Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
Курсовая работа
по дисциплине «Физика пленочных наноструктур»
Руководитель:
Старший преподаватель
кафедры ФЭ
________ ________О. Н. Минин
оценка
«___» __________ 2019г.
Томск 2019
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего образования
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (ТУСУР)
Утверждаю
Д-р техн. наук,
профессор кафедры ФЭ
________ П. Е. Троян
«___» _________ 2018 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовую работу по дисциплине
Физика пленочных наноструктур
1. Тема работы:
Резистивные пленки титана
2. Исходные данные к проекту:
2.1 Пленки титана получены термическим испарением.
3. Перечень вопросов, подлежащих разработке:
3.1 Механизм образования и роста пленок при термическом испарении.
3.2 Механизм проводимости резистивных пленок.
3.3 Зависимость удельного сопротивления от толщины пленки
4. Перечень графического материала:
4.1 Схема установки при термическом испарении.
4.2 График зависимости 𝜌=𝑓(𝑑).
4.3 График зависимости α=f(d)
ВВЕДЕНИЕ .............................................................................................................. 5
Заключение ............................................................................................................ 24
0,65
0,6
𝜌, мкОм∙м
0,55
0,5
0,45
0,4
0 100 d, нм 200 300
5,1
α∙10-5, 1/K
4,7
4,3
3,9
3,5
0 100 200 300
d, нм