Metody Poluchenija Nanostrukturirovannyh Pokrytij V Mashinostroenii

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования

«Владимирский государственный университет
имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетова»
(ВлГУ)
Кафедра Технологии машиностроения
Методы получения наноструктурированных

покрытий в машиностроении
Презентация курса лекций
Составитель:
Доцент Жданов А.В.
Владимир, 2014
Виды покрытий и их классификация
2
1. Общая характеристика покрытий и способов их
нанесения
В зависимости от требований, предъявляемых к эксплуатационным
характеристикам деталей, различают три вида покрытий:
• защитные покрытия, назначением которых является защита от
коррозии деталей в различных агрессивных средах, в том числе при высоких
температурах;
• защитно-декоративные покрытия, служащие для декоративной
отделки деталей с одновременной защитой их от коррозии;
• специальные покрытия, применяемые с целью придания поверхности
специальных свойств (износостойкости, твердости, электроизоляционных,
магнитных свойств и др.), а также восстановления изношенных деталей.
Для оценки сопротивления покрытия коррозии обычно применяют
испытания, при которых коррозионная нагрузка на деталь близка к
условиям ее эксплуатации. Эффективность сопротивления коррозии
определяется по растворению покрытия и взвешиванию
3
1. Общая характеристика покрытий и способов их нанесения
Классификация процессов нанесения металлических покрытий
4
Горячее погружение в расплав – один из самых старых методов

нанесения покрытий. Металлы ванны имеют низкую температуру
плавления – это цинк, олово, алюминий. Они обеспечивают защиту
основного металла от коррозии.
5
Напыление осуществляется мелкими частицами материала,
образующимися при пропускании проволоки или порошка через
кислородно-ацетиленовое пламя, с последующим осаждением на
холодную основу. Для нагрева можно использовать электродуговую или
плазменную металлизацию. Это способствует улучшению адгезии и
снижению пористости покрытия.
6
Наплавка осуществляется сплавлением осаждаемого материала с

поверхностным слоем основы. Наплавка широко применяется для
ремонта отдельных деталей, поврежденных или износившихся в
процессе эксплуатации. Для нанесения покрытий методом наплавки
могут использоваться все основные сварочные процессы:
газопламенный, электродуговой, плазменный, электроннолучевой и др.
Плазменно-порошковая наплавка
7 Лазерная наплавка
Электрохимическое осаждение металлов из растворов солей
обычно применяется для получения гальванических покрытий из хрома и
никеля толщиной 0,12 – 0,60 мм.
8
Физическое осаждение из паровой фазы (physical vapour
deposition, PVD) протекает в несколько стадий:
1) нагрев материала в вакууме до испарения;
2) перенос паров от источника к подложке;
3) конденсация паров на основе – подложке.
Метод PVD обладает высокой гибкостью, и с его помощью можно
наносить любые металлы, сплавы, оксиды, карбиды и нитриды.
Например, его с успехом применяют для нанесения износостойкой
пленки TiN на стальной инструмент. Достоинством метода PVD
является высокая чистота поверхности и превосходная связь с
основой.
9
Химико-паровое осаждение, или процесс CVD (chemical vapour
deposition), является процессом, при котором устойчивые продукты
реакции зарождаются и растут на подложке в среде с протекающими в
ней химическими реакциями (диссоциация, восстановление и др.).
Благодаря высокой температуре на поверхности образуются очень
тонкие слои, например, карбида или нитрида титана. CVD-процесс
используется для нанесения покрытий на инструмент и штампы.
10
Электролитическое нанесение покрытий из сплавов Ni – P и Ni – B

осуществляется вследствие химического взаимодействия. В этом случае
покрытия формируются по всей поверхности деталей с одинаковой
скоростью толщиной до 0,12 мм, тогда как гальванические покрытия
прежде всего формируются на выступающих местах – кромках, ребрах,
гранях
11
Ионная имплантация предусматривает ионизацию атомов с

последующим ускорением ионов в электрическом поле в вакууме. Ионы
тормозятся при соударении с мишенью и распределяются по глубине
мишени. Хотя глубина проникновения ионов обычно не превышает 0,1 – 0,2
мкм, свойства металла могут меняться существенно
12
Механическое нанесение покрытий используют для получения

цинковых, кадмиевых и оловокадмиевых покрытий. Детали перемешивают
в сосудах с соответствующими тонкими металлическими порошками,
активаторами и стеклянными шариками.
13
2. Металлические покрытия
2.1.Цинковые покрытия
Среди методов, улучшающих антикоррозионные свойства, цинкование
занимает первое место. Ежегодно в мире оцинковывается около 25 млн. т стали.
Основными методами для нанесения цинковых покрытий на сталь являются
электролитический и погружение в расплав (огневое или горячее цинкование).
Хотя в качестве материала основы можно использовать любые марки, для
цинкования обычно применяют углеродистые и низколегированные стали.
Цинковые покрытия характеризуются коррозионной стойкостью в
атмосферных условиях, в пресной воде и в закрытых помещениях с умеренной
влажностью.
Цинковые покрытия имеют удовлетворительную поверхностную
твердость, износо- и водостойкость, прочность на изгиб. Долговечность
оцинкованных труб зависит от толщины покрытия. Для серийно выпускаемых
труб на 1 м2 расходуется 400 г цинка, толщина покрытия составляет 43 – 46
мкм. Отечественная промышленность выпускает оцинкованные
водогазопроводные трубы диаметром 10 – 159 мм, длиной до 8 м.
14
15
Скорость коррозии оцинкованных труб в 3 – 4 раза ниже,

чем у сталь-ных труб без покрытия в одних и тех же
агрессивных средах. Для повышения коррозионной стойкости
оцинкованных листов в состав цинкового покрытия вводят
медь (0,08 – 0,82%) и алюминий (до 1 %). Коррозионная
стойкость листов с электролитическим покрытием ниже, чем
горячеоцинкованных. Для повышения коррозионной
стойкости оцинкованного листа его дополнительно
покрывают лакокрасочным или цветным полимерным
покрытием.
Цинковые покрытия применяют для защиты от
коррозии запорной арматуры и подземных трубопроводов
сточной воды и воды, используемой для технических целей.
Соединения цинка токсичны и при нагреве неустойчивы
в кислотах. Цинковые покрытия не применяют для защиты
от коррозии деталей, находящихся в непосредственном
контакте с пищевыми продуктами.
16
2.2. Алюминиевые покрытия
Для стальных деталей с алюминиевым покрытием характерно

сочетание высокой прочности и коррозионной стойкости. Нанесение
покрытий производят путем горячего алюминирования в расплавах
(алитирование), плакированием стальных листов и напылением в вакууме.
Среди способов покрытия стальных листов алюминием наибольшее
распространение имеет горячее алюминирование.
Коррозионная стойкость стальных деталей с алюминиевым покрытием
обусловлена высокими защитными свойствами образующейся на
поверхности пленки Аl2О3 толщиной менее 0,1 мкм. Этот оксидный слой
отличается высокой плотностью и при повреждении быстро образуется
заново. Защитное действие пленки оксида алюминия на алюминиевом
покрытии особенно сильно выражено при высокотемпературном нагреве.
Алюминиевые покрытия устойчивы в водных растворах агрессивных
пищевых сред и органических кислот. Нетоксичность, инертность ко
многим средам, хорошие грунтовочные свойства для последующего
нанесения полимерных и стеклоэмалевых покрытий обуславливают
достаточно широкое применение алюминиевых покрытий в разных
отраслях машиностроения.
17
2.3.Оловянные и хромсодержащие
покрытия
Покрытие оловом производят методами погружения в расплав и

электролитическим осаждением. При погружении стальных и чугунных изделий
в расплав на поверхности образуется тонкий слой соединения FeSn2, над
которым после вытягивания из расплава затвердевает более толстый слой
олова. Более широко используют метод электролитического лужения. Листовой
прокат, полученный этим методом, толщиной менее 0,5 мм, называют белой
жестью. Толщина оловянных покрытий составляет 30 – 35 мкм.
В качестве заменителя белой жести применяется холоднокатаный
тончайший лист, который покрыт электролитически нанесенным покрытием
оксида хрома. Оловянные покрытия широко применяются в различных отраслях
техники, прежде всего в пищевой и мясомолочной промышленности, особенно
для защиты от коррозии различных стальных емкостей типа баков, цистерн,
фляг. Оловом защищают не только стальные, но и медные емкости.
Электролитически хромированную жесть используют вместо белой жести
при изготовлении упаковочной тары для консервов (овощных, молочных,
мясных, рыбных), а также фруктовых соков, пива, безалкогольных напитков,
при производстве крышек для стеклотары и колпачков для бутылок, тары для
упаковки сухих пищевых продуктов
18
2.4.Покрытия плакированием
При плакировании происходит послойное соединение стали с одним или

многими металлами с образованием многослойного материала. Плакирование
осуществляется разными методами. Используют процессы горячей и холодной
прокатки, метод двухслойного литья заготовок, плакирование взрывом и
наплавку плакирующего слоя.
19
2.4.Покрытия плакированием
В качестве материала для плакирования низколегированных сталей

применяют коррозионностойкие ферритные или аустенитные стали, медь и
никель или их сплавы, а также алюминий, титан, ниобий или молибден. При
плакировании коррозионностойкой сталью предварительно создают
гальваническое никелевое покрытие. Этим устраняется окисление горячей
стали перед прокаткой и одновременно интенсифицируются процессы
диффузионного сваривания, необходимые для сцепления материалов.
Биметаллы являются не только заменителями однородных дорогостоящих
материалов. Во многих случаях благодаря сочетанию свойств своих
компонентов они имеют более благоприятные показатели, чем однородные
дорогостоящие материалы сами по себе.
Плакированные изделия отличаются более высокой прочностью. При
использовании в качестве основного материала сталей с высоким пределом
текучести может быть снижена масса изделия и получена дополнительная
экономия металла по сравнению с требуемым количеством при изготовлении
тех же изделий целиком из нержавеющих сталей
20
2.5.Осаждение в вакууме
или из газовой фазы
Ранее отмечалось, что в основе технологии напыления металлических

сплавов в вакууме лежит принцип испарения за счет нагрева и понижения
давления и конденсация на материале основы с получением заданного слоя.
Высокий вакуум благоприятствует процессу испарения. Для эффективного
протекания процесса конденсации изделие, на которое наносится покрытие,
должно интенсивно охлаждаться.
При осаждении металлов из газовой фазы на стальную поверхность
используют свойство некоторых металлов легко образовывать летучие
галогениды, которые вступают в реакцию с железом на стальной
поверхности. При этом металл покрытия становится свободным и может
диффундировать в глубь стальной детали. Наряду с алюминием, для
осаждения из газовой фазы используется также хром и кремний.
Высокое содержание хрома на поверхности (до 25 %) придает
материалу отличную стойкость против окисления и коррозии.
21
3.Неорганические покрытия и способы
их нанесения
К неорганическим неметаллическим материалам, применяемым для защиты
от коррозии металлических поверхностей, относятся эмали, стекло и цемент.
Эмалью называют стекловидную застывшую массу, полученную в
результате полного или частичного расплавления и состоящую в основном из
кварца и других оксидов. На изделие эмаль наносят одним или несколькими
слоями.
Различают два основных способа эмалирования. Наряду с эмалированием,
при котором изделие покрывается грунтовкой и покровными эмалями и при этом
дважды обжигается, широко используется в последние годы однослойное прямое
эмалирование, при котором слой эмали (0,2 – 0,3 мм) может быть уменьшен
наполовину. При специальном эмалировании, применяемом в химическом и
пищевом машиностроении, обычно наносится многослойная эмаль.
Перед нанесением эмали поверхность стальной детали должна быть
обезжирена и протравлена. При этом удаляется некоторое количество металла и
поверхность листа становится шероховатой, что способствует адгезии эмалевого
покрытия.
22
3.Неорганические покрытия и способы их нанесения
С целью снижения пористости при обжиге за счет образования СО2 для
эмалирования применяют низкоуглеродистые стали.
Стеклоэмалевое покрытие обладает не только высокой химической стойкостью,
износостойкостью, но и обеспечивает незначительное налипание остатков продукта,
благодаря чему аппаратура легко моется. Покрытие имеет высокую адгезию к металлу.
Общая толщина эмалевого покрытия 0,8 – 1,0 мм.
При эксплуатации эмалированной аппаратуры не допускается превышать давление
или резко повышать его даже в пределах рабочего давления, резко нагревать и
заполнять переохлажденным продуктом или водой, производить местные термические и
механические воздействия, оставлять аппараты открытыми, использовать в качестве
моющих и дезинфицирующих средств щелочные растворы.
Недостатки стеклоэмалевых покрытий: чувствительность к ударам, резкой смене
температуры, местным перегревам, воздействию щелочей.
Высокую долговечность водопроводных труб обеспечивают цементные покрытия.
Для покрытий используется портланд-цемент с наполнителем в виде мелкого песка
23
3.1.Органические полимерные покрытия
Рассмотренные выше методы защиты металлов от коррозии более
дороги, менее эффективны, и возможности их ограничены. Поэтому
использование органических покрытий по-прежнему остается важным
средством борьбы с коррозией.
Полимерные покрытия не только защищают металлы от воздействия
агрессивных сред, но и повышают их износостойкость, снижая
прилипаемость различных веществ к рабочим поверхностям, позволяют
экономить цветные металлы и другие дефицитные материалы.
В различных областях промышленности для защиты внутренних
поверхностей аппаратов, трубопроводов и арматуры применяются
винилхлоридные, фторопластовые, пентапластовые, полиолефиновые,
полиуретановые, феноло-формальдегидные, кремнийорганические,
каучуковые, эпоксидные и другие покрытия.
1 - Лист стальной
2 - Цинковое поерытие
3 - Покрытие антикоррозийное
4 - Грунтовка
5 - Полимерное покрытие
6- Защитный лак
24
3.Неорганические покрытия и способы
их нанесения
Полиолефиновые покрытия. К наиболее распространенным

полиолефинам относятся полиэтилен, полипропилен и их сополимеры.
Покрытия из полиолефинов отличаются высокой химической
стойкостью к действию многих агрессивных сред. Полиэтилен используют
в качестве упаковочного материала для хранения продуктов и получения
антикоррозионных покрытий. Свойства полиэтилена и полипропилена
практически не меняются при воздействии концентрированными соляной
и серной кислотами при 20°С, а также растворами щелочей. Однако
органические растворители при комнатной температуре вызывают
некоторое набухание, а при температурах выше 100 – 120°С растворяют
полиолефины.
Полиолефины имеют низкую проницаемость по отношению к жидким
и газообразным агрессивным средам.
Полиолефины используются для нанесения покрытий почти всеми
известными методами, включая напыление порошкообразных полимеров,
плакирование пленками и листами, футерование литьем под давлением, а
также формирование покрытий из дисперсий в водноорганических средах
25
Полиамиды. К полиамидам относятся капрон и капролон. Покрытия обладают
высокими антифрикционными хар-ми. По износостойкости при сухом и жидкостном трении
полиамиды превосходят не только другие классы полимеров, но и многие металлы,
применяющиеся в антифрикционных целях. Низкий коэффициент трения при высоких
нагрузках позволяет использовать полиамиды в тяжелогруженых узлах трения, о чем
свидетельствуют значения коэффициентов трения покрытий из полиамидов при трении со
смазкой по стали. Недостатком полиамидных покрытий является склонность к старению и
значительное водопоглощение. С повышением температуры гигроскопичность возрастает.
Полиамидные покрытия наносят на поверхность изделий напылением порошков,
литьем под давлением, а также из растворов.Следует отметить низкую стойкость
полиамидов к окислению, что препятствует длительной эксплуатации полиамидных
покрытий на воздухе при температурах выше 60 °С. В целях повышения
термостабильности полиамидов применяют различные стабилизирующие добавки
органического и минерального происхождения. Для улучшения адгезионных и
когезионных свойств, повышения эксплуатационных характеристик в покрытия из
полиамидов вводят различные наполнители. Введение небольших количеств оксидов
титана, меди, железа, свинца и алюминия способствует росту прочности и твердости,
несущей способности и износостойкости покрытий при незначительном изменении коэф-
та трения. Повышение теплостойкости и несущей способности подшипников с
полиамидными покрытиями достигается введением порошков металлов (алюминия,
свинца, бронзы и др.). Снижению коэф-та трения также способствует добавка
фторопласта-4, дисульфида молибдена, графита. Модифицированные покрытия на основе
полиамидных слоев применяют для изготовления таких деталей как шестерни,
подшипники и т. д. Полиамидные смолы используют для получения защитных покрытий, а
полиамидные порошки – для нанесения тонкого антифрикционного износостойкого
покрытия.
26
Поливинилхлорид (ПВХ). Благодаря низкой стоимости сырья, высокой
химической стойкости, хорошим физико-механическим и удовлетворительным
электрическим свойствам, ПВХ является самым распространенным материалом,
применяющимся для создания защитно-декоративных, химически стойких и
электроизоляционных покрытий.
В состав поливинилхлоридных композиций, предназначенных для покрытий,
помимо пластификаторов, входят стабилизаторы, наполнители, смазки, пигменты и
другие добавки, концентрация и природа которых оказывают существенное влияние на
свойства покрытий.
Материалом для покрытий в основном служит пластифицированный
поливинилхлорид, реже используется непластифицированный ПВХ, типичным
представителем которого является винипласт. Листовой и пленочный винипласт
применяются в химической промышленности для футеровки металлической аппаратуры
и трубопроводов, эксплуатирующихся в агрессивных средах.
Пластифицированный поливинилхлорид обычно наносят на поверхность
обрабатываемых деталей в виде порошка или пленки.
Высокая химическая стойкость поливинилхлорида позволяет успешно
использовать покрытия на его основе в агрессивных средах.
Поливинилхлорид является основным компонентом для изготовления
лакокрасочных материалов. Путем обработки ПВХ получают винипласт, листы которого
легко поддаются механической обработке и хорошо свариваются. Это позволяет
использовать их для нанесения сплошного покрытия на фундаменты, цокольные части
и другие конструкции. Поливинилхлоридный пластикат применяют как обкладочный
материал для защиты аппаратуры от коррозии, устройств полов в помещениях, где
требуется герметичность. Для устройства химически стойких полов, а также для
гидроизоляции используют поливинилхлоридную пленку. 27
3.Неорганические покрытия и
способы их нанесения
Пентапласт обладает высокой водостойкостью, прочностью, низким

коэффициентом трения по стали. Он стоек к воздействию грибковой плесени,
устойчив к воздействию растворов щелочей, кислот и солей.
Пентапласт наносят на поверхность защищаемых изделий в
порошкообразном виде и из дисперсий в органических средах. Кроме того,
производится защита изделий футеровочными листами и готовыми вкладышами
из пентапласта.
Фторопласты. Для изготовления различных деталей и для защитных
покрытий применяются фторопласт-4 и фторопласт-3. Фторопластовые покрытия
исключительно устойчивы к агрессивным средам и в этом отношении превосходят
даже благородные металлы и сплавы. На покрытия из фторопласта-4 не
действуют окислительные среды, включая и царскую водку, кипящие щелочи,
растворы солей. Фторопластовые покрытия вполне устойчивы по отношению к
жирам, маслам, влаге, кислотам и т. д.
Покрытия из фторопластов применяют для защиты различных
технологических емкостей.
28
3.Неорганические покрытия и
способы их нанесения
Кремнийорганические полимеры отличаются многими ценными

свойствами, из которых наиболее характерны термостойкость, а также
стойкость к воздействию целого ряда химических агентов и растворителей.
По термостойкости они значительно превосходят органические полимеры.
Кремнийорганические полимеры сравнительно инертны по отношению к
большинству реагентов за исключением сильных оснований и
концентрированных кислот. Разбавленные сильные кислоты и щелочи, а
также слабые кислоты и основания оказывают на них незначительное
действие.
К недостаткам кремнийорганических полимеров следует отнести их
невысокую химическую стойкость к действию органических растворителей и
окислительных сред.
29
Эпоксидные смолы в своем составе имеют реакционноспособные эпок-сидные
и гидроксильные группы, способные вступать в химические реакции с различными
веществами с образованием более сложных соединений. При введении в них
отвердителей холодного или горячего отверждения такие смолы способны переходить
в неплавкое и нерастворимое состояние. В качестве отвердителей могут применяться
органические и неорганические кислоты, ангидриды кислот, амины и амиды, а также
синтетические смолы.
Свои ценные физико-механические свойства эпоксидные смолы приобретают при
взаимодействии с отвердителями. Отвердители аминного типа выполняют функции
сшивающих реагентов. Реакционноспособные группы отвердителей взаимодействуют
с эпоксидными группами смолы. Скорость процесса отверждения зависит от
температуры. Некоторые отвердители реагируют со смолой при комнатной
температуре, другие – лишь при нагревании. Наиболее полное отверждение
полиаминами достигается при температуре выше 100°С. Долговечность материалов,
полученных отверждением при комнатной температуре, ограничена. Материалы,
полученные отверждением эпоксидной смолы при нагревании, более долговечны.
30
На основе эпоксидных смол изготовляют лакокрасочные материалы,

применяемые для защитных покрытий.
Покрытия на основе эпоксидных смол с такими наполнителями, как уголь,
графит, кремнезем, кварцевая мука, измельченный мрамор, в пищевой
промышленности использовать нельзя по санитарным нормам.
Для защиты сепараторов перспективны комплексные покрытия, состоящие из
одного слоя грунта, двух слоев эмали и одного слоя лака на основе эпоксидной смолы.
Отвержденное покрытие промывается раствором уксусной кислоты, затем раствором
соды и ополаскивается водой. Полимерные покрытия на основе виниловых,
каучуковых и эпоксидных смол применяются для защиты сепараторов, в которых
технологические процессы протекают под избыточным давлением.
Для защиты некоторых железобетонных (бетонных) внутренних поверхностей
стационарных баков используют эпоксидное покрытие, состоящее из 82 % смолы, 13
% этилового спирта и 5 % полиэтиленполиамина. Покрытие затвердевает при
комнатной температуре, но для ускорения процесса повышают температуру до 70°С.
Перед нанесением покрытия железобетонная поверхность обязательно должна быть
хорошо очищена, просушена и прогрета электрообогревателем любого типа. Покрытие
четырехслойное, общей толщиной до 0,6 – 0,8 мм. Эпоксидные смолы также
используют для защиты внутренней поверхности железных чанов и цистерн.
Для защиты железобетонных емкостей, применяемых для хранения пищевых
продуктов, используют трехслойное эпоксидное покрытие: первый слой грунта и два
покровных слоя. Сушка каждого слоя осуществляется в воздушно-сухих условиях в
течение 24 ч с последующей сушкой всех трех слоев в течение 28 суток. Высушенное
покрытие промывают раствором соды с последующим ополаскиванием.
31
32
Резиновые покрытия. В качестве материалов для покрытий применяются
резины на основе натурального и синтетических каучуков. В состав композиций входят
стабилизаторы, вулканизирующие агенты и другие добавки. В процессе вулканизации
образуется трехмерная структура, обеспечивающая покрытиям хорошие механические
свойства.
Для футеровки изделий простой формы используют листовые материалы из сырой
резины с последующей вулканизацией на подложке. Для защиты изделий сложной
конфигурации находят применение жидкие материалы в виде дисперсий или
растворов.
Высокой эластичностью и хорошими адгезионными свойствами обладают покрытия
из резин на основе натурального каучука, которые используются для защиты от
минеральных кислот и щелочей.
Мягкие резины в основном применяются для покрытия различных аппаратов,
деталей, цистерн, труб. Они представляют собой полимерные композиции сложного
состава на основе эластомеров линейного или разветвленного строения (каучуков) в
виде латексов или клеев.
Например, для футеровки емкостей внутреннюю поверхность подвергают
дробеструйной обработке и оклеивают листовой смесью резины с феноло-
формальдегидной смолой. После этого поверхность облицовывают кислотоупорной
плиткой на диабазовой замазке.
Разработку теплостойких резин ведут с учетом специфики свойств агрессивных
сред. Наибольший интерес представляют жидкие силоксановые каучуки, которые
обладают высокой теплостойкостью (до 250°С) и нетоксичны.
Благодаря высокой сопротивляемости истиранию резины применяют для
аппаратов, работающих с жидкостями, содержащими взвешенные вещества (насосы,
трубопроводы). Иногда применяют твердые резины – эбониты. Эбониты по сравнению с
33
резинами имеют более высокую химическую стойкость.
3.2.Лакокрасочные покрытия
Лакокрасочные материалы – это составы, наносимые на

защищаемую поверхность тонкими слоями и образующие после высыхания
и отверждения твердую, плотную и прочно сцепленную с поверхностью
пленку. Они состоят из основных материалов (связующие –
пленкообразующие вещества, пигменты, наполнители) и вспомогательных
(пластификаторы, отвердители, растворители и др.).
Пленкообразование при формировании лакокрасочного покрытия
происходит следующими способами: испарением растворителей
(например, для поливинилхлоридных покрытий); взаимодействием с
отверждающими агентами (для эпоксидных покрытий); поликонденсацией
(для фенольных покрытий); окислением (для маслосодержащих
покрытий); расплавлением и напылением (для полиэтилена и др.).
34
Системой лакокрасочного покрытия называют сочетание слоев

лакокрасочных материалов, последовательно нанесенных на
защищаемую поверхность (рисунок ).
Рисунок Схема системы

лакокрасочного покрытия:
1 – грунт;
2 – шпаклевка;
3 – эмаль;
4 – покрывающий лак
35
Все лакокрасочные материалы по своему виду (грунтовки, эмали, краски, лаки) в

зависимости от рода основного пленкообразующего вещества подразделяются:
по составу на группы:
КО - кремний органические ХС – сополимерно-винилхлоридные,
ЭП – эпоксидные, ПФ – пентафталевые.
по преимущественному назначению:
36
Грунтовки – это пигментированные растворы пленкообразователей в

органических растворителях. Они служат для создания на защищаемой
поверхности антикоррозионного слоя и обеспечения высокой прочности
сцепления как с поверхностью, так и с последующими покрывными слоями. В
системе поверхность-грунтовка-покрывной состав (эмаль) грунтовка выполняет
роль «химического мостика».
Эмали (покрывные слои) – это пигментированные и наполненные лаки,

предназначены для обеспечения защиты металла от коррозии совместно с
грунтовками и придания объекту требуемого декоративного вида. Как правило,
их наносят на предварительно загрунтованные поверхности.
В различных отраслях промышленности лакокрасочные композиции часто
изготовляют на месте на основе таких связующих, как эпоксидные,
кремнийорганические, полиуретановые, сополимерно-винилхлоридные смолы.
В них добавляют пигменты и наполнители, а также вспомогательные
материалы (пластификаторы, растворители, разбавители, отвердители). Все
компоненты перемешивают, перетирают и фильтруют до получения готовых к
употреблению составов.
37
Пигменты – это тонкоизмельченные цветные природные и

синтетиче-ские неорганические оксиды, соли металлов,
органические или металлические вещества (порошки), не
растворимые в дисперсных средах, воде и способные создавать с
пленкообразующим покрытием защитное покрытие. Многие
пигменты обладают высокими противокоррозионными свойствами.
Они предназначены для получения окрашенных покрытий и
обеспечивают твердость, снижают набухание пленки в воде.
Наполнители – это дисперсные неорганические природные
или синтетические вещества, не растворимые в растворителях, воде
и дисперсионных средах. Они предназначены для повышения
адгезии, модуля упругости, твердости, прочности, тепло-, огне-,
кислото-, щелоче- и атмосферостойкости покрытий, снижения
стоимости покрытия, придания композиции требуемой
теплопроводности, снижения температурного коэффициента
расширения покрытий до значений, характерных для металлов. Их
добавляют до 25 % от количества вводимых пигментов.
38
Пластификаторы – это низколетучие растворители,

изменяющие вяз-кость системы и повышающие эластичность,
предназначены для облегчения условий пленкообразования,
повышения стойкости к растрескиванию при цикле нагрев –
охлаждение, регулирования таких физико-механических свойств,
как хрупкость, повышение удлинения, сопротивление удару,
эластичность.
Растворители (разбавители) – это органические жидкости,
однокомпонентные растворители или их смеси. Они предназначены
для разведения лакокрасочных материалов до рабочей вязкости и
улучшения их технологических свойств.
Растворители должны иметь хорошую растворяющую
способность, оптимальную температуру кипения и минимальную
токсичность.
Отвердители – это химические соединения, добавляемые в
состав только определенных лакокрасочных материалов
(эпоксидных, уретановых и др.) для их отверждения.
Износостойкие покрытия. Одним из необходимых условий
при выборе материалов для покрытий является высокая
износостойкость защитных покрытий.
39
Полимерные покрытия являются эффективным средством для повышения
износостойкости. Долговечность покрытий зависит от плотности материалов, из
которых они изготовлены, их адгезионной способности к подложке,
трибометрических свойств, равномерности распределения в них модификаторов и
наполнителей. Большинство полимерных материалов характеризуется высокой
износостойкостью. Использование тонких полимерных слоев в сочетании с
теплостойкостью металлического основания позволяет создавать надежно
работающие износостойкие покрытия.
С повышением молекулярной массы и регулярности макромолекул в ряду одного
типа полимера износостойкость покрытий увеличивается. Свойства износостойких
покрытий во многом определяются составом композиции, изменяя который можно
регулировать износостойкие характеристики в широких пределах и получать
покрытия различного назначения как с низким, так и с высоким коэффициентом
трения.
Чаще других полимеров для износостойких покрытий используются
полиуретаны, пентапласт, политетрафторэтилен, полиамиды, эпоксидные
композиции. Хорошо противостоят абразивному износу, например, трубы, покрытые
изнутри полиуретаном.
Покрытия на основе ненаполненных полиуретановых эластомеров по стойкости к
абразивной эрозии превосходят ряд марок нержавеющих сталей. Одним из
перспективных износостойких материалов является поливи-нилденфторид (ПВДФ).
Он применяется как в качестве покрытий и футеровок элементов насосных агрегатов,
так и для изготовления насосов для перекачивания агрессивных сред
40
Одним из рациональных способов повышения износостойкости покрытий

является модифицирование полимерных композиций неорганическими и
минеральными наполнителями, например дисульфидом молибдена, тальком,
аморфным бором, корундом, оксидом цинка, карбидом кремния и др.
Сжижению износа покрытий способствует наполнение полимерных
композиций стекловолокном, графитом, цементом, асбестом, маршаллитом,
повышающими прочность, теплостойкость и другие характеристики полимеров.
Перспективно использование полимерного износостойкого покрытия на
основе эпоксидной смолы и шламов – отходов предприятий черной металлургии
с содержанием общего железа более 60 %. Использование шламов расширяет
сырьевую базу, удешевляет стоимость покрытия и повышает его физико-
механические свойства в условиях воздействия коррозионно-эрозионных сред.
41
Методы подготовки поверхности
для нанесения покрытий
42
1. Общие сведения о подготовке поверхности
Основные факторы, влияющие на формирование качественного слоя и
его связь с покрываемой поверхностью :
• состояние этой поверхности,
• ее строение,
• уровень шероховатости (развитость поверхности, наличие
неровностей),
• наличие на поверхности пленок различного характера: жировых
загрязнений, окислов и других дефектов механического и химического
характера.
Следовательно, любой вид нанесения покрытий требует подготовки
(предварительной обработки) поверхности с целью улучшить ход процесса
образования пленки (слоя) покрытия, увеличить скорость наращивания
слоя и уменьшить энергетические затраты, что обеспечивает повышение
производительности оборудования при соблюдении технологии и
повышение эффективности производства
43
1. Общие сведения о подготовке поверхности
Наиболее распространенными способами обработки поверхности перед
нанесением покрытий являются:
1. механические способы;
2. химические способы.
В ряде случаев применяются:

• электрофизические методы депассивации поверхности либо создания
на ней дополнительной шероховатости;
• электролитические процессы обезжиривания, полировки и травления,
• электронная бомбардировка,
• ионная бомбардировка.
Применяется очистка кавитирующей жидкостью в ультразвуковом
поле, тепловые способы обработки, в том числе обжиг, совместное тепловое
и химическое воздействие агрессивных растворов или активных газов,
например обработка при высоких температурах в токе водорода либо других
восстановителей
44
1. Механические способы обработки
Механические способы обработки поверхности применяют, если
необходимо обеспечить удовлетворительное сцепление вещества покрытия
с материалом изделия.
Различают следующие виды механической обработки,

применяемой с указанной целью:
•обработка металлов резанием на токарных, фрезерных, расточных,
сверлильных и других металлорежущих станках,
•шлифование и полирование,
•крацовка и галтовка,
•гидропескоструйная,
•дробеструйная или дробеметная обработка и т.д.
45
Шлифовке и полировке подвергают изделия, от которых требуется в
окончательном виде иметь гладкую блестящую поверхность и точные
окончательные размеры. Такая предварительная обработка одновременно
улучшает плотность контакта покрывающего материала слоя с
поверхностью изделия на атомном уровне
46
Пескоструйная обработка.
Пескоструйная обработка конструкций представляет процесс обработки каких-либо
твердых поверхностей, с помощью использования метода шлифовки поверхности специальным
абразивным порошком, которые распыляется, непосредственно, потоком воздуха под огромным
давлением или же струей жидкости (зачастую воды).
В качестве абразивного материала очень часто используется песок, дробь или же
купер-шлак. Технология пескоструйной обработки конструкций очень проста. Поскольку,
благодаря потоку сжатого воздуха абразивные частицы ускоряются и способом повреждения
верхнего слоя, ненужные материалы и частицы удаляются, а обрабатываемая поверхность —
упрочняется.
Использование пескоструйной обработки вместо полирования увеличивает
суммарную площадь поверхности изделия в 3–5 раз по сравнению с рассчитанной для гладких
поверхностей. В связи с этим такая обработка интенсифицирует процессы формирования слоя,
усиливает его связь с поверхностью, улучшает качество и свойства покрытия
47
Ультразвуковая обработка
Отмывку корпусов двигателей после механообработки можно проводить по-разному: удалить
стружку и остатки ещё не засохших СОЖ способны и струйные, и ультразвуковые мойки.
Выбор способа будет зависеть от размера и формы самого двигателя.
Крупные детали загружаются на паллеты струйных моек и очищаются в закрытой камере
струями нагретого моющего раствора под давлением. Такие моечные машины удобны тем,
что могут применяться даже для очень больших и тяжелых деталей.
Ультразвуковые мойки подходят для небольших корпусов или деталей, имеющих сложную
форму. В этом случае, детали опускаются в ванну с моющим раствором в сетчатых корзинах
или устанавливаются на специальные держатели и в течение нескольких минут очищаются
ультразвуком. Одними из главных преимуществ УЗ очистки являются высокая
эффективность и неабразивное воздействие на металл.
48
Электроискровая подготовка поверхности
Для напыления высокопрочных износостойких материалов, когда
покрываемая поверхность очень твердая и не поддается воздействию дроби
или песка при абразивной обработке, применяют электроискровую обработку,
при которой поверхность детали с помощью вибрирующего с высокой
частотой электрода обрабатывают слабыми электрическими разрядами.
Происходит электроэрозионное воздействие разрядов, заключающееся в
микрооплавлении и отрыве частиц на электроде или на изделии,
массопереносе вещества между электродом и обрабатываемой поверхностью, в
результате чего образуются неровности высотой несколько сотых долей
миллиметра; таким образом создается шероховатость поверхности,
улучшающая сцепление материала покрытия с основой независимо от способа
его нанесения.
В ряде случаев электроискровую обработку используют не как способ
подготовки поверхности к покрытию, а как самостоятельный способ
покрытия, обеспечивающий нанесение материала электрода на
обрабатываемую поверхность. Для восстановления размеров изношенных
конструкционных деталей применяют чаще всего железные электроды, при
обработке кромок инструментов часто используют электроды из порошковых
твердых сплавов на основе карбида вольфрама.
49
Химические способы обработки
Химические способы подготовки поверхности применяют в основном для
очистки листов, труб и других тонкостенных изделий.
К этим способам относятся
обезжиривание и травление.
Для обезжиривания часто применяют органические растворители, например

три- и тетрахлорэтилен, ацетон, бензин, уайт-спирит и др. Скорость
обезжиривания возрастает во много раз под действием ультразвука. Применение
органических растворителей очень ограниченно в связи с их пожароопасностью,
токсичностью, дороговизной.
Наиболее широко используются химические и электрохимические методы

обезжиривания в горячих (80–90 °С) щелочных растворах (NaOH, Na3PO4) с
эмульгаторами, например 100 г/л Na3PO4 + 10 г/л эмульгатора ОП-7
50
Электрохимическое полирование проводят на аноде в электролитах,
представляющих собой кислородосодержащие кислоты (фосфорная, серная,
хромовая, хлорная), к которым добавляют хромовый ангидрид (для алюминия),
используют растворы щелочей (для цинка), цианиды (для серебра) и т.д. При
выборе растворов пользуются специальной справочной литературой,
обобщающей большой практический опыт по каждому типу обрабатываемого
материала.
Химическое планирование применяют редко, так как оно в большинстве
случаев не обеспечивает зеркального блеска. Составы растворов для химического
полирования регламентируются ГОСТ 9.047–75. Принцип электрохимической и
химической полировки заключается в более интенсивном растворении металла на
выступах по сравнению с впадинами микрорельефа поверхности, благодаря чему
поверхность сглаживается, завершаясь образованием гладкой зеркальной
поверхности. Преимущество электрохимического полирования перед
химическим заключается в более ярко выраженной избирательности растворения
выступающих частей поверхности, что и обеспечивает более ровную зеркальную
поверхность после обработки.
51
Ингибиторы – это некоторые органические вещества, например
бутилнитрит, бензотритион, дибензилсульфооксид.
Марки ингибиторов, выпускаемых промышленностью: ЧМ, И-
1А, И-1В, И-1Е, КПИ-1, КО, БА6 и др. Скорость травления в
ингибированной серной кислоте можно увеличить введением добавок
окислителей типа NaNО3, KMnO4, К2Сг2О7, Н2О2, О3, Fe2(SО4)3.
Особенно эффективно воздействует озон, уменьшая время травления
в 2–5 раз.
52
Травление нержавеющих сталей обычно производят в азотной кислоте с
добавками HF, KF и других веществ. Смесь азотной и плавиковой кислот
используют при травлении титана.
Травление при этом развивается по реакции
3Тi + 4HNО3 + 12HF = 3TiF4 + 8Н2О + 4NО.
При этом не выделяется водород, чем предотвращается явление
водородной хрупкости.
Травление алюминия и его сплавов чаще ведут в горячих щелочных
растворах 20–30 % NaOH при температуре 80–90 °С. Медь и медные
сплавы травят обычно в концентрированных кислотах (азотной, серной,
соляной, фосфорной) или их смесях. Процесс осуществляют в одну или
две-три последовательно идущие стадии в зависимости от материала и
состояния обрабатываемой поверхности. Если изделия из меди и медных
сплавов покрыты относительно толстым слоем окалины, то их
предварительно травят в 10–15 %-ном растворе серной кислоты при 50–
60 °С. Перед травлением в последнем концентрированном растворе
кислот во избежание его разбавления водой изделия не промывают.
Перед нанесением покрытий на медные сплавы можно применять и
разбавленные растворы кислот, если они не вызывают дефектов слоя при
покрытии.
53
Электрохимическое полирование проводят на аноде в электролитах,
представляющих собой кислородосодержащие кислоты (фосфорная, серная, хромовая,
хлорная), к которым добавляют хромовый ангидрид (для алюминия), используют
растворы щелочей (для цинка), цианиды (для серебра) и т.д. При выборе растворов
пользуются специальной справочной литературой, обобщающей большой практический
опыт по каждому типу обрабатываемого материала.
Химическое планирование применяют редко, так как оно в большинстве случаев не
обеспечивает зеркального блеска. Составы растворов для химического полирования
регламентируются ГОСТ 9.047–75. Принцип электрохимической и химической
полировки заключается в более интенсивном растворении металла на выступах по
сравнению с впадинами микрорельефа поверхности, благодаря чему поверхность
сглаживается, завершаясь образованием гладкой зеркальной поверхности.
Преимущество электрохимического полирования перед химическим заключается в
более ярко выраженной избирательности растворения выступающих частей
поверхности, что и обеспечивает более ровную зеркальную поверхность после
обработки.
54
Установки для вакуумного
напыления
55
Вакуумные технологии
Оптические - с применением ионных, ионно-плазменных и
молекулярных пучков с возможностью получения покрытий высокой
группы прочности.
Упрочняющие - с использованием ионных, ионно-плазменных источников

низких и средних энергий, позволяющие получать покрытия с высокими
физико-механическими и химическими свойствами.
Защитно-декоративные и коррозионностойкие - с применением ионно-

плазменных источников, позволяющие наносить покрытия в широком
спектре цветов при пониженных температурах на различные материалы.
Алмазоподобные - с использованием ионно-плазменных источников,

позволяющие получать покрытия высокой твердости и низким
коэффициентом трения.
Вакуумная металлизация - с применением ионно-плазменных источников,

источников тлеющего разряда, позволяющие получать качественные
56 покрытия на различные материалы.
Оборудование для формирования качественных
вакуумных пленок комплектуется современными
анализаторами плазменных процессов, а также
технологическими источниками плазмы разных классов, что
делает установки вакуумного напыления универсальными и
позволяет улучшить вакуумные покрытия:
- при вакуумной металлизации Al, Cr, Ni снижается пористость,
увеличивается адгезия;
- при нанесении сульфидов ZnS, фторидов MgF2 значительно
возрастает адгезия, плотность покрытия;
при нанесении окислов Al2O3 , TiO2, Cr2O3, ZrO2,
V2O3 снижается поглощение, возрастает адгезия;
- при нанесении карбидов, нитридов, карбонитридов TiN,
TiCN, ZnN, CrN, AlCrN, AlTiN возрастает адгезия и плотность
покрытия.
Вакуумное напыление может быть в ручном,
полуавтоматическом и автоматическом режиме работы.
57
1. Вакуумное оборудование для реализации вакуумных
технологий по нанесению защитно-декоративных покрытий
включает применение ионно-плазменных источников;
магнетронов, ионных источников газа, источников тлеющего
разряда, вакуумных дуговых испарителей. Сочетание данных
технологических источников, а также применение
импульсных блоков питания позволяет формировать
покрытия широкого спектра цветов на изделия из различных
материалов при пониженных температурах. С целью
обеспечения воспроизводимости результатов установки
комплектуются приборами анализа плазмы. Помимо этого,
особенно для вакуумных декоративных покрытий, вакуумной
металлизации изготавливаются электролитно-плазменные
установки УПП, которые предварительно подготавливают
поверхность, повышают качество на 2-3 класса (уменьшают
шероховатость), тем самым обеспечивают получение
покрытий с высокими свойствами.
58
2. В основу создания вакуумного оборудования для
реализации вакуумных технологий по осаждению
упрочняющих покрытий, начиная с 1980г., заложен цикл
работ исследования поверхности при взаимодействии ионных
потоков с поверхностью подложки, отработки конструкций
технологических источников, блоков питания и управления,
приборов анализа остаточной среды, и других элементов
вакуумных систем. В процессе данных работ исследованы
физико-механические и химические свойства покрытий в
зависимости от параметров технологического процесса, в
частности:
влияние ионной обработки, как ионами материала катода, так
и ионами газа,
температурные процессы, происходящие при формировании
структур,
структурно-фазовые превращения при получении покрытий.
В результате чего, были разработаны вакуумные технологии
нанесения упрочняющих покрытий на разлиную подложку и
создана гамма вакуумных установок.
59
3. Применение различных технологических источников, таких
как магнетронные, резистивные, электронно-лучевые,
ионные (в режиме очистки и в режиме ассистирования) в
установках для реализации вакуумной технологии по
осаждению оптических покрытий с приборами оптического
контроля позволяет формировать воспроизводимые от цикла
к циклу сложные функциональные покрытия
(токопроводящие, просветляющие, отражающие,
интерференционные и т.д.) с неравномерностью по толщине
не более 3%.
4. DLC покрытия или алмазоподобные иначе говоря
аморфные углеродные покрытия получаемые при реализации
вакуумной технологии обладают широким спектром свойств -
высокая твердость, износостойкость, коррозиостойкость, тем
самым защищая изделия от агрессивных сред в течение
долгого времени и увеличивая срок службы в несколько раз.
60
Рабочая температура DLC покрытия до 350 Со, свыше этой
температуры коэффициент трения возрастает, в результате чего
алмазоподобные покрытия имеют более высокую скорость
износа.
DLC покрытия хорошо зарекомендовали себя и успешно
применяются в машиностроении, медицине, оборонном
производстве, производстве товаров народного потребления.
Вакуумная установка для нанесения алмазоподобных
покрытий на металлы, оптику, сплавы с применением ионно-
плазменных источников плазмы. Установка позволяет наносить
покрытия на изделия с низкой рабочей температурой. Установка
может работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по
заданной программе с помощью персонального компьютера.
Состав вакуумной установки:
Размеры камер:
- диаметр, мм - 500-2000,
- высота или длина, мм - 500-2500,
- Вакуумные камеры вертикального и горизонтального
61
исполнения.
Турбомолекулярный насос.
Форвакуумный агрегат.
Форвакуумные клапаны.
Высоковакуумный пневмозатвор с пневмоцилиндром.
Сепарированные источники плазмы с электронным поджигом и
импульсными блоками питания.
Ионный источник газа с импульсным блоком питания.
Система нагрева подложек с блоком управления и контроля температуры
фирмы Siemens.
Система гидравлическая SMC, FESTA.
Система пневматическая SMC, FESTA.
Система контроля качества очистки поверхности и анализа остаточной
среды PPC 1000.
Расходомеры технологического газа с комплектом натекателей.
Комплект технологической оснастки с блоком управления и приводом
вращения.
Вакуумметр.
62
Стойка управления на базе технологических контроллеров
фирмы AdvanTech.
Стойка питания.
Бесконтактный прибор контроля температуры.
63
Вакуумное оборудование для нанесения защитно-
декоративных и коррозионностойких покрытий
Вакуумное оборудование для нанесения
защитно-декоративных покрытий
включающее в себя несколько видов
технологических источников позволяет
получать покрытия широкого спектра цветов
на изделия из различных материалов при
пониженных температурах.
Для подготовки поверхности металлической
подложки, особенно для декоративных
покрытий, изготавливаются установки
электролитно-плазменного полирования УПП,
которые повышают качество поверхности на
2-3 класса (уменьшают шероховатость), тем
самым обеспечивают получение покрытий с
высокими свойствами.
64
Технические характеристики:
1. Размеры камер:
• Диаметр, мм - 500-2000
• Высота или длина, мм - 500-2500
• Вакуумные камеры вертикального
и горизонтального исполнения
Вакуумная система может быть
построена с применением разных
откачных средств.
Технологические источники:
• Вакуумные дуговые испарители
• Ионные источники
• Магнетронные распылительные
системы.
2. Технологическая оснастка
планетарного типа.
3. Высоковакуумный пневмозатвор.
65
4. Азотная ловушка.
5. Вакуумные клапаны.
6. Импульсные блоки питания.
7. Стойка управления и питания.
8. Вакуумметр комбинированный.
9. Система автоматического управления расходом рабочих
газов.
10. Гидравлическая и пневматическая системы
Установка может работать как в ручном, так и в
автоматическом режиме по заданной программе с помощью
персонального компьютера.
Незначительная модернизация установки, по желанию
Заказчика, может обеспечить нанесение алмазоподобных
(DLC) покрытий.
66
оптических покрытий
Установка позволяет наносить многослойные оптические

покрытия широкого назначения в автоматическом режиме:
просветляющие, отражающие, интерференционные,
поляризующие, токопроводящие, защитные,
светопоглощающие и другие покрытия.
Размеры камер:
• Диаметр, мм - 700-1300
• Высота или длина, мм - 800-1500
• Вакуумные камеры вертикального исполнения.
Помимо традиционных средств откачки, применяются
криогенные и турбомолекулярные насосы.
Технологическая оснастка может быть как с нижним, так и
верхним приводом вращения, со сменным куполом,
планетарного действия
67
Стойки питания и управления установки предусматривают
применение импортных комплектующих стран
Великобритании, Германии, Японии, США: контроллеры
откачки, технологического процесса, температуры, привод
вращения технологической оснастки, прибор анализа плазмы
и управления расходом технологического газа, спектральная
система, система кварцевого контроля.
Описание и взаимодействие основных частей установки.
Для традиционных средств откачки вакуумная система
установки включает в себя форвакуумный агрегат с
пластинчато-роторным и двухроторным насосом,
высоковакуумный насос, азотную или фреоновую
высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и
клапаны пневматического действия.
68
В вакуумной камере размещаются: датчики контроля
давлений, температуры, датчики спектрометрической
системы, кварцевого контроля, технологическая оснастка,
резистивные испарители, электронно-лучевой испаритель,
ионизатор, дозатор напыляемого вещества, нагреватели,
механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными
свидетелями. Технологическая оснастка планетарного
вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм,
на которых размещаются оптические детали. Установка
включает в себя две стойки управления и питания. Одна
стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание
и управление электронно-лучевым испарителем
69
70
Установка обеспечивает проведение технологического процесса в
автоматическом режиме, с выводом всех характеристик на
монитор компьютера.
Управление
Компьютер с программным обеспечением реального времени
Контроллеры фирмы Advantech или Siemens для управления
установкой и контролем технологических процессов
Программное обеспечение для управления и контроля
полностью автоматическая работа по рецептам пользователя.
полностью автоматическое, так и ручное управление циклом
напыления посредством графического интерфейса пользователя;
модульная структура редактирования рецептов;
запись протоколов процесса, событий и ошибок
визуализация данных в процессе напыления в виде: графиков
роста пленки (скорости и толщины), параметров давления и
температуры, скорости подачи газов и др.;
доступ ко всем контроллерам и логическим функциям (сервис
режим);
71
система помощи on-line;
система удаленного доступа для диагностики установки и
ошибок.
Спектрометрическая система имеет два режима работы: для
видимой области (350-850) нм и для ИК-области (1000-2500)
нм, разрешение в видимой области не хуже 1,5 нм, в ИК-
области (3-5)нм. Контроль толщины покрытий проводится по
образцам свидетелям, расположенным в механизме перевода.
Количество образцов не менее – 8 шт.
Дозатор управляет автоматической подачей испаряемых
материалов, тем самым обеспечивает стехиометрический
состав оптических покрытий. Нагреватели обеспечивают
нагрев изделий до температуры – 3200С. Время одного цикла
для нанесения фильтров в зависимости от технологического
процесса составляет 8 часов.
Выход годных изделий достигает до 80%, при этом 20%
остальных изделий отличаются только по длине волны на (5-
10)%, что является высоким результатом.
72
Предложение включает в себя изготовление установки,
передачу технологии нанесения покрытий, пуско-наладочные
работы, обучение персонала.
Изготовитель обеспечивает запасными частями из расчета 12
месяцев работы установки. В перечне ЗИП указываются
быстро изнашивающиеся детали и необходимые
комплектующие.
Срок изготовления установки 6-7 месяцев.
Возможен вариант заключения договора по дальнейшему
сервисному обслуживанию установки.
73
Вакуумное оборудование для нанесения покрытий
на полимерную пленку
Вакуумная установка для нанесения покрытий на

полимерную пленку Вакуумная шлюзовая установка V-2000-
IP-R предназначена для нанесения широкого спектра
покрытий комбинированными методами в автоматическом
режиме.
Модуль загрузки (подготовки) пленки к напылению. Модуль
предназначен для предварительной очистки и обезгаживания
пленки.
Рабочая камера. В рабочей камере происходит окончательная
очистка, обработка пленки планарным ионным источником и
нанесение требуемых покрытий планарными магнетронами
по заданной технологии. В рабочей камере размещено
устройство перемотки, семь магнетронов планарной
конструкции, нагревательные элементы, датчики контроля
давления, спектра плазмы, спектрометрической системы.
74
Вакуумная система состоит из высокопроизводительных
высоковакуумных насосов и агрегатов предварительной откачки.
Вакуумная установка обеспечивает достижение необходимого
давления в модулях загрузки (подготовки), выгрузки пленки и
непосредственно в рабочей камере.
Модуль выгрузки или (выхода пленки) предназначен для
стабилизации давления и температурных параметров.
Ионный источник обеспечивает очистку, активацию поверхности
пленки ионами аргона с энергией (0-800)ЭВ. Размер ионного пучка
на срезе анода составляет (1400х100)мм. Расстояние рабочей зоны
по нормали к подложке – (0--400)мм.
Магнетроны планарной конструкции. Размер мишени (1400х80)мм.
Камера позволяет размещение до 7 магнетронов.
Устройство перемотки обеспечивает автоматическое движение
пленки с позиции загрузки через шлюз и на намоточный барабан.
Прибор анализа плазмы и управления расходом технологического
газа обеспечивает стабилизацию технологических параметров и
75
воспроизводимость процесса получения покрытий.
Спектрометрическая система контроля толщины покрытий
обеспечивает контроль покрытий в автоматическом режиме с
выводом характеристики на монитор компьютера.
Стойка питания предназначена для питания магнетронных и
ионных источников и других исполнительных механизмов.
Стойка управления обеспечивает автоматическое проведение
технологического процесса нанесения покрытий. В стойку
управления входят контроллеры откачки, температуры,
прибора анализа плазмы, спектровизор, прибор замера
остаточных давлений и т.д.
Основные технические характеристики:
Рабочая камера - 2000х1600х1400 , мм
Шлюз (2шт.) - 1600х400х400 , мм
Давление в камере - 1х10-3 (ПА)
Рабочее давление - 10-1 ПА
Мощность магнетронных источников - 5, 10, 25 КВТ
76
Параметры ионного источника:
ускоряющее напряжение до 2000 В,
рабочий ток до 1 А,
производительность – (10-30) м/мин,
размер ионного пучка на срезе анода (1400х100)мм,
размер рабочей зоны по нормали к подложке (0-400)мм,
спектральный диапазон прибора замера толщины покрытий, до
1000, нм,
мощность потребляемая установкой, 150 КВТ (в зависимости от
технологий).
К особенностям установки следует отнести:
наличие модуля предварительной подготовки ионного источника
позволяет формировать покрытия с высокими физико-
механическими свойствами,
исключение периодической загрузки изделий (бухты) в рабочую
камеру существенно уменьшает наличие примесей и формирование
однородных покрытий - высокая производительность установки,
возможность контроля толщины покрытий в режиме осаждения и
вывод спектральной характеристики на монитор компьютера.
77
упрочняющих покрытий
Сочетание в оборудовании технологических источников

разных по конструкции; магнетронов, ионных источников,
вакуумных дуговых испарителей с современными блоками
питания и управления, а также других приборов и систем
позволяет формировать упрочняющие покрытия с высокими
свойствами и повторяемостью от цикла к циклу.
78
1. Размеры камер:
Диаметр, мм - 500-2000
Высота или длина, мм - 500-2500
Вакуумные камеры вертикального и горизонтального исполнения.
2. Вакуумная система может быть построена с применением разных
откачных средств.
3. Технологические источники:
Вакуумные дуговые испарители
Ионные источники
Магнетронные распылительные системы.
4. Технологическая оснастка планетарного типа.
5. Высоковакуумный пневмозатвор.
6. Азотная ловушка.
7. Вакуумные клапаны.
8. Импульсные блоки питания.
9. Стойка управления и питания.
10. Вакуумметр комбинированный.
11. Система автоматического управления расходом рабочих газов.
12. Гидравлическая и пневматическая системы.
79
В установке применяются импортные комплектующие стран
Великобритании, Германии, Японии, США. Незначительная
модернизация установки, может обеспечить нанесение
алмазоподобных (DLC) покрытий. Установка может работать как в
ручном, так и в автоматическом режиме по заданной программе с
помощью персонального компьютера.
После вакуумного напыления наблюдается увеличение ресурса
работы инструмента в несколько раз:
Режущие пластины в 2 - 5 раза.
Технологические ножи в 10 - 14 раз.
Пресс-формы в 3-5 раза.
Штампы в 3-4 раза.
Сверла, фрезы, метчики в 2 - 4 раза.
Медицинские скальпели в 2- 4 раза.
Установка позволяет наносить следующие вакуумные покрытия:
однослойные вакуумные покрытия: TiN; TiCN; ZnN; CrN; AlCrN и др.,
многослойные вакуумные покрытия: TiN-TiCN-TiC; TiN-TiAlN-AlTiN-
Al2O3 и др.
80
Вакуумные технологические линии
Вакуумная линия предназначена для нанесения
широкого спектра покрытий (защитно-декоративных,
упрочняющих, оптических) комбинированными
методами в автоматическом режиме.
Модуль загрузки (подготовки) изделия к напылению.
Модуль предназначен для предварительной очистки и
обезгаживания изделия.
Рабочая камера. В рабочей камере происходит
окончательная очистка, обработка изделия планарным
ионным источником и нанесение требуемых покрытий
планарными магнетронами по заданной технологии. В
рабочей камере размещено устройство для перемещения
изделия, магнетроны планарной конструкции,
нагревательные элементы, датчики контроля давления,
спектра плазмы, спектрометрической системы.
81
Вакуумная система состоит из высокопроизводительных
высоковакуумных насосов и агрегатов предварительной
откачки. Вакуумная система обеспечивает достижение
необходимого давления в модулях загрузки (подготовки),
выгрузки изделия и непосредственно в рабочей камере.
Модуль выгрузки или (выхода изделия) предназначен для
стабилизации давления и температурных параметров.
Ионный источник обеспечивает очистку, активацию
поверхности изделия ионами аргона.
Магнетроны планарной конструкции.
Устройство перемещения обеспечивает автоматическое
движение изделия с позиции загрузки на позицию выгрузки.
Прибор анализа плазмы и управления расходом
технологического газа обеспечивает стабилизацию
технологических параметров и воспроизводимость процесса
получения покрытий.
Спектрометрическая система контроля толщины покрытий
обеспечивает контроль покрытий в автоматическом режиме с
82
выводом характеристики на монитор компьютера.
Стойка питания предназначена для питания магнетронных и
ионных источников и других исполнительных механизмов.
Стойка управления обеспечивает автоматическое проведение
технологического процесса нанесения покрытий. В стойку
управления входят контроллеры откачки, температуры,
прибора анализа плазмы, спектровизор, прибор замера
остаточных давлений и т.д.
К особенностям установки следует отнести:
- наличие модуля предварительной подготовки ионного
источника позволяет формировать покрытия с высокими
физико-механическими свойствами;
- исключение периодической загрузки изделий в рабочую
камеру существенно уменьшает наличие примесей и
формирование однородных покрытий, а также существенно
увеличивает производительность установки;
- возможность контроля толщины покрытий в режиме
осаждения и вывод спектральной характеристики на монитор
компьютера.
83
Технические характеристики вакуумных технологических
линий:
1. Количество камер - 3 - 7 шт.
2. Размеры подложек:
ширина - до 3000 мм
длина - до 4000 мм
3. Количество магнетронов - 2 - 7 шт.
4. Количество ионных источников - 1 - 3 шт.
5. Время цикла - от 60 сек. 6. Мощность блока питания
магнетрона - 10 - 70 кВт
84
Обозначения:
1. Нагреватель
2, 3, 5, 7, 9. Камера
4. Источник ионов
6,8. Магнетроны
10. Изделие
11, 12. Стойки питания
13. Стойка контроля
14. Форвакуумная система
15. Высоковакуумная система
16. Стойка управления
17. Затвор
I - V. Камеры
85
Шнур теплоизоляционный
Изобретение относится к плазменному способу и устройству

получения нанопокрытий, в частности пленок из окислов,
карбидов и других соединений, и может применяться в
радиоэлектронной, авиационной, энергетике и других
отраслях промышленности. Изобретение позволит повысить
энергию наносимых частиц материала нанопокрытия и
улучшить адгезию покрытия с подложкой, расширить
компонентный состав покрытия. Способ состоит в
плазменном распылении наносимого вещества на подложку в
вакуумной камере. На подложку осаждают наночастицы,
полученные при испарении мишени в плазме импульсного
сильноточного разряда, пинчующейся под действием
собственного магнитного поля. Мишень формируют из
свободно падающего мелкодисперсного порошка, который
подают в зону испарения из резервуара, расположенного вне
вакуумной камеры. Устройство состоит из вакуумной камеры,
анода и катода, разделенных изолятором, источника питания,
держателя подложек.
86
Вакуумная камера выполнена симметричной относительно
вертикальной оси, а вне вакуумной камеры по ее оси установлен
резервуар с мелкодисперсным порошком, соединенный с
вакуумной камерой пролетной трубой, в верхней части которой
расположен электромагнитный затвор, а в нижней - вакуумный
затвор.
Изобретение относится к плазменным способам и устройствам
получения нанопокрытий из различных материалов, в частности
пленок из окислов, карбидов и других соединений, которые
могут использоваться для модификации материалов для
повышения их эксплуатационных характеристик, разработки
новых высокоэффективных каталитических систем и
применяться в различных отраслях промышленности -
радиоэлектронной, авиационной, энергетике и др.
Известны различные способы и устройства для получения
нанопорошков и нанесения нанопокрытий физическими
методами: газоплазменный метод, ионно-плазменное напыление,
катодное напыление, электродуговой метод, метод реактивного
магнетронного распыления, детонационное напыление и
лазерная наплавка и другие.
87
В плазменном методе источником высокой температуры
обычно является плазменная струя, которая образуется в
специальных горелках (плазмотронах). При возбуждении дуги
между катодом и анодом (соплом) происходит ионизация газа
и образование плазменной струи. Скорость истечения
ионизированного газа из сопла плазмотрона составляет ~300
м/сек при температуре ~1 эВ. Напыляемый материал в виде
порошка вводится в струю плазмы при помощи
транспортирующего газа (аргона) и устройства дозированной
подачи порошка-дозатора. Скорость частиц напыляемого
материала в струе при подлете к напыляемой поверхности
составляет ≤100 м/сек.
В настоящее время широко ведутся работы по получению
наноструктурированных покрытий с помощью магнетронного
распыления (заявка US №20070209927), импульсных
источников плазмы (US №2005011748). Также защищаются
различные устройства для создания плазменных потоков,
например, эрозионной плазмы, для получения тонких пленок
(патенты РФ №№950167, 1116967).
88
Известны патенты, в которых описаны различного вида
источники плазмы, в которые с различными целями вводят
порошкообразные материалы. Так известен патент РФ
№2197556, в котором для упрочнения поверхности легирующие
добавки в виде порошка вводят в камеру импульсного источника
плазмы. В патенте США №5593740 в установку типа «плазменная
дуга» вводят с определенной скоростью порошок металла. В
патенте РФ №2195745 предложен плазменный генератор, в
камеру которого вводят массив порошкообразных частиц,
претерпевающих термохимические превращения,
увеличивающие энергию светового излучения.
Ведутся также работы по изготовлению катализаторов в виде
наноструктурированных тонких пленок, получаемых
различными методами, например осаждением из газовой фазы,
патент РФ №2233791. Из плазменных методов получения
катализаторов можно отметить решение, защищенное в патенте
РФ №2205787 «Способ изготовления катализатора на ленточном
металлическом носителе», в котором получают
наноструктурированный многослойный катализатор путем
плазменного напыления с помощью плазмотрона.
89
Близким к заявляемому является также решение, защищенное
патентом РФ №2180160 «Способ получения фракталоподобных
структур и устройство для его осуществления», в котором
предложена технология получения наноструктурированных
покрытий из различных материалов с использованием импульсного
плазменного разряда.
Основной недостаток описанных выше методов заключается в
низкой энергии частиц, наносимых на подложку, и, соответственно,
слабой адгезии. Как уже отмечалось выше, температура плазмы в
используемых методах составляет от долей до единиц
электронвольт, а скорость осаждаемых частиц не превышает сотни
метров в секунду.
Возможность получения наноструктур в плазмофокусном разряде
показана в патенте Японии №6279978, в котором использовано
термическое распыление материала анода с помощью плазменного
фокуса. Известен способ получения нанопокрытия из хрома при
распылении материала анода (М. Chemyshova et al., Czechoslovak
Journal of Physics, Vol.56 (2006), Suppl. В, 237). Отмечалось также
кумулятивное образование облака из наночастиц ванадия при
облучении ванадиевой мишени плазменными потоками,
формируемыми в плазменном фокусе (Л.И.Иванов и др.,
Перспективные материалы, 2004, №3, 31).
90
Наиболее близкими к заявляемым являются способ нанесения
нанопокрытий в установке типа «плазменный фокус» и устройство для его
осуществления (T.Zhang et al., J.Phys. D: Appl.Phys. 39, (2006), 2212).
Способ нанесения нанопокрытия заключается в распылении материала
анода плазменными потоками и электронным пучком, образующимися в
пинче, и осаждении наночастиц этого материала на кремниевые подложки,
расположенные под разными углами на расстоянии 120 мм от торца анода.
В качестве устройства используется установка типа «плазменный фокус»,
состоящая из двух коаксиальных электродов - анода и катода, разделенных
изолятором, вакуумной разрядной камеры и источника питания. В торец
центрального электрода - анода впрессовывается вставка из распыляемого
материала, в данном случае из Fe-Co.
В результате получены нанопокрытия из Fe-Co, обладающие магнитными
свойствами. Основными преимуществами здесь являются возможность
нанесения покрытий в различных активных газовых средах, высокая
скорость осаждения, более высокая энергия осаждаемых наночастиц по
сравнению, например, с плазмотронами.
91
По имеющимся литературным данным, скорость поступления в
камеру испаренного материала анода в плазмофокусном разряде
составляет 103-104 м/с. Однако при таком подходе элементный
состав нанопокрытий, наносимых на подложки, определяется
только материалом анода. Это заметно сужает диапазон
элементного состава наносимых покрытий, а также затрудняет
нанесение комбинированных и составных покрытий. Кроме того,
процесс испарения материала анода носит взрывной характер и
трудно поддается регулировке.
Техническим результатом, на которое направлено изобретение,
является управляемое повышение энергии наносимых частиц
материала нанопокрытия и улучшение адгезии покрытия с
подложкой, расширение компонентного состава покрытия,
возможность нанесения сложных композитных покрытий.
Для этого предложены способ и устройство нанесения
нанопокрытий.
Способ нанесения нанопокрытий состоит в плазменном распылении
наносимого вещества на подложку в вакуумной камере, при этом на
подложку осаждают наночастицы, полученные при испарении в
плазме импульсного сильноточного разряда, пинчующегося под
действием собственного магнитного поля, мишени,
представляющей собой свободно падающий мелкодисперсный
92 порошок.
При этом мишень из мелкодисперсного порошка формируют, подавая
его в зону испарения из резервуара, расположенного вне вакуумной
камеры.
Параметры мишени регулируют путем изменения времени задержки
между открытием резервуара и началом импульсного сильноточного
разряда.
Кроме того, длительность открытия резервуара должна быть меньше
времени пролета мелкодисперсной фракции порошка до зоны
испарения.
Нанесение нанопокрытия проводят при заполнении вакуумной камеры
сильноизлучающим газом с большим порядковым номером.
Устройство для нанесения нанопокрытий вышеуказанным способом
состоит из вакуумной камеры, анода и катода, разделенных изолятором,
источника питания, подложек, установленных вблизи анода, при этом
вакуумная камера выполнена симметричной относительно
вертикальной оси, а вне вакуумной камеры по ее оси установлен
резервуар с мелкодисперсным порошком, соединенный с вакуумной
камерой пролетной трубой, в верхней части которой расположен
93 электромагнитный затвор, а в нижней - вакуумный затвор.
Корпус вакуумной камеры и катод могут быть выполнены в виде одного
конструктивного элемента.
Центральная часть анода может быть выполнена сменной.
Кроме того, поверхность центральной части анода может быть выполнена с
углублением.
Кроме того, поверхность центральной части анода может быть выполнена
плоской.
Таким образом, при попадании мелкодисперсного порошка в вакуумную
камеру формируется подвижная мишень из микрочастиц этого порошка.
Под действием сначала излучения сжимающейся токовой оболочки, а после
схождения оболочки на мишень - и непосредственно высокотемпературной
плазмы оболочки, частицы мишени микронного и субмикронного размера
испаряются. Затем продукты испарения ионизуются и сжимаются
собственным магнитным полем тока, протекающего через плазму. В
результате пинчевания повышается плотность плазмы, а ее температура
увеличивается до величины от сотен электронвольт до нескольких кэВ.
После распада пинча плазма расширяется с тепловой скоростью, вещество
испарившегося порошка конденсируется и оседает на подложках в виде
фрактальных наноструктур с развитой активной поверхностью.
94
Поскольку трансформация микрочастиц происходит как под
действием мощного излучения плазмы сжимающейся токовой
оболочки, так и под воздействием непосредственно
высокотемпературной плазмы пинча, это приводит к значительному
росту эффективности образования наноструктур, высокой энергии
образующихся наночастиц и обеспечивает практически
неограниченный набор возможного компонентного состава
наночастиц. Так как энергия наносимых частиц определяется
температурой и плотностью пинчевой плазмы, параметры
наноструктурных покрытий можно регулировать, изменяя
параметры разряда (разрядный ток, давление и вид газа,
заполняющего вакуумную камеру) и порошковой мишени (диаметр
мишени, размер и состав частиц).
При этом сохраняется возможность комплексного подхода к
образованию наноструктур. При одновременном воздействии на
анод возникающих в разряде мощных электронных пучков и
кумулятивных плазменных потоков на подложку наносятся также и
частицы материала анода, аналогично прототипу. Центральная часть
95 анода имеет сменную вставку, что позволяет регулировать
поступление в объем паров материала анода.
В случае вставки с углублением поступление паров минимизируется
и состав наносимого покрытия определяется в основном
материалом порошковой мишени. В случае плоской анодной вставки
происходит интенсивное испарение материала вставки. Путем
изменения материала вставки и элементного состава исходного
порошка можно наносить сложные по составу покрытия.
На фигуре 1 приведен пример исполнения предлагаемого
устройства, где 1 - анод; 2 - вакуумная камера-катод; 3 - изолятор; 4 -
сменная анодная вставка; 5 - токово-плазменная оболочка; 6 - пинч;
7 - мишень из мелкодисперсного порошка; 8 - вакуумный затвор; 9 -
пролетная труба; 10 - резервуар с мелкодисперсным порошком; 11 -
электромагнитный затвор; 12 - устройство ввода подложки; 13 -
держатель подложек, 14 - источник питания, 15 - блок управления.
На фигуре 2 показана динамика изменения формы мишени из
мелкодисперсного порошка оксида алюминия, формируемой вблизи
поверхности анода в вакуумной камере при заполнении ее неоном
при давлении 1.5 Торр.
96
97
98
99
Фотографии получены через различные промежутки времени
относительно открытия резервуара с порошком 10 (временная
задержка указана непосредственно на кадрах). Экспозиция 1-6 кадров -
10 мс, экспозиция 20-28 кадра - 100 мс, большое деление
пространственной шкалы 1 см. Наиболее крупные частицы порошка
пролетают всю высоту падения со скоростью свободного падения за
0.375 с. Мелкие фракции тормозятся в газе тем сильнее, чем они мельче.
Т.е. в процессе падения порошок эффективно разделяется на фракции.
Этим способом мы смогли существенно улучшить однородность состава
порошка по размерам частиц и контролируемо выбирать нужные
размеры частиц в момент взаимодействия с плазмой пинча.
Времена падения и скорости частиц вблизи анода можно оценить по
формулам:
h=g*t/k+g*(e-k*t-1)/k2
ν=g*(1-e-k*t)/k
k=100*p/r
где h - высота падения частиц (в данном случае 70 см), g - ускорение
свободного падения (980 см/с), t - время падения (секунды), ν - скорость
в конце падения (см/с), р - давление наполняющего газа (Торр), r -
радиус частицы в микронах. Конкретные расчеты для некоторых
размеров частиц оксида алюминия в случае заполнения вакуумной
камерой неоном при давлении 1.5 Торр приведены в таблице.
100
Время падения (сек)
0,8; 1,1; 2,0; 3,3; 5; 10
Радиус частицы (мкм)
15; 10; 5; 3; 2; 1
Скорость вблизи поверхности анода (см/с)
100; 67; 33; 20; 13: 7
Поскольку длина треков на фигуре 2 зависит от скорости частицы и
длительности экспозиции, видно, что скорость регистрируемых частиц
действительно уменьшается со временем. Уже через 4 секунды после
открытия источника длина треков короче области регистрации даже при
экспозиции всего 10 мс. Скорость частиц и, соответственно, их размеры в
дальнейшем продолжают уменьшаться с увеличением времени задержки.
Предлагаемый способ нанесения нанопокрытий заключается в испарении и
ионизации сформированной на вертикальной оси устройства мишени из
мелкодисперсного порошка 7 под воздействием излучения сжимающейся
токово-плазменной оболочки 5 и последующем дожатии вещества мишени
до высоких плотностей и нагрева до высоких температур в результате
пинчевания.
101
Выполненные измерения электронной температуры плазмы оболочки дают
значения 6-7 эВ при плотности плазмы более 1017 см-3. Оценки показывают,
что данной температуры при разряде в неоне достаточно для полного
испарения частиц оксида алюминия в несколько микрон еще на стадии
радиального движения плазменной оболочки к оси. Дальнейшее испарение
и ионизация вещества порошка происходит уже при непосредственном
контакте с плазмой оболочки.
На фигуре 3 приведена фотография пинча 6 в рентгеновском излучении,
полученная с помощью камеры обскуры с диафрагмой 200 мкм, закрытой
фильтром из Be толщиной 17 мкм. Эта фотография свидетельствует о
сжатии пинча 6 до диаметра менее 1 см и нагреве до температуры в
несколько сот электронвольт. После разрушения пинча напыляемое
вещество разлетается с тепловыми скоростями и конденсируется на
подложке. Высокая температура, достигаемая в пинче, обеспечивает
большую скорость разлета, и соответственно, хорошую адгезию покрытия с
подложкой. В частности, для иона алюминия при температуре плазмы всего
100 эВ тепловая скорость разлета составит более 3·104 м/с, что выше
скоростей разлета паров материала анода в плазмофокусном разряде (≤104
м/с) и более чем на порядок превышает скорость, достигаемую, например, в
плазмотронах. При температуре 1 кэВ эта скорость разлета может достигать
~105 м/с.
102
Для целей контрольных экспериментов был изготовлен держатель
подложек 13 со сменными фольгами, на которые напылялся порошок
мишени 7. Держатель вводился в разрядную камеру под углом 60° к оси
системы на расстояние 130 мм от области пинчевания тока и
ориентировался таким образом, чтобы подложка «ц» на торце держателя
смотрела непосредственно на область пинча. Остальные подложки
располагались перпендикулярно к торцевой подложке на боковой
поверхности держателя.
В первом контрольном эксперименте исследовалась структура подложки в
разряде без порошка. Пример структуры на торцевой подложке «ц» показан
на фигуре 4. Поверхность представляет собой ячеистую структуру с
характерным размером ячеек ~100-200 мкм и монотонным изменением
рельефа. На масштабах же нескольких десятков микрон рельеф был
достаточно однородным.
Проведено три группы экспериментов с порошком. В первой группе разряд
включался одновременно с открытием затвора, когда поток частиц был
максимальным. И, соответственно, удельный энерговклад на одну частицу
минимальный. В таких разрядах на поверхности подложек были
обнаружены частицы с размером ~200 нм с достаточно большой
поверхностной плотностью 2-4 частицы/мкм2, а также круглые капли с
гладкой поверхностью и размером 0.5-1 мкм (капли расплава).
103
Во второй группе экспериментов разряд включался через 1 с после
открытия клапана (промежуточный уровень удельного энерговклада на
частицу). Поверхность подложек покрыта полностью также 200-нм
кластерами. При этом поверхностная плотность кластеров была гораздо
выше - около 20 частиц/мкм2. Это соответствует почти полной упаковке
поверхности кластерами. Также подложка была покрыта каплями расплава с
гладкой поверхностью и средним размером ~1 мкм. Поверхностная
плотность таких капель ~1 капля/5 мкм2.
В третьей группе (Эксперимент №3 см. фиг.5-11) разряд включался на 3
секунде после открытия клапана. Поток частиц наиболее однородный.
Энерговклад на одну частицу максимальный в проведенной серии. Это
увеличение удельного энерговклада привело к тому, что на размерах
порядка десятков микрон морфология поверхности напыленной пленки
коренным образом изменилась. На поверхности подложки «ц» образовались
области (домены) с четко очерченными границами (фигура 5).
Внутренность доменов разбита на ячейки с характерным размером 1-2 мкм
(фигура 6). При этом на поверхности подложек не обнаружено капель с
гладкой поверхностью, которые можно было идентифицировать как капли
расплава. На краю доменов кластеры имели вид снежинок или фрактальных
кластеров (фигуры 7, 8).
104
Другим видом структур, которые обнаружились на поверхности подложки
«ц» в эксперименте №3, явились домены из упорядоченных кластеров,
ориентированных в определенном направлении (фигура 9). Как правило,
они возникали внутри области с резко очерченными границами. Размер
доменов составлял около 5 мкм. Внутри домена xарактерный шаг решетки
составлял 0.5 мкм. Поверхностная плотность кластеров составляла 6
кластеров/мкм2.
Третьим типом структур, полученных в эксперименте №3, являются
частицы круглой формы с диаметром около 1 мкм на поверхности боковых
подложек, агломерированные из частиц меньшего размера ~200 нм
(фигуры 10, 11). Поверхностная плотность таких частиц составляет ~1
частица/10 мкм2.
Таким образом, при инжекции порошка в разряд во всех экспериментах
исходные частицы порошка мишени перерабатывалась в частицы с
меньшим размером, т.е. в нано- и микрочастицы, из которых
образовывались покрытия в виде пленки на подложках. В основном размер
частиц составлял 200 нм, что может указывать на единый механизм
образования таких частиц - например, из пересыщенного пара на
поверхности подложки. В то же время показано, что, изменяя удельный
энерговклад на частицу порошка, можно получать различные типы
покрытий.
105
Большая энергия частиц пересыщенного пара на поверхности подложки
приводит к образованию дендритных структур на поверхности пленок.
Такие структуры имеют очень развитую поверхность, что крайне важно
для различных технологических применений. Учитывая, что в
энергонапряженном плазменном фокусе нет ограничений на
диспергирование порошка из любого материала, особенно важным
может быть получение пористых покрытий из нанокластеров для целей
катализа.
В описанных выше экспериментах центральная анодная вставка была
выполнена в виде углубления. При этом пары материала анода (медь в
нашем случае) практически не попадали на подложку, и состав
покрытия определялся только веществом распыляемого порошка. При
необходимости нанесения покрытий более сложного элементного
состава вставка с углублением должна быть заменена вставкой с
плоской поверхностью. В этом случае вещество материала анода тоже
будет участвовать в образовании пленки на поверхности подложки.
1. Способ нанесения нанопокрытий, включающий осаждение на
подложку наночастиц наносимого вещества плазменным распылением
в вакуумной камере, заполненной рабочим газом, отличающийся тем,
что наночастицы получают путем испарения мишени из наносимого
вещества в плазме импульсного сильноточного разряда, пинчующегося
под действием собственного магнитного поля, при этом мишень
формируют путем подачи в зону испарения свободно падающего
мелкодисперсного порошка.
106
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень из
мелкодисперсного порошка формируют, подавая его в зону
испарения из резервуара, расположенного вне вакуумной камеры.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что параметры мишени
регулируют путем изменения времени задержки между открытием
резервуара и началом импульсного сильноточного разряда.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что длительность открытия
резервуара меньше времени пролета мелкодисперсной фракции
порошка до зоны испарения.
5. Устройство для нанесения нанопокрытий, состоящее из
вакуумной камеры, анода и катода, разделенных изолятором,
источника питания и держателя для закрепления на нем подложек,
отличающееся тем, что вакуумная камера выполнена симметричной
относительно вертикальной оси, а вне вакуумной камеры по ее оси
установлен резервуар с мелкодисперсным порошком, соединенный с
вакуумной камерой пролетной трубой, в верхней части которой
расположен электромагнитный затвор, а в нижней - вакуумный
затвор
107
Технологии нанесения тонкопленочных износостойких
покрытий
За рубежом в качестве основных технологий нанесения
тонкопленочных износостойких покрытий используются процессы
химического CVD (chemical vapor deposition) и физического PVD (physical
vapor deposition) осаждения покрытий из газовой фазы.
В общем случае термин «осаждение покрытий из газовой фазы» (vapor
deposition) определяется как конденсация газообразных
(парообразных) элементов или их соединений с образованием твердого
покрытия. При этом основное отличие процессов PVD от CVD состоит в
том, что в технологиях PVD исходные твердые материалы за счет
испарения или распыления переводятся в газовую (паровую) фазу,
которая имеет тот же состав, что и покрытие, а сам процесс
осуществляется только при низком давлении. При CVDпроцессах в
качестве исходных материалов используются различные газы, а состав
газовой фазы и состав покрытия существенно различаются, процессы в
большинстве случаев проводятся при атмосферном давлении и только в
отдельных случаях – в вакууме. Летучее соединение осаждаемого
элемента подается к подложке, где подвергается термическому
разложению (пиролизу) или вступает в восстановительные химические
реакции с другими газами (или парами). При этом нелетучие продукты
реакций осаждаются на поверхность подложки, а летучие ─
утилизируются.
108
В России разработка технологии и оборудования для нанесения
износостойких покрытий методом CVD проводилась во ФГУП «ВНИИТС» в
80х годах прошлого столетия. Предложения по изготовлению и поставке
российских установок для нанесения износостойких покрытий методом CVD
в настоящий момент отсутствуют. За рубежом оборудование для
CVDпроцессов выпускается, например, фирмами: RICHTER PRECISION, INC.
(США), TICOATING, INC. (США), HITECH FURNACE SYSTEMS, INC. (США),
RÜBIG & Co KG GmbH (Германия), для процессов PACVD – PLATEG GmbH
(Германия), IONBOND AG OLTEN (Швейцария), OC OERLIKON BALZERS AG
(Лихтенштейн), KOLZER (Италия) и др.
Для нанесения износостойких покрытий методами PVD в России
разработано оборудование, которое выпускается: ОАО «СИБЭЛЕКТРОТЕРМ»,
ОАО «ВНИИИНСТРУМЕНТ», ОАО «ЦНИИТМАШ», ООО НПФ «ЭЛАНПРАКТИК»,
ЗАО «ВАКУУМНОПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ», ООО «ЭСТОВАКУУМ», МГТУ
«СТАНКИН» и др. Данное оборудование реализует процессы термического
испарения и ионного распыления материалов, где используются тлеющие и
дуговые разряды в вакууме.
109
За рубежом оборудование для нанесения износостойких покрытий
методами PVD выпускается: VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
(Германия), SULZER METAPLAS GmbH (Германия), IONBOND AG OLTEN
(Швейцария), PLATIT AG (Швейцария), HAUZER TECHNO COATING
(Нидерланды), OC OERLIKON BALZERS AG (Лихтенштейн) и др.
В последнее время в России наблюдается тенденция к внедрению
оборудования для PVD и CVD процессов. Так, ОАО «Кировоградский
завод твердых сплавов» в 2007 г. приобрело две установки: Platit – для
нанесения PVD покрытий и Bernex BPX Pro 530L – для нанесения CVD
покрытий. В Рыбинске при поддержке ГК РОСНАНО организовано
производство твердосплавного инструмента с наноструктурированным
покрытием, наносимым методом PVD на основе тугоплавких
соединений при применении оборудования, разработанного ФГУП РНЦ
«Курчатовский институт». В Москве, Туле и Электростали организованы
центры по нанесению тонкопленочных функциональных покрытий с
использованием импортного оборудования ведущих мировых фирм,
таких как PLATIT AG (Швейцария), VACOTEC SA (Швейцария), Oerlikon
Balzers AG (Лихтенштейн). Важно отметить, что для поддержания
функциональных свойств сложного импортного оборудования для PVD
и CVD обязательным становится приобретение дорогостоящих
зарубежных материалов, реагентов, комплектующих, изнашиваемых
элементов, обслуживание по главным проблемам иностранными
специалистами.
110
Для российского менталитета более рационально использовать на
предприятиях безвакуумное, малогабаритное, недорогое и простое в
обслуживании оборудование.
В соответствии с этой концепцией в России разработаны два новых
метода безвакуумного нанесения тонкопленочных износостойких
покрытий на режущий инструмент, а именно: высокочастотное
плазменное напыление кремнийсодержащего покрытия [1]; финишное
плазменное упрочнение (ФПУ) путем нанесения покрытий на основе
тугоплавких соединений кремния [2].
Для реализации первого метода в настоящее время ОАО «ВНИИТВЧ»
выпускает две установки – ПЛАЗМА401 и ПЛАЗМА403. К недостаткам
данного оборудования относятся: сложность технологических процессов и
аппаратуры, значительные габариты, высокое энергопотребление,
трудности автоматизации технологии и др.
На втором хотелось бы остановиться более подробно. При ФПУ
упрочняющее нанопокрытие толщиной 10…200 нм наносится без
использования вакуума при атмосферном давлении из низкотемпературной
плазмы электродугового плазмотрона с реактором плазмохимических
реакций.
111
Локальная плазменная струя, содержащая необходимые
элементы с оптимальными параметрами, перемещается вдоль
обрабатываемой поверхности по заданной программе,
обеспечивая формирование непосредственно на упрочняемой
поверхности нанопокрытия требуемой толщины. Отклонение
толщины покрытия от заданной, как правило, не превышает
10% и обеспечивается постоянством технологических
параметров при автоматизированном поддержании заданных
характеристик процесса и соблюдением параметров
перемещения плазмотрона с плазмохимическим генератором
относительно изделия. Принципиально данная технология
относится к плазмохимическим процессам химического
осаждения покрытий из газовой фазы. Если в традиционных
CVD процессах с плазменной активизацией в основном
используются высокочастотные или дуговые плазменные
разряды, горящие при низком давлении, то в процессе ФПУ
применяется дуговой разряд при атмосферном давлении.
112
Рис. 1 Микрорельеф поверхности до (а) и после (б) безвакуумного
плазменного нанесения нанопокрытия (х5000)
Субмикрорельеф рабочих поверхностей образцов (рис. 1) показал
высокооднородную характерную топографию, присущую поверхностям
после ФПУ (в то время как субмикрорельеф поверхностей до нанесения
покрытия имеет явно выраженные многообразные следы – риски и
дефекты от предшествующей абразивной обработки). Изменение
топографии поверхности является подтверждением того, что покрытие
осаждается на микродефектах поверхности, залечивая тем самым
дефектные зоны, образованные при предшествующей шлифовальной
операции.
113
Новая технология является высокоэффективной при сроке
окупаемости затрат на внедрение менее 1 года.
Значительным преимуществом новой безвакуумной технологии
плазменного нанесения упрочняющего нанопокрытия является
простота и минимальное время предварительной подготовки
обрабатываемых поверхностей
0
– только обезжиривание и подогрев
до температуры 50100 С. Условия формирования покрытия
характеризуются также повышенной адгезией нанопокрытия к
основе за счет активных хемосорбционных процессов и диффузии
элементов основы в покрытие. Это подтверждается проведенными
исследованиями адгезионных свойств, например, покрытия на
основе соединений кремния с использованием склерометрического
метода. Испытанию подвергались образцы из термообработанной
стали Р6М5 с покрытием, нанесенным безвакуумным плазменным
методом, и покрытием нитрида титана, нанесенным
ионноплазменным напылением в вакууме. В качестве индентора 0
применялся алмазный конус Роквелла с углом при вершине 120 ,
передвигаемый по поверхности покрытий со скоростью 3 см/мин.
Вертикальная нагрузка на индентор увеличивалась до тех пор, пока
не достигалась ее критическая величина, при которой покрытие
отслаивалось от подложки. Данную критическую нагрузку
определяли, исследуя полученные царапины под
металлографическим микроскопом.
114
В результате данных исследований выявлено, что критическая нагрузка,
при которой появлялись первые сколы и отслоение покрытия из нитрида
титана, составляла 35 Н, а для покрытий, нанесенных безвакуумным
плазменным методом ФПУ, – 65 Н.
При плазменном безвакуумном нанесении упрочняющего нанопокрытия
осуществляется перевод жидких технологических препаратов в
парообразное состояние и их перенос в плазму дугового разряда.
Образуемые продукты плазмохимических реакций, конденсируясь на
поверхности подложки, образуют прочно сцепленную с основой пленку
покрытия. Процессы конденсации, предшествующие адгезии,
непосредственно влияют на величину адгезионной прочности. Для
усиления адгезии покрытия0
может использоваться предварительный
подогрев подложки до 100 С, обеспечивающий испарение молекул воды с ее
поверхности.
Получаемые в процессе безвакуумного плазменного нанесения
нанопокрытия обладают уникальными свойствами: имеют высокую
адгезию к подложке, минимальное контактное схватывание при
взаимодействии с материалом контртела, обладают высокой
жаростойкостью, являются диэлектриком, обеспечивают низкий
коэффициент трения (порядка 0,07 по стали ШХ15) и высокую
микротвердость (порядка 34 ГПа).
115
Изделия с нанесенным нанопокрытием обеспечивают при
низкой себестоимости технологии многократное повышение
долговечности (до 10 раз), повышение надежности и качества
за счет комплекса физикомеханических свойств поверхности,
а именно: улучшения параметров шероховатости, создания в
подпленочной зоне остаточных сжимающих напряжений,
возможностиь нанесения наноразмерного износостойкого
покрытия на детали из сталей с низкой температурой отпуска,
деталей в сборе, паяных изделий, деталей из разнородных
материалов, имеющих любые габариты, обладающих
повышенной газопроницаемостью и др.
При реализации разработанной технологии используется
малогабаритное оборудование с низким потреблением
электроэнергии и расходных материалов (рис. 2).
116
Рис. 2 Установка для финишного плазменного упрочнения
117
Сравнительные характеристики основных методов нанесения
тонкопленочных износостойких покрытий
Характеристика Метод нанесения покрытия
CVD PVD ФПУ
Характер Прерывистый (с обязательными Непрерывный

непрерывности остановками на загрузку
режима осаждения (выгрузку), охлаждение и чистку
покрытия камеры)
Рабочее давление Атмосферное (для Вакуум Атмосферное

при нанесении CVD) или вакуум
покрытия на (для PЕCVD)
инструмент
Температура 7001100 (при 200500 100120

инструмента при CVDпроцессах);
нанесении 400500 (при PЕCVD
118
покрытия, °С процессах)
CVD PVD ФПУ
Зона поверхности Все поверхности При неподвижном Покрытие может
инструмента, на инструмента, в том инструменте – быть нанесено на
которую числе внутренние с только зона, любые локальные
наносится внешним доступом непосредственно зоны, в том числе и
покрытие обращенная к внутренние с
источнику ионов, внешним доступом
при вращении вся
рабочая
поверхность, кроме
закрытых
внутренних зон
Максимальные Габариты Габариты Без ограничений
габариты и форма ограничены ограничены
обрабатываемого размерами размерами
инструмента реакционных и вакуумных камер
вакуумных камер.
Возможно
нанесение на
разнотипный
119 инструмент
CVD PVD ФПУ
Исходный Нельзя наносить Нельзя наносить Без ограничений
материал покрытия на покрытия на
инструмента инструмент с инструмент с
низкой низкой
температурой температурой
отпуска (например, отпуска (например,
из стали У10, из стали У10),
быстрорежущей паяный инструмент
стали при
CVDпроцессе)
Предварительная Многооперационна Тщательная Достаточным
подготовка я подготовка многооперационна является
инструмента (обезжиривание, я подготовка обезжиривание и
виброабразивная (мойка, сушка, подогрев до 6080°С
обработка, обезвоживание,
ультразвуковая подогрев)
мойка, промывка,
сушка,
обезвоживание)
120
CVD PVD ФПУ
Толщина 210 (покрытия 0,16 (покрытия 0,01 2
наносимого увеличивают толщиной 36 мкм
покрытия, мкм радиус скругления увеличивают
режущей кромки) радиус скругления
режущей кромки)
Состав наносимого TiC, TiN, TiCN, Al2O3 TiN, TiC, TiCN, На основе
покрытия TiAlN, ZrC, HfN, соединений
HfC, CrN, Al2O3 и кремния и бора
др.
Микротвердость 2024 2135 до 34
наносимого
покрытия, ГПа
Коэффициент 0,40,6 0,10,5 0,070,15
трения
Температура 400600 4001100 1100
окисления, °С
121
CVD PVD ФПУ
Остаточные Высокие Растягивающие Сжимающие
напряжения в растягивающие
поверхностном
слое металла
Термическая Требуется Не требуется Не требуется
обработка после дополнительная
нанесения термическая
покрытия обработка для
снятия остаточных
напряжений
Расходные Дорогостоящие Дорогостоящие Доступные и
материалы высокочистые катоды (мишени) дешевые
химические вакуумного материалы:
материалы переплава аргон, жидкий
Сетол (расход при
односменной
работе 0,5 л/год)
122
CVD PVD ФПУ
Объем камеры, мм Ø325х1250 (Bernex Ш 400, Г 380, В 520 Процесс
BPX 325S); (PLATIT PL70); Ø400 осуществляется
Ø530х1250 (Bernex UNICOAT 600 без применения
BPX Pro 530L) («ЭЛАНПРАКТИК»); камер
Ø600, Н 600 (ННВ
6,6И1)
Максимальная По твердосплавным Осевой инструмент Не
загрузка, кг пластинам – 200 кг Ø10х70 162 шт., ограничивается
(установка Bernex червячные фрезы
BPX 325S); 400 кг Ø80х180 6 шт.,
(установка Bernex пластины Ø20х6
BPX Pro 530L) 1248 шт. (установка
PLATIT PL70).
Осевой инструмент
Ø20х60 108 шт.,
червячная фреза
Ø80х80 32 шт.
(установка UNICOAT
600
(«ЭЛАНПРАКТИК»).
123
CVD PVD ФПУ
Типичное время 35 час. Для PLATIT PL70 От 3 сек. до 20 мин
цикла откачка+нагрев 50
мин,
очистка+травление
1020 мин, осаждение (2
мкм) 1,5ч, охлаждение
(в Не) 2030 мин.
Для UNICOAT 600
(«ЭЛАНПРАКТИК»)
откачка 25 мин.,
очистка 20 мин.,
осаждение (3 мкм) 120
мин., охлаждение 15
мин.
Производительнос 35 час. на 3,25 час. на 162 шт. От 15 до 200 мм2/с
ть загрузку Ø10х70; упрочняемой
6 ч. на 6 шт. червячных поверхности
фрез Ø80х180; 3 ч на
1248 шт. пластин Ø20х6
(PLATIT PL70)
124
CVD PVD ФПУ
Экологические Токсичность Необходимость Использование
проблемы используемых постоянной местной вытяжной
реагентов, вытяжки, вентиляции при
взрывоопасность обеспечивающей профилактике
отсутствие паров плазмохимического
масла в рабочих реактора
помещениях и
местной вытяжной
вентиляции,
включаемой при
открытии
вакуумной камеры
и выгрузке
инструмента
Потребляемая 2040 30 (UNICOAT 600); 5
мощность 60 (ННВ 6,6И1); 40
установки, кВт (Станкин АПП950)
60 (Станкин
АПП1600); 15
(PLATIT PL70)
125
CVD PVD ФПУ
Масса, кг 2000 600 (UNICOAT 600); 110
1200 (PLATIT PL70);
2000 (Станкин
АПП950); 3200
(Станкин АПП1600)
Минимальная 100150 (под 100150 (под 15
площадь участка напыление), напыление),
для реализации 100150 (для 100150 (для
процесса, м2 подготовки подготовки
инструмента) инструмента)
Обслуживающий Оператор Оператор установок Оператор, рабочий
персонал установок вакуумного для подготовки
вакуумного напыления (PECVD), инструмента
напыления вакуумщик, электрик,
(PECVD), электронщик,
вакуумщик, рабочие для
электрик, подготовки
электронщик, инструмента
рабочие для
126 подготовки
инструмента

Metody Poluchenija Nanostrukturirovannyh Pokrytij V Mashinostroenii

Загружено:

Сведения о документе

Оригинальное название

Авторское право

Доступные форматы

Поделиться этим документом

Поделиться или встроить документ

Параметры публикации

Этот документ был вам полезен?

Это неприемлемый материал?

Авторское право:

Доступные форматы

Metody Poluchenija Nanostrukturirovannyh Pokrytij V Mashinostroenii

Загружено:

Авторское право:

Доступные форматы

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

Методы получения наноструктурированных

Презентация курса лекций

Классификация процессов нанесения металлических покрытий

Горячее погружение в расплав – один из самых старых методов

Наплавка осуществляется сплавлением осаждаемого материала с

Электролитическое нанесение покрытий из сплавов Ni – P и Ni – B

Ионная имплантация предусматривает ионизацию атомов с

Механическое нанесение покрытий используют для получения

Скорость коррозии оцинкованных труб в 3 – 4 раза ниже,

Для стальных деталей с алюминиевым покрытием характерно

Покрытие оловом производят методами погружения в расплав и

При плакировании происходит послойное соединение стали с одним или

В качестве материала для плакирования низколегированных сталей

Ранее отмечалось, что в основе технологии напыления металлических

Полиолефиновые покрытия. К наиболее распространенным

3.1.Органические полимерные покрытия

Пентапласт обладает высокой водостойкостью, прочностью, низким

3.1.Органические полимерные покрытия

Кремнийорганические полимеры отличаются многими ценными

На основе эпоксидных смол изготовляют лакокрасочные материалы,

Лакокрасочные материалы – это составы, наносимые на

Системой лакокрасочного покрытия называют сочетание слоев

Рисунок Схема системы

Все лакокрасочные материалы по своему виду (грунтовки, эмали, краски, лаки) в

Грунтовки – это пигментированные растворы пленкообразователей в

Эмали (покрывные слои) – это пигментированные и наполненные лаки,

Пигменты – это тонкоизмельченные цветные природные и

Пластификаторы – это низколетучие растворители,

Одним из рациональных способов повышения износостойкости покрытий

В ряде случаев применяются:

Различают следующие виды механической обработки,

Для обезжиривания часто применяют органические растворители, например

Наиболее широко используются химические и электрохимические методы

Упрочняющие - с использованием ионных, ионно-плазменных источников

Защитно-декоративные и коррозионностойкие - с применением ионно-

Алмазоподобные - с использованием ионно-плазменных источников,

Вакуумная металлизация - с применением ионно-плазменных источников,

Установка позволяет наносить многослойные оптические

Вакуумная установка для нанесения покрытий на

Сочетание в оборудовании технологических источников

Изобретение относится к плазменному способу и устройству

CVD PVD ФПУ

Характер Прерывистый (с обязательными Непрерывный

Рабочее давление Атмосферное (для Вакуум Атмосферное

Температура 700­1100 (при 200500 100120

Вам также может понравиться

Температура 7001100 (при 200500 100120