ДИАГНОСТИКА ПУЧКА НА

УСТАНОВКЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ
СВАРКИ
ТЕМА ДИССЕРТАЦИИ: РАЗРАБОТКА СИСТЕМЫ КОРРЕКЦИИ АБЕРРАЦИЙ
ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА НА УСТАНОВКЕ ЭЛС С ПРЯМОНАКАЛЬНЫМ КАТОДОМ

АСПИРАНТКА: БЛОХИНА КСЕНИЯ, 2 КУРС АСПИРАНТУРЫ

НАУЧНЫЙ РУКОВОДИТЕЛЬ: СТАРОСТЕНКО АЛЕКСАНДР АНАТОЛЬЕВИЧ
СЕКТОР 5-11
УСТАНОВКА ЭЛС В ИЯФ СО РАН
• Важным параметром качества
пучка, применяемого для
электронно-лучевой сварки,
является пространственное
распределение плотности
мощности пучка.

• Цель работы: создание

устройства для измерения
распределения плотности
мощности электронного
пучка, и внедрение его в роли
подсистемы для регулярного
контроля качества пучка на
установке ЭЛС.
 СХЕМА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА
1-масляный объём, 2-высоковольтный изолятор, 3-изолятор сетки, 4-сетка, 5-катод, 6-прикатодный электрод, 7-анод, 8-откачной порт, 9-малая линза, 10-большая линза,
11-двухкоординатные магнитные корректоры, 12-электрод токооседания, 13-электрод вторичных электронов, 14-высоковольтный ввод, 15-анодный корректор.

Мишень

2 канальный 12
битный АЦП

Управляющая
программа
Пользова-
тельский
Источник питания корректоров
2 канальный 14
интерфейс
битный ЦАП
Результаты измерений
Стабилизация тока пучка запирающим
напряжением, частота 1кГц
Набор статистики (10 проходов на линию)

Сигнал зашумлён:
1) Стабилизация запирающего напряжения
высокой частотой
2) Стабилизация тока в элементах
магнитной системы
3) Высоковольтное питание регулируется
импульсным сигналом
4) Управление накалом(импульсный сигнал
с инвертора)
Для решения необходимо реорганизовать
заземление и экранировать кабели

Пространственное распределение плотности тока в пучке (I=1мА). 100 сканлиний, вращение

развёртки от 0˚(х) до 90˚(y).
Результаты измерений
Стабилизация тока пучка запирающим Без стабилизации тока(управление напряжением на
напряжением, частота 1кГц запирающем электроде напрямую)

Пространственное распределение плотности тока в пучке (I=1мА). 100 сканлиний, вращение

развёртки от 0˚(х) до 90˚(y).
Результаты измерений

Размер пучка
• 0.66х0.71мм2 (на
уровне 25% от
максимума сигнала)
• 0.48х0.46 мм2 (на
уровне 50%)

Пространственное распределение плотности тока в пучке (I=1мА). 100 сканлиний, вращение

развёртки от 0˚(х) до 90˚(y).
 Результаты измерений
Для сокращения времени получения
данных был испытан режим
сканирования с минимальным набором
статистики без стабилизации
запирающего.
В данный момент для этой цели ведутся
работы по :
• подавлению шумов (повышение
качества сигнала)
• ускорение чтения с АЦП (сокращение
времени набора данных)

Пространственное распределение плотности тока в пучке (I=1,1мА). 100 сканлиний, вращение

развёртки от 0˚(х) до 90˚(y).
Испытание прототипа устройства для
определения положения и угла
наклона пучка
Система измерения угла и положения
пучка нацелена на:
• определение точного положение пучка
Электроды
и угол пролёта в лучепроводе;
• полезна при юстировке новых
элементов пушки;
• диагностику проблем в работе оптики.
Прототип изготовлен для одной оси
магнитного корректора, медные электроды
Сигналы с электродов
2 и 3. Испытание прототипа проходило на
установке ЭЛС с током пучка 1.4 мА.
Испытание прототипа устройства для
определения положения и угла
наклона пучка
Система измерения угла и положения
пучка нацелена на:
• определение точного положение пучка
и угол пролёта в лучепроводе;
• полезна при юстировке новых
элементов пушки;
• диагностику проблем в работе оптики.
Прототип изготовлен для одной оси
магнитного корректора, медные электроды
Сигналы с одной
2 и 3. Испытание прототипа проходило на
пары электродов на
установке ЭЛС с током пучка 1.4 мА. экране осциллографа
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• введена в работу система измерения поперечного распределения
плотности тока на обрабатываемой поверхности;
• ведутся работы по подавлению шумов и ускорению чтения с АЦП;
• изготовлен и испытан прототип устройства для определения положения и
угла наклона пучка;
• запланирован эксперимент для выявления зависимости между
оптимальными параметрами магнитной оптики для пучка с током
сканирования(~1мА) и для пучка с требуемым значением тока (до 364мА)
при воздействии пучка с различными параметрами на материал.
ДОПОЛНИТЕЛЬНО: СХЕМА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА

Распределение мощности в пучке считается с учетом того, что

ускоряющее напряжение является постоянным:
𝑃 𝑥, 𝑦 = 𝐽(𝑥, 𝑦)𝑈уск
Задача сводится к измерению плотности тока:
∞
𝐼= 𝐽(𝑥, 𝑦)𝑑𝑦
−∞
Пучок сканируется по растру (250 точек на линию) и сигнал с
коллектора сохраняется для каждой точки как напряжение на
заземленном резисторе.
𝑈рез (𝑥) = 𝐼 𝑥 𝑅
Диаметр отверстия 0.1 мм в графитовой пластине. Параметры
сканирующей функции: амплитуда и угол поворота развёртки,
количество линий и число повторов(набор статистики).
ДОПОЛНИТЕЛЬНО:
ПОДБОР АНОДНОЙ ΔI(x,y)=50 мА
КОРРЕКЦИИ

ΔI(x,y)=-50 мА
ДОПОЛНИТЕЛЬНО: ДРУГИЕ ПРОЕКТЫ ПО ИЗМЕРЕНИЮ
ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА
1. Конструкция данного устройства со
щелью
• параллельное вращение щели и
развёртки
• меньше времени для получения данных о
пучке в области от 0 до π
• отказ от графита в пользу тугоплавких
металлов

Основная проблема:
трудно установить устройство под пучок
таким образом, чтобы при вращении центр
щели оставался на месте
ДОПОЛНИТЕЛЬНО: ДРУГИЕ ПРОЕКТЫ ПО ИЗМЕРЕНИЮ
ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА
3. Приёмник полного тока пучка (~200 мА)
• проверка встроенных систем измерения полного тока
• измерение временных интервалов при работе в импульсном режиме
Все необходимые измерения проведены.