RU 2 405 226 C1

РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) (11) (13)

(51) МПК
H01J 49/10 (2006.01)
H01T 23/00 (2006.01)

ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ

(21), (22) Заявка: 2009147216/28, 15.12.2009 (72) Автор(ы):
Власов Михаил Юрьевич (RU),
(24) Дата начала отсчета срока действия патента: Платанчев Александр Николаевич (RU)
15.12.2009
(73) Патентообладатель(и):
(45) Опубликовано: 27.11.2010 Бюл. № 33 Общество с ограниченной

R U
(56) Список документов, цитированных в отчете о ответственностью "ВИНТЕЛ" (RU)
поиске: US 7157721 B1, 02.01.2007. JP 2007305498 A,
22.11.2007. JP 1048364 A, 22.02.1989. RU
2006104211 A, 20.09.2007.

2 4 0 5 2 2 6
Адрес для переписки:
190000, Санкт-Петербург, ВОХ 1234,
ЛЮМЭКС, А.А. Строганову (для И.С.
Бочаровой)

(54) ИСТОЧНИК ИОНИЗАЦИИ НА ОСНОВЕ БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДА

(57) Реферат: результат - управление составом и количеством
Изобретение относится к области газового генерируемых ионов, позволяющее повысить
C 1

анализа и предназначено для применения в чувствительность обнаружения следовых

C 1
качестве ионизатора в спектрометрах ионной количеств веществ в газовой фазе. 3 з.п. ф-лы, 3
подвижности, масс-спектрометрах и других ил.
аналитических приборах. Источник ионизации
2 4 0 5 2 2 6

на основе барьерного заряда состоит из

ионизационной камеры, включающей
индуцирующий электрод, прикрепленный к
поверхности диэлектрической пластины и
коронирующий электрод, расположенный
напротив индуцирующего электрода, а также
источника импульсов высокого напряжения,
причем коронирующий электрод отделен от
поверхности диэлектрической пластины
газовым промежутком 10-100 мкм, а к
ионизационной камере подключена система
R U

подачи очищенного газа, выполненная с

возможностью регулирования объемной
скорости газового потока. Технический

Ñòð.: 1

ru
 RU 2 405 226 C1
RUSSIAN FEDERATION (19) (11) (13)

(51) Int. Cl.

H01J 49/10 (2006.01)
H01T 23/00 (2006.01)

FEDERAL SERVICE
FOR INTELLECTUAL PROPERTY,
PATENTS AND TRADEMARKS

(12) ABSTRACT OF INVENTION

(21), (22) Application: 2009147216/28, 15.12.2009 (72) Inventor(s):
Vlasov Mikhail Jur'evich (RU),
(24) Effective date for property rights: Platanchev Aleksandr Nikolaevich (RU)
15.12.2009
(73) Proprietor(s):
(45) Date of publication: 27.11.2010 Bull. 33 Obshchestvo s ogranichennoj otvetstvennost'ju

R U
Mail address: "VINTEL" (RU)
190000, Sankt-Peterburg, VOKh 1234,
LJuMEhKS, A.A. Stroganovu (dlja I.S.
Bocharovoj)

2 4 0 5 2 2 6
(54) BARRIER DISCHARGE-BASED IONISATION SOURCE
(57) Abstract:
FIELD: electrical engineering.
SUBSTANCE: proposed ionisation source
consists of ionisation chamber comprising inducing
electrode secured to dielectric plate surface and
corona-forming electrode arranged opposite said
inducing electrode, and high-voltage pulse source.
C 1

Note here that corona-forming electrode is separated

C 1
fro dielectric plate surface by 10-100 mcm-gas gap.
Note also that purified gas feed system is connected
to ionisation chamber to control rate of gas volume
2 4 0 5 2 2 6

flow.
EFFECT: control over composition and amount of
generated ions, higher sensitivity of detecting trace
amount of substances in gas phase.
4 cl, 3 dwg
R U

Ñòð.: 2

en
 RU 2 405 226 C1

Изобретение относится к области газового анализа и может быть использовано для

генерации положительно и отрицательно заряженных ионов из очищенного воздуха
или других газов. Изобретение предназначено для применения в качестве ионизатора
в спектрометрах ионной подвижности, масс-спектрометрах и других аналитических
5
приборах.
Одним из применений источников ионизации является детектор спектрометра
ионной подвижности. В большинстве спектрометров ионной подвижности и, особенно
портативных, применяют радиоактивные источники ионизации, на основе
10 радиоактивных веществ ,таких как тритий и никель 63, являющихся источниками бета-
излучения. В результате ионизации, под воздействием бета-излучения, при
атмосферном давлении в области ионизации образуются положительно и
отрицательно заряженные ионы. Эти ионы впоследствии взаимодействуют с
молекулами веществ, подлежащих обнаружению, с образованием ионных кластеров,
15
которые разделяются в электрическом поле и регистрируются измерительной системой.
Преимуществами радиоактивных источников ионизации являются их простота,
стабильность и отсутствие электрических помех. Кроме того, эти источники не
потребляют дополнительной энергии. Тем не менее существуют нормативные
20 препятствия, затрудняющие применение приборов с такими источниками ионизации,
которые связаны с требованиями безопасности эксплуатации радиоактивных
источников ионизации и проблемами их утилизации.
Альтернативой радиоактивному источнику ионизации для применения в
спектрометрах ионной подвижности может быть источник ионизации на коронном
25
разряде. Преимуществом ионизатора на коронном разряде является возможность
получения более высоких концентраций ион-реагента, чем в случае применения
радиоактивного источника ионизации. Это приводит к снижению пределов
обнаружения токсических веществ и расширяет концентрационный динамический
30 диапазон. Кроме того, ионизаторы на коронном разряде имеют более низкую
стоимость. При генерации положительных ионов состав образуемых в радиоактивном
ионизаторе и ионизаторе на коронном разряде ионов практически идентичен. При
генерации отрицательных ионов источник ионизации на коронном разряде имеет
существенный недостаток - это сложный и не оптимальный состав, в котором
35
преобладают малоактивные ионы оксидов азота, оксидов углерода и озона при
незначительном содержании высокоактивных ионов кислорода. [M.Tabrizchi,
T.Khayamian, N.Taj, Rev. Sci. Instr. 71 (2000) 2321].
При этом ряд факторов существенно влияет на ионный состав, и, как следствие, на
40 пределы обнаружения токсических веществ. Такими факторами являются постоянный
или переменный характер напряжения, приложенного к ионизатору на коронном
разряде, величина напряжения, потенциал смещения. Также имеет значение
конструкция ионизатора. Кроме того, влияние на ионный состав может оказывать
направление и скорость газовых потоков в ионизационной камере [Andrew J Bell and
45 Stuart K Ross, Reverse Flow Continuous Corona Discharge lonisation, IJIMS 5(2002) 95-99].
При оптимальных значениях постоянного напряжения и значительных величинах
скорости газовых потоков доля высокоактивных ионов кислорода может достигать
одной трети от доли малоактивных ионов.
50
В качестве прототипа рассматривается патент США №7,157,721 от 02.02.2007, в
котором предложен источник ионизации для генерации отрицательных ионов,
состоящий из диэлектрической пластины, к которой с противоположенных сторон
прикреплены электроды, отличающиеся по размеру. Далее в описании изобретения

Ñòð.: 3

DE
 RU 2 405 226 C1

больший электрод назван индуцирующим, меньший - коронирующим. Для генерации

ионов к электродам подводится высоковольтное радиочастотное напряжение. Форма
и периметр коронирующего электрода 1 определяет количество генерируемых ионов.
Когда источник ионизации находится в замкнутом объеме, в основном образуются
5
ионы оксидов азота, а в открытом объеме образуются преимущественно ионы
оксидов углерода и в незначительном количестве ионы кислорода и озона. При
применении такого источника ионизации в детекторе ионной подвижности может
быть проведено детектирование гексогена и нитроглицерина. Однако при применении
10 данного источника ионизации не могут быть обнаружены следовые количества
многих классов химических веществ, вступающих во взаимодействие только с ионами
кислорода.
Задачей предлагаемого изобретения является возможность управления составом и
количеством генерируемых ионов для расширения списка обнаруживаемых веществ.
15
Для решения поставленной задачи предложен источник ионизации на основе
барьерного разряда, состоящий из ионизационной камеры, включающей
индуцирующий электрод, прикрепленный к поверхности диэлектрической пластины и
коронирующий электрод, расположенный напротив индуцирующего электрода, а
20 также источника импульсов высокого напряжения, причем коронирующий электрод
отделен от поверхности диэлектрической пластины газовым промежутком 10-100 мкм,
а к ионизационной камере подключена система подачи очищенного газа,
выполненная с возможностью регулирования объемной скорости газового потока.
Сущность изобретения заключается в том, что предложенная совокупность
25
признаков позволяет генерировать как положительные, так и отрицательные ионы,
причем состав и количество отрицательных ионов может управляться в зависимости
от напряжения и объемной скорости газового потока в ионизационной камере. С
помощью предлагаемого источника ионизации на основе барьерного заряда
30 появляется возможность обнаружения химических веществ, например, в детекторе
спектрометра ионной подвижности, ранее затрудненных или невозможных к
обнаружению при помощи существующих источников на основе коронного разряда.
На фигуре 1 изображена схема источника ионизации на основе барьерного разряда.
На фигуре 2 изображена схема установки для регистрации спектров ионной
35
подвижности.
На фигуре 3 изображена спектрограмма смеси метилсалицилата
Схема источника ионизации, изображенного на фигуре 1, включает ионизационную
камеру 1, впускной патрубок 2 и выпускной патрубок 3, присоединенные к
40 ионизационной камере 1. Диэлектрическая пластина 4, изготовленная из оксида
алюминия или двух, или трехкомпонентных оксидных материалов с диэлектрической
проницаемостью не ниже 20 и шлифованной поверхностью шероховатостью Rz
величиной не менее 2-5 мкм, вмонтирована в ионизационную камеру 1.
Индуцирующий электрод 5 прикреплен к поверхности диэлектрической пластины 4.
45 Коронирующий электрод 6 расположен на расстоянии 10-100 мкм от диэлектрической
пластины 4. Источник высоковольтного напряжения 7 подключен к индуцирующему
электроду 5 и коронирующему электроду 6. Вытягивающий электрод 8 вмонтирован в
ионизационную камеру, а система подачи очищенного газа (воздуха) 9 подключена к
50
впускному патрубку 2. Коронирующий электрод 6 может быть выполнен в виде диска
толщиной 0,1-0,2 мм и, предпочтительно, изготовлен из никеля или золота. Рабочая
зона диска расположена напротив индуцирующего электрода и представляет собой
группу профилированных отверстий с заостренной рабочей кромкой. В другом

Ñòð.: 4
 RU 2 405 226 C1

исполнении коронирующий электрод может быть выполнен в виде кольца с

закрепленными в рабочей зоне одной или несколькими металлическими проволоками
диаметром 0,015-0,024 мм. Материал проволок - предпочтительно золото, никель.
Возможно применение проволок из других металлов, таких как W, Pt, Nb, Та.
5
Для улучшения условий ионизации поверхность диэлектрической пластины со
стороны коронирующего электрода должна обладать определенной
шероховатостью Rz величиной не менее 2-5 мкм.
Для генерации ионов на источник ионизации на основе импульсного объемного
10 барьерного заряда подается высоковольтное напряжение величиной 1-2 кВ при
наличии подставки напряжением до 1 кВ.
В другом варианте на ионизатор подается высоковольтное напряжение
радиочастоты величиной 1-2 кВ при наличии подставки до 1 кВ.
Ионный состав отрицательных ионов может изменяться от от O2-, CO2·O2- и
15
(H2O)nO2 до NOx-, CO3- и O3- в зависимости от величины высоковольтного
напряжения и объемной скорости очищенного воздуха, поступающего в
ионизационную камеру.
Состав положительных ионов остается практически постоянным.
20 Количество генерируемых ионов может управляться за счет величины
высоковольтного напряжения и конструкции коронирующего электрода.
При применении источники ионизации на основе объемного барьерного разряда в
ион-дрейфовом спектрометре для генерации положительно и отрицательно
заряженных ионов в ионизационной камере при атмосферном давлении в среде
25
очищенного воздуха или других газов коронирующий электрод 6 так же является
выталкивающим электродом.
Источник высоковольтного напряжения 7 производит управляемые импульсы
высокого напряжения величиной 0,5-2 кВ с частотой 10-50 Гц, при наличии подставки
30 высоковольтного напряжения величиной до 1 кВ, в другом варианте высоковольтный
источник производит высоковольтное напряжение радиочастоты величиной 0,5-2 кВ
при наличии подставки высоковольтного напряжения величиной до 1 кВ.
При приложении высоковольтного напряжения между индуцирующим
электродом 5 и коронирующим электродом 6 возникает коронный разряд, который
35
ионизирует молекулы воздуха. На поверхности диэлектрической пластины 4 с
определенной шероховатостью Rz, не менее 2-5 мкм, за счет возникновения
локальных неоднородностей электрического поля, условия ионизации улучшаются. Во
время ионизации идет процесс диссоциации молекул кислорода, что в дальнейшем
40 приводит к образованию озона и окислов азота, следствием чего происходит
образование малоактивных ионов. Для предотвращения этого негативного процесса
область ионизации обдувается чистым сухим газом (воздухом), который создается
системой подачи очищенного газа 9 и подается через входной патрубок 2. Молекулы
озона и окислы азота удаляются из ионизационной камеры через выпускной
45
патрубок 3.
На фигуре 2 приведена схема установки, на которой регистрировались спектры
ионной подвижности. Источник ионизации на основе барьерного разряда 10
присоединен к детектору спектрометра ионной подвижности 11, ток, создаваемый
50 ионами, образующимися в детекторе, преобразуется усилителем 12 и отображается
устройством регистрации 13. Для определения доли высокоактивных ионов кислорода
в детектор спектрометра ионной подвижности вводился метилсалицилат. На фигуре 3
приведен вид спектра метилсалицилата. Молекулы метилсалицилата образуют

Ñòð.: 5
 RU 2 405 226 C1

кластеры только с ионами кислорода и не взаимодействуют с малоактивными ионами.

Подвижность ионов кислорода составляет 2,16 см 2В ‐1с ‐1 и на спектре ионной
подвижности ионам кислорода соответствует пик 14 (6,4 мс). Подвижность кластера
5 молекулы метилсалицилата с ионом кислорода 1,56 см 2В ‐1с ‐1, что соответствует на
спектре пику 15 (9,8 мс). [Andrew J Bell and Stuart К Ross, Reverse Flow Continuous Corona
Discharge lonisation, IJIMS 5(2002) 95-99]. По соотношению пиков видно, что в
ионизированном воздухе преобладают ионы кислорода.

10 Формула изобретения
1. Источник ионизации на основе барьерного разряда, состоящий из ионизационной
камеры, включающей индуцирующий электрод, прикрепленный к поверхности
диэлектрической пластины, и коронирующий электрод, расположенный напротив
15
индуцирующего электрода, а также источника импульсов высокого напряжения,
отличающийся тем, что коронирующий электрод отделен от поверхности
диэлектрической пластины газовым промежутком 10-100 мкм, а к ионизационной
камере подключена система подачи очищенного газа с возможностью регулирования
объемной скорости газового потока.
20 2. Источник по п.1, отличающийся тем, что диэлектрическая пластина изготовлена
из оксида алюминия и/или двух или трехкомпонентных оксидных керамических
материалов с диэлектрической проницаемостью не ниже 20.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что поверхность диэлектрической пластины
25
со стороны коронирующего электрода обладает шероховатостью Rz величиной не
менее 2-5 мкм.
4. Источник по п.1, отличающийся тем, что коронирующий электрод выполнен в
виде кольца с закрепленными в рабочей зоне как минимум одной металлической
проволокой диаметром 0,015-0,025 мм.
30

35

40

45

50

Ñòð.: 6

CL
 RU 2 405 226 C1

Ñòð.: 7

DR