволяет
использовать сильные стороны обоих методов для улучшения оценки
состояния тканей и динамики сосудов.
Эластография сдвиговой волны - форма эластографии, которая
использует акустическое излучение для создания сдвиговых волн в тканях.
Скорость распространения этих волн напрямую зависит от жесткости ткани:
 17

более жесткие ткани пропускают сдвиговые волны быстрее, чем более

мягкие.

Рисунок 6. SWE эластография

SWE особенно подходит для интеграции благодаря своей способности

обеспечивать количественные измерения жесткости тканей в режиме
реального времени без необходимости внешнего сжатия. Совместимость с
существующими ультразвуковыми платформами делает ее идеальным
вариантом для сочетания с допплеровской визуализацией. Такая комбинация
в перспективе позволит использовать сильные стороны обеих методик для
комплексной оценки состояния тканей и сосудов неинвазивным способом.
 18

ГЛАВА 3

В основе доплеровской ультразвуковой технологии лежит принцип

пьезоэлектричества, т.е. когда определенные кристаллы, называемые
пьезокристаллами, генерируют электрические заряды в ответ на поступаемое
механическое давление. В ультразвуковых датчиках эти кристаллы
преобразуют электрическую энергию в высокочастотные звуковые волны и
наоборот, тем самым они являются элементами излучения и приема
ультразвуковых сигналов [1].
Помимо их пьезоэлектрических свойств, важность этих структур
заключается в их физических свойствах. Они обладают механической
стабильностью и их температурные характеристики являются параметрами,
которые определяют работу доплеровских ультразвуковых датчиков в разных
клинических условиях [2].
Целью сравнительного исследования в данной статье является
рассмотрение пьезокристаллических структур доплеровских ультразвуковых
датчиков. Во-первых, такое исследование направлено на систематическую
оценку и сравнение эксплуатационных характеристик различных
пьезокристаллических материалов. Это позволяет получить полное
представление о том, какой вклад вносит каждый материал в общую
эффективность и надежность доплеровских ультразвуковых технологий. Во-
вторых, сравнительное исследование направлено на выявление
специфических достоинств и ограничений различных пьезокристаллических
структур. Это необходимо для адаптации конструкции датчиков к различным
клиническим требованиям, что соответствует задаче повышения точности и
диагностических возможностей допплеровских ультразвуковых систем.
Кроме того, полученные в ходе таких исследований данные могут быть
использованы для разработки новых структур или усовершенствования уже
имеющихся, что может позволить устранить пробелы, существующие в
ультразвуковых датчиках.
 19

Типы и характеристики пьезоэлектрических кристаллов, применяемых в

допплеровской ультразвуковой диагностике. В основе датчиков PZT
(цирконат-титанат свинца) лежат кристаллы PZT, известные своими
пьезоэлектрическими свойствами. Конструктивно пьезоэлектрический
датчик состоит из тонкой пластины или диска, изготовленного из материала
PZT. Кристаллическая структура PZT представляет собой перовскит,
характеризующийся особым расположением атомов свинца, циркония и
титана. Подробная схема представлена на рисунке 1 [3].

Рис. 1. Схема транзисторного датчика на основе PZT

Для усиления пьезоэлектрических свойств кристалл PZT часто

поляризуют в процессе производства. Для этого кристалл подвергают
воздействию электрического поля, выравнивая дипольные моменты и тем
самым оптимизируя его способность генерировать электрический заряд в
ответ на механическую деформацию. Такая поляризация способствует
повышению чувствительности и эффективности преобразования
механических сигналов в электрические.
На практике в датчике кристалл PZT крепится к материалу подложки, а
к его поверхности прикрепляются электроды. Эти электроды служат для
накопления электрического заряда, возникающего в результате
пьезоэлектрического эффекта [3]. При воздействии ультразвуковых волн на
кристалл PZT происходит его механическая деформация, в результате чего
генерируется электрический сигнал, который затем регистрируется
электродами.
 20

Кристаллы PMN-PT относятся к семейству перовскитов, обладающих

более высокой чувствительностью по сравнению с традиционными
пьезоэлектрическими материалами. Характерная структура сенсоров на
основе PMN-PT представляет собой соединение атомов свинца, магния,
ниобия и титана, расположенных в решетке перовскита. Процесс
изготовления данного кристалла представлен на рисунке 2 [4].

Рис. 2. Процесс изготовления PMN-PT кристалла

Важным этапом в создании датчика является нанесение электродов на

поверхность кристалла PMN-PT. Эти электроды необходимы для сбора
генерируемого электрического заряда, а их конструкция подбираются для
обеспечения оптимальной проводимости.
Структура пьезоэлектрического датчика на основе монокристаллов в
данной статье рассматривается пример на основе ниобата лития (LiNbO3).
Монокристаллы образованы монокристаллической структурой что
обеспечивает высокий уровень однородности и стабильности по сравнению с
поликристаллическими материалами. В пьезоэлектрическом датчике ниобата
лития структура кристаллической решетки состоит из атомов лития, ниобия и
кислорода, расположенных равномерно и упорядоченно [5]. Их процесс
изготовления представлен на рисунке 3.
 21

Рис. 3. Процесс изготовления монокристалла ниобата лития

Монокристаллическая природа ниобата лития обусловливает его

механическую стабильность и делает его менее восприимчивым к
структурным неоднородностям. Одними из особенностей
монокристаллических пьезоэлектрических датчиков на основе ниобата лития,
являются более высокие коэффициенты электромеханической связи. Этот
параметр, характеризующий эффективность передачи энергии между
механической и электрической формами, значительно выше в
монокристаллических структурах, что в случае датчиков обеспечивает более
эффективное преобразование механического напряжения в электрический
заряд, что повышает их чувствительность.
Сравнение характеристик пьезоэлектрических структур. Сравнительный
анализ физических свойств различных пьезоэлектрических кристаллов
необходим для понимания их отличительных особенностей и определения
пригодности для конкретных задач. Сравнение в данном подпункте будет
проводится по трем определяющим физическим параметрам:
пьезоэлектрическим коэффициентам, механическим свойствам и
температурной стабильности.
Пьезоэлектрические коэффициенты. PZT обладая высокими
пьезоэлектрическими коэффициентами, демонстрирует эффективное
преобразование механического напряжения в электрический заряд. Числовые
 22

данные обычно находятся в диапазоне от 150 до 500 пк/Н, что полезно в

случаях, требующих высокой чувствительности [6].
Кристаллы PMN-PT часто превосходят PZT по пьезоэлектрическим
коэффициентам, их значения составляют от 500 до 2000 пК/Н и даже выше.
Монокристалл ниобата лития имеет пьезоэлектрические коэффициенты
в диапазоне от 10 до 100 пк/Н. Хотя этот показатель несколько ниже, чем у
PZT и PMN-PT, его преимуществом является стабильность и постоянство
свойств.
Механические свойства. Кристаллы PZT известны своей высокой
механической стабильностью, способной выдерживать различные уровни
механических напряжений. Модуль Юнга PZT обычно находится в диапазоне
от 60 до 90 ГПа, что свидетельствует о его устойчивости к деформациям.
Кристаллы PMN-PT сохраняют хорошую механическую стабильность,
но их свойства могут изменяться. Модуль Юнга для ПМН-ПТ составляет от
40 до 80 ГПа.
Монокристаллы по своей структуре обладают отличной механической
стабильностью. Модуль Юнга ниобата лития обычно составляет около 150
ГПа [4].
Температурная стабильность. Кристаллы PZT обладают хорошей
температурной стабильностью. Температура Кюри, при которой PZT теряет
свои пьезоэлектрические свойства составляет около 300°C, что обеспечивает
их надежную работу в широком диапазоне.
Кристаллы PMN-PT могут по-разному проявлять свойства, т.к сильнее
зависят от диапазона температур. Структура PMN-PT имеет температуру
Кюри в диапазоне от 100 до 200°C.
Ниобат лития, обладает превосходной температурной стабильностью
(температура Кюри превышает 1200°C), что делает их пригодными для
применения в экстремальных температурных условиях.
Все результирующие данные для более удобного анализа характеристик
приведены в таблице 1.
 23

Таблица 1
Физические характеристики пьезоэлектрических структур

Свойства PZT PMN- Монокристаллы

PT (Ниобат лития)
Пьезоэлектрически 150 - 500 500 - 10 - 100 пк/Н
е коэффициенты пк/Н 2000 пк/Н
Механические 60 - 90 40 - 80 ~150 ГПа
свойства (модуль Юнга) ГПа ГПа
Температурная ~300°C 100 - >1200°C
стабильность 200°C
(температура Кюри)

На рисунке 4 для удобства анализа представлены визуализированные

данные в виде гистограмм.

a)

б)
 24

в)
Рис. 4. Визуализация распределения физических параметров для каждой
структуры пьезокристалла: а- пьезоэлектрический коэффициент, б –
механические параметры, в – температурная стабильность.

Сравнение шумовых характеристик. SNR (отношения сигнал/шум (SNR)

- это мера, определяющая качество сигнала, генерируемого датчиком, по
отношению к фоновому шуму. Это позволяет судить о чувствительности
датчика и его способности различать слабые сигналы.
Датчики на основе PZT, как правило, обладают высоким значением
SNR, варьирующимся от 30 до 50 дБ. Высокая чувствительность и широкая
частотная характеристика способствуют эффективному обнаружению
сигнала, что делает их пригодными для применения в тех случаях, когда
необходимо различать низкоамплитудные сигналы.
Датчики PMN-PT часто превосходят по SNR датчики PZT в некоторых
случаях. Значения SNR для PMN-PT могут составлять от 40 до 60 дБ и выше
[7].
Ниобат лития демонстрирует SNR, часто превышающий значения 50 дБ.
Все данные для более удобного анализа приведены в таблице 2.
Таблица 2
Сравнительная таблица шумовых характеристик
Тип датчика Диапазон SNR
PZT 30 - 50 дБ
 25

PMN-PT 40 - 60 дБ или выше

Монокристаллы (Ниобат лития) >50 дБ

Из анализа таблицы видно, что датчики на основе PZT обеспечивают

более высокую надежность в работе, в то время как датчики на основе PMN-
PT и монокристаллов обладают повышенным SNR, что позволяет
использовать их в тех случаях, где важно точное обнаружение сигнала среди
шума шума. На рисунке 5 представлены результирующие данные о шумовых
характеристиках каждого из типа пьезокристталов.

Рис. 5. Гистограмма визуализации шумовых характеристик для

пьезокристаллов

Анализ частотных характеристик для каждой пьезокристаллической

структуры.
PZT-датчики известны своей универсальной частотной
характеристикой. Как правило, частотная характеристика датчиков PZT
лежит в диапазоне от нескольких герц до нескольких мегагерц. Конкретный
диапазон может варьироваться в зависимости от состава материала PZT,
конструкции датчика и его назначения. Например, PZT-датчик,
используемый в ультразвуковой визуализации, может иметь частотную
характеристику в диапазоне от 1 МГц до 10 МГц.
 26

Датчики на основе PMN-PT отличаются высокой частотной

характеристикой. Их частотная характеристика может достигать нескольких
мегагерц, что превосходит возможности PZT-датчиков. Диапазон может
варьироваться в зависимости от состава кристалла PMN-PT. Датчик на
основе PMN-PT, предназначенный для ультразвуковой медицинской
визуализации, может иметь частотную характеристику в диапазоне от 2 МГц
до 20 МГц [8].
Частотная характеристика датчиков на основе ниобата лития может
достигать десятков мегагерц. В практическом применении в ультразвуковой
диагностике датчик на основе ниобата лития имеет частотную
характеристику от 10 МГц до 50 МГц [8].
Результирующие данные приведены в таблице 3.

Таблица 3
Данные о частотных характеристиках каждого из пьезоэлектрических
структур
Тип датчика Диапазон частотных
характеристик
PZT От нескольких герц до
нескольких мегагерц
PMN-PT До нескольких мегагерц
Монокристаллы (Ниобат Десятки мегагерц и выше
лития)

В таблице приведено краткое сравнение диапазонов частотных

характеристик каждого типа пьезоэлектрических датчиков. PZT-датчики
обладают более широким диапазоном, в то время как PMN-PT и
монокристалл превосходят его в улавливании высокочастотных сигналов. На
рисунке 6 представлена гистограмма распределения частотных
характеристик пьезоэлектрических структур.
 27

Рис. 6. Частотные характеристики пьезокристаллов

Сравнение чувствительности и разрешения. Под чувствительностью

понимается способность датчика обнаруживать изменения или
низкоамплитудные сигналы, а под разрешением - способность различать
близко расположенные сигналы.
PZT-датчики, как правило, обладают высокой чувствительностью и
способны улавливать мельчайшие механические изменения.
Чувствительность PZT-датчиков может составлять от 10 до 100 мВ/мкм, что
говорит об их способности улавливать мелкие детали во входном сигнале.
Что касается разрешения, то PZT-датчиков оно обычно составляет порядка
микрометров.
Датчики PMN-PT часто превосходят PZT по чувствительности, их
значения составляют от 50 до 500 мВ/мкм и выше [9]. Разрешающая
способность у таких датчиков достигает разрешения в субмикрометровом
диапазоне.
Монокристаллы демонстрируют чувствительность, превышающую
значения 500 мВ/мкм. Их повышенной чувствительности способствует
постоянная и однородная структура монокристаллов. Разрешающая
способность у монокристаллов равно разрешению нанометрового масштаба,
что помимо применения в ультразвуковой диагностике обеспечивает
 28

точность в атомно-силовой микроскопии и формировании наноразмерных

изображений [9].
В таблице 4 приведено подробное сравнение чувствительности и
разрешения для пьезокристаллов PZT, PMN-PT и монокристаллов.

Таблица 4
Параметры чувствительности и разрешения пьезокристаллов
Тип датчика Диапазон Диапазон
чувствительности разрешения (мкм
(мВ/мкм) или нм)
PZT 10 - 100 Микрометры
PMN-PT 50 - 500 или Субмикрометры
выше
Монокристаллы (Ниобат >500 Нанометры
лития)

Из таблицы видно, что датчики на основе PZT обладают высокой

чувствительностью и разрешением, однако датчики на основе PMN-PT и
монокристалл отличаются более высокими характеристиками, что делает
удобными для задач, требующих высокой точности. На рисунке 7
представлены гистограммы распределения параметров разрешения и
чувствительности.
 29

Рис. 7. Распределение параметров чувствительности и разрешения для

пьезоэлектрических структур

Обсуждение применения и пригодности. Области применения, в

которых каждая пьезокристаллическая структура является наиболее
эффективной. Каждая пьезокристаллическая структура - цирконат-титанат
свинца (PZT), ниобат-свинец-магний-титанат свинца (PMN-PT), а также
монокристаллы типа ниобата лития - благодаря своим свойствам находят
применение в различных областях. Однако в рамках данных статьи будет
рассматриваться применение датчиков в рамках доплеровской визуализации.
При выборе наиболее подходящей пьезокристаллической структуры
необходимо учитывать несколько ключевых моментов.
- Требования к чувствительности и разрешению:
Для приложений, требующих высокой чувствительности и разрешения,
таких как медицинская визуализация или наноразмерная микроскопия,
предпочтительным выбором могут быть монокристаллы ниобаты лития. Эти
кристаллы обладают исключительной чувствительностью и могут достигать
разрешения нанометрового масштаба, обеспечивая непревзойденную
точность при съемке и анализе мелких деталей.
- Частотный диапазон:
При ультразвуковой доплеровской визуализации, а также некоторых
видах промышленного контроля более подходящими могут оказаться
 30

пьезоэлектрические структуры с повышенными пьезоэлектрическими

коэффициентами PMN-PT [10]. Однако для этих целей могут также
использоваться PZT структуры, так как они обладают широкой частотной
характеристикой, что делает их универсальным выбором в широком
диапазоне применений.
- Долговечность и механическая стабильность:
В тех случаях, когда долговечность и механическая стабильность имеют
первое значение, более надежным является выбор кристаллов PZT. Они
гораздо более устойчивы к механическим нагрузкам, что позволяет также
использовать их в промышленных приложениях, где датчики подвергаются
различным уровням механической деформации [10].
- Температурная чувствительность:
В некоторых областях применения, особенно в экстремальных
температурных условиях, может потребоваться тщательный учет
температурной чувствительности материала. PZT, известный своей хорошей
температурной стабильностью, может надежно работать в широком
диапазоне температур. С другой стороны, PMN-PT, обладая высокой
чувствительностью, может проявлять свойства, зависящие от температуры.
- Универсальность и стоимость:
PZT, благодаря своим универсальным эксплуатационным
характеристикам, остается экономически выгодным и потому широко
используемым в различных областях применения.
Общие проблемы, связанные с каждой пьезокристаллической
структурой. Каждая пьезокристаллическая структура не лишена недостатков,
понимание которых необходимо для снижения возможных проблем в
оптимизации работы пьезоэлектрических устройств.
1. PZT (цирконат-титанат свинца): Ограничения по температуре Кюри:
PZT имеет характерную температуру Кюри, за пределами которой он теряет
свои пьезоэлектрические свойства. Это ограничение может создавать
 31

проблемы в приложениях с повышенными температурами, так как материал

может подвергнуться деполяризации.
Гистерезисные эффекты: PZT-материалы могут проявлять гистерезис,
что означает запаздывание или задержку в их реакции на изменение
электрического поля. Это явление может повлиять на точность и
достоверность измерений [11].
2. PMN-PT (ниобат свинца-магния-титанат свинца): Хрупкость:
Кристаллы PMN-PT, несмотря на высокую чувствительность, являются более
хрупкими по сравнению с PZT. Хрупкость может ограничить их применение
в областях, где датчик испытывает механические нагрузки или
потенциальные повреждения.
Температурно-зависимые свойства: На свойства PMN-PT могут влиять
изменения температуры, в том числе фазовые переходы [11]. При
использовании необходимо тщательно учитывать температурные колебания
для обеспечения стабильной работы.
3. Монокристаллы (ниобат лития): Свойства монокристаллов могут
меняться в зависимости от направления атомов в кристаллической решетке.
Соответственно при проектировании устройств необходимо учитывать
анизотропию.
Стоимость: производство монокристаллов зачастую обходится дороже,
чем производство поликристаллических материалов, таких как PZT. Более
высокая стоимость может быть ограничивающим фактором в тех областях,
где бюджет ограничен.
4. Общие проблемы для всех пьезоэлектрических структур: Эффект
старения: Все пьезокристаллические структуры с течением времени могут
испытывать эффекты старения, приводящие к изменению их свойств.
Снижение этого эффекта важно для поддержания долговременной работы
устройства. Деполяризация, т.е. потеря поляризации материала с течением
времени, является проблемой для всех пьезоэлектрических структур. Для
 32

минимизации деполяризационных эффектов необходимо подбирать

правильные методы кондиционирования [12].
Чувствительность к воздействию окружающей среды:
Пьезокристаллические материалы чувствительны к таким факторам
окружающей среды, как влажность и химическое воздействие. Для защиты от
условий окружающей среды необходимы защитные покрытия или
инкапсуляция.