Академический Документы
Профессиональный Документы
Культура Документы
И ПРИМЕНЕНИЕ
СПЛАВОВ
ТУГОПЛАВКИХ
МЕТАЛЛОВ
АКАДЕМИЯ НАУК СССР
ИНСТИТУТ МЕТАЛЛУРГИИ им. А. А. БАЙКОВА
ИССЛЕДОВАНИЕ
И ПРИМЕНЕНИЕ
СПЛАВОВ
ТУГОПЛАВКИХ
МЕТАЛЛОВ
ИЗДАТЕЛЬСТВО «НАУКА»
МОСКВА 1983
УДК 669.849
Редколлегия:
член-корреспондент АН СССР Е. М. САВИЦКИЙ (ответственный редактор),
доктор технических наук М. А. ТЫЛ КИНА (зам. ответственного редакторе),
Н. К. КАЗАНСКАЯ (ответственный секретарь)
<I
2603000000-350
042(02)-83 318-83—III © Издательство «Наука», 1983 г.
ПРЕДИСЛОВИЕ
3
физическими свойствами, проведенного в Москве в декабре 1979 г.
Естественно, что объем сборника не позволяет включить материа
лы по всем тугоплавким металлам, к которым условно относятся
металлы с температурой плавления выше температуры плавле
ния железа — 1535° С.
В данном сборнике коллективом авторов представлены работы
как по сплавам на основе YV, Mo, Не, Nb, так и по сплавам, где эти
элементы являются легирующими.
Сборник состоит из трех разделов. Первый раздел включает
теоретические исследования по физико-химическому взаимодей
ствию тугоплавких металлов (вольфрама, молибдена, рения, нио
бия) с другими элементами Периодической системы; в частности,
особое внимание уделено взаимодействию тугоплавких металлов
с бором и кремнием. Представлены тройные диаграммы состояния
и диаграммы состав—свойство и результаты исследования струк
турных типов новых тугоплавких тройных соединений.
Второй раздел включает ряд работ по исследованию физико
химических свойств многокомпонентных сплавов вольфрама, по
лученных методами порошковой металлургии и вакуумной плав
ки. Уделено большое внимание изысканию высокопрочных спла
вов на основе систем вольфрама и молибдена с рением, сплавов
с заданными характеристиками жаростойкости, тензочувствнтель-
ностп, износоустойчивости и эмиссионных свойств. Приводятся
результаты исследования особенностей поведения сплавов с уча
стием рения в агрессивных средах.
Третий раздел посвящен новому направлению — использова
нию тугоплавких металлов, их сплавов и соединений в тонкопле
ночном состоянии. Необходимость создания резистивных тонко
пленочных микросхем, обладающих высоким омическим сопро
тивлением и термостабильных при повышенных температурах,
потребовала проведения ряда исследований в этом направлении.
Освещены результаты работ по исследованию физических свойств
пленок из сплавов тугоплавких металлов — вольфрама, рения, из
ряда соединений — силицидов, борпдов тугоплавких металлов
и других материалов.
Редакторы сборника выражают благодарность сотрудникам
ПМЕТ АН СССР Л. Л . Ждановой и М. И. Белобородовой за актив
ную работу по подготовке и оформлению сборника.
УДК 546'64'27'77'78'719'4669.018
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ Mo, W и Re
С РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫМИ МЕТАЛЛАМИ И БОРОМ
Ю. Б. Кузьма, С. И. Михаленко, Н. Ф. Чабан
5
в
а
1аВ(
1аВч
7
Рис. 3. Изотермические сечеиия диаграмм состояния различных систем
а — Y —R e - B (1270 К) [13]; б — Gd— R e—В (1270 К ); в — Dy—R e—В (1270 К ) [14];
а — Но—R e—В (1270 К)
8
в в
9
Типы кристаллической стуктуры соединений, ооразуюгцихся в систем*
R — {Mo, W, Re} — В
1
ОС с
1я Периоды решетки, им | 2.
« Бг >»
Структурный = 2 S Илоструктуриые G f-
Q
ИЛИ П1
Сингон
соединения 2.
группа
Число
ранств
нений
тип
а ь С Ё
В
(0
меж уточное полож ение и сод ер ж ат стр у к тур ы , харак терн ы е для
обеи х групп си стем . Общим для в се х исследованны х систем
R — R e - В я вл яется образован и е соединений со стр ук тур ой типа
~ C e R e 4L'4.
ЛИТЕРАТУРА
1. Б о н д а р е н к о В. I I М орозов В. В ., Черняк Л . В . Порошковая металлургия,
1971, № 1, с, 7 3 -7 8 .
2. Б а к а р и н о в а В. //., Савицкий Е . М ., А р а б е й В . Г ., Салибеков С . Я. Изв.
АН СССР. Неорган. материалы, 1970, т. 6 , № 11, с. 2071—2072.
3. Самсонов Г. В ., Л ап и ю в 10. Я ., П одчерняева Л . А ., Фоменко В . С., Тро
сов /О. Я ., Д у д н и к Е. Л/. — Изв. АН СССР. Неорган. материалы, 1966.,
т. 2. № 8 , с. 1454-1459.
4. К уди н ц ева Г. А ., К о н д р а т о в И. Я ., Кузнецова Г. М Изв. АН СССР.
Неорган. материалы, 1970, т. 6 , № 7, с. 1335.
5. Самсонов Г. В К о н д р ат о в И. Я .— Порошковая металлургия, 1969,
№ 8 , с. 87—91.
6 . Х ансен М., А н д ер к о К. Структуры двойных сплавов. М.: Металлургиз-
дат, 1962. Т. 1/2. 1488 с.
7. Эллиот Р. П . Структуры двойных сплавов. М : Металлургия, 1970. Т. 1,
455 с.; Т. 2. 472 с.
8 . Ш анк Ф. Структуры двойных сплавов. М.: Металлургия, 1973. 760 с.
9. S p e a r К . Е In: Boron and Reractory Borides. В.: Spring.-Verl., 1977,
р. 4 3 9 -4 5 6 .
10. К у зь м а 10. Я ., Сваричевская С. И ., Соболев А . С . — Изв. АН СССР. Не
орган. материалы, 1973, т. 9, № 10, с. 1697 —1702.
11. Сваричевская С . //., К у з ь м а Ю. Б . — Вести. Львов, ун-та. Сер. хим.,
1972, вып. 14, с. 24—27.
12. М ихаленко С. И ., К у зь м а Ю. Б . — Порошковая металлургия, 1976, № 2,
с. 56—59.
13. М и халенко С. Я ., К у зь м а Ю. Я ., Соболев А. С . — Порошковая металлур
гия, 1977, № 1. с. 48—50.
14. М и халенко С. И. Система Dy—Re—В .— Вести. Львов, ун-та. Сер. хим.,
1981. вып. 23, с. 52—54.
15. К узьм а Ю. Я ., Сваричевська С. /.— Доп. АН УРСР. Сер. А, 1972, № 2,
с. 1 66-169.
16. К у з ь м а 10. Я ., Сваричевская С. //.— Кристаллография, 1972, т. 17,
вып. 3, с. 658—661.
17. К у з ь м а 10. Б . %М и хал енко С. И . — Докл. АН УССР. Сер. 6 , 1976, № 11,
с. 1029-1031.
18. Чабан II. Ф . ~ Порошковая металлургия, 1982, № 1, с. 229—232.
19. К у з ь м а Ю. Я .— Кристаллография, 1970. т. 15, с. 372 —374.
20. Cannon J . F . y H a l l II. Т. — In: Rare Earth Mod. Sci. and TechnoL N. Y.^
L ., 1978, p. 2 1 9 -2 2 4 .
УДК 546.7Н/72'73'7.'Л8!.1-|-5'18Л
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ РЕНИЯ С МЕТАЛЛАМИ
ТРИАДЫ Ж ЕЛЕЗА И ФОСФОРОМ
С. В. Орищии, ГО. Б. Кузьма, Р. М. Терелецкнй, Я. Г. Данкевич
II
р
т ш , вм Интенсивность т м , нм Интенсивность
\ 43
ИЗ 1,805 1,807 46 43 024 _ 1,241 0 12
301 1,768 1,771 61 48 304 _ 1,239 0 8
203 1,728 1,736 26 8 115 _ 1.230 0 1
121 1,695 1,692 30 13 322> 1,213 48'
004 1,677 1,679 27 12 124 1,211 0
022 1,624 1,616 17 11 031 1,209 1,209 104 20 . 105
104 — 1,606 0 0 205 1,207 17
311 1,590 1,597 13 0 412J 1.204. 201
213 1,573 1,571 20 0 131 _ 1,181 0 0
122 1,556 1,551 16 4 3141 1,1741 841
220 1,532 1,532 18 38 1,174 112 \ 84
403/ 1,173/ 0J
221 1,492 1,494 28 11 215 1,148 1,147 80 60
312 1,477 1,476 30 25 2241 1,1321
ж у 1 41
114 1,467 1,472 71 66 132/ 1 131
у 78 [ 91
1,130/ 87J
204 — 1,433 0 2
303 1,419 1,419 54 33
222 1,393 1,394 18 30
14
и не происходит образования тернарных соединений. Отсутствие
не то.ько непрерывного ряда твердых растворов между изострук-
турныуи соединениями Со2Р и Re2P, но и ограниченных твердых
растворов на основе этих соединений является интересным фак
том. Это можно объяснить тем, что соединения Со2Р и Не2Р хотя
и принадлежат к одному структурному типу (РЬС12), но резко от
личаются периодами решетки и координатами атомов.
При температуре исследования в системе R e —N i—Р (рис. 1,«)
впервые обнаружено существование четырех тернарных соеди
нений: ~ R e 2N i-P5,'~ R e3Ni2P 5, ~ R e N i2P 6 n ~ R e N iP 4. Порошко-
граммы их сложные, содержат много линий. Для определения
кристаллической структуры этих соединений мы пытались син
тезировать их монокристаллы, однако пока наши попытки поло
жительного эффекта не имели.
Проведенное исследование дает возможность сравнить системы
R e —{Fe, Со, Ni} —Р с системами R e— {Fe. Со, N i}—Si [2|. В систе
мах R e—F e—Si и R e—Со—Si образуются соединения Re6FeeSi
и RegCoj^Sj, з, которые кристаллизуются в структурном типе
\VgFe7. а в системе Re—N i—Si тернарных соединений не обнару
жено. При замене кремния на фосфор характер взаимодействия
компонентов значительно меняется. Так, если в системе R e —F e—Р
образуется одно тернарное соединение ReFeP, которое относится
к структурному типу T iN iSi, а в системе R e —Со—Р тернарные
соединения отсутствуют, то в системе R e—Ni — Р существует че
тыре тернарных фосфида, причем все они образуются при высоком
(0,50 ат.долей и выше) содержании фосфора. Интересно отметить,
что системы R e—Ni—Si и R e—Ni —Р при невысоком содержании
неметалла (область 0 —0,50 ат.долей) имеют идентичный характер
взаимодействия компонентов. Это можно объяснить тем. что
в тройных системах фосфор (а также и кремний) при невысоком
содержании имеет склонность к проявлению металлических
свойств. При высоком содержании неметалла характер взаимодей
ствия компонентов в системах R e—N i—Si и R e— Ni —Р резко от
личается, так как сказывается преобладание у фосфора неметал
лических свойств. Следовательно, можно предположить, что тер
нарные фосфиды системы R e—N i—Р будут характеризоваться
ковалентной связью.
ЛИТЕРАТУРА
15
У Д К 689.017.13.
16
Рис. 1. Изолинии параметра решетки a -фазы для сплавов Nb—Мо—Re
Nb—Mo—Re
17
лнбдену и ванадию приводит к возр астан и ю постоянной реш етки,
при добавлении рения к ниобию н аблю дается ум еньш ение п о
стоян н ой реш етки.
На рис. 2 показаны линии постоянных значений микротвердо
сти сплавов системы Nb—Мо—Re в области твердых растворов.
Как видно из рисунка, наибольшими значениями микротвердости
обладают сплавы вблизи фазовой границы а-фаза —►о-фаза.
Нами были измерены критические температуры Те тройных
и двойных сплавов на основе Re, Mo, Nb, V. Анализ полученных
данных показал, что наибольшими значениями Г с обладают трой
ные сплавы на основе Nb, Mo. Re в области фазовой гранниы
а-фазы Те = 12 К и а — а-фазы. а наименьшими значениями
^-сплавы на основе Nb, V , Re с Те — 2.5 К.
Изменение удельного электросопротивления исследуемых спла
вов в зависимости от состава в области a -твердых растворов при
комнатной температуре показано на рис. 3. Наибольшими зна
чениями электросопротивления обладают сплавы N b—Мо— Re,
составы которых расположены ближе к границе двухфазной обла
сти а + а-фазы. Максимальным значением электросопротивления
обладает сплав 50 ат. % Мо — 40 ат. “» Re — 10 ат.% Nb, р =
= 60 мкОм см. И» = 600 кгс мм*, а -- 3.15 А. Тс — 11.2 К.
ЛИТЕРАТУРА
1 80 15 5 I 8 73 24 3
о 80 10 10 9 74 18 8
3 80 G 14 JO 7G 10 14
4 76 21 3 а’ 80 20 _
о 77 15 8 а 75 25 —
в 78 9 13 а" 72 28 _
7 79,5 3 17,5 6 80 — 20
Ipmeqaniie. Для лучевых разречов 1—10 содержание Zr 0, I, 3, 5, 7, В, It, 13, 15 ат. %
оотвстственно; для лучевых рлф ею в а', а, а ', б содержание Zr 0, I, 3, 5, 7 ат. %
«ответственно.
10
делах одной фазовой области к непрерывному увеличению перио
да решетки a -фазы, что связано с большей величиной атомного ра
диуса Zr по сравнению с Nb. Сплавы, близкие по составу к соеди
нению Nb3Ge, имеют меньшие значения параметра решетки, чем
сплавы, близкие к N b3Sn.
Nb Микроструктурный анализ
подтвердил данные рентгенофа
зового анализа. На рис. 2, а
представлена однофазная струк
тура сплава лучевого разреза а
с содержанием Zr 3 ат. % , ти
пичная для всех сплавов этого
разреза с содержанием Zr от G
до 5 ат. %. Однофазная струк
тура. характерная для сплавов
лучевого разреза 4 , представле
на на рис. 2, б для сплава с со
Рис. 1. Расположение исходных держанием Zr 7 ат. %. Переход
сплавов лучевых разрезов системы в двухфазную область в спла-*
Nb—Sn—Ge—Zr вах лучевых разрезов 5, 6 про4
исходит при содержании Zr 1
ат. %. В равновесии с а-фазо
находится твердый раствор на основе Nb (рис. 2. в для сплава лу^
чевого разреза 5 с содержанием Zr 15 ат. %). Состав твердого pal
створа на основе Nb, определенный методом локального рентгено-]
спектрального анализа, для образца лучевого разреза 6 с содер
жанием 13 ат. % Zr следующий, ат. % : Ge — 4 ,3 , Sn — 5,3. Zr —\
3,6, Nb — 86,8. Для сплавов лучевого разреза 7 однофазная струк^
тура наблюдается до 5 ат. % Zr. На микроструктурах двухфазны!
сплавов с 7— 15 ат. % Zr количество Nb составляющей резко воз-j
растает по сравнению с аналогичными сплавами лучевых разрезог
5, 6 (рис. 2, г для сплава лучевого разреза 7 с 9 ат. % Zr). Темны*
Таблица 2. Данные рентгенофазового анализа лучевых разрезов
сечения 1
ч
OО
'- a 4 5 6 7 6
я
C Фаза a, нм Фаза a, нм Фаза a, нм Фаза a, нм Фаза a, им Фаза а .н м ■
N
20
Рис. 2. Микроструктура сплавпп л ученых разрезов системы ЛЬ Sn Go Zr
а — Nb — 73 ат. %; Sn — 24 ат. %. Zr 3 ат. %, ув. 250; 0 Nb 70,7 ат. %. Sn —
19,5 ат. %, Gc — 2,8 ат. %, Zг 7 от. %. ув. 250; в Nb — 65,43 пт. %, Sn 12.72 нт. %,
Ge — 6,80 ат. %, Zr — 15,00 а т. %, уи. 250; г — Nb 72,3 а т. %; Sn 2,8 ат. %. Ос - -
15,9 а т. %, Zr — 9,0 а т. %, ув. 450; 0 — Nb 77 ат. %. Gc 20 ат. %, Zr - 3 ат. %, ув-
450; е — Nb 69,6 а т. %. Sn — 13,0 а т. %. Ос — 4,4 ат. %, Zr 13,0 а т. %, ув. 450
сильно протравливающиеся пограничные выделения, не опреде
ляемые рентгенографически, по-видимому, являются фазой на ос
нове соединения Nb6Ge3 (Zr, Sn). Растворимость Zr в фазе Nb3Ge
составляет 5 ат. %. На рис. 2, д представлена структура луче
вого разреза б с 3 ат. % Zr.
Данные рентгенофазового и микроструктурного методов анали
за хорошо согласуются с результатами измерения микротвердо
сти. a -фаза и твердый раствор на основе Nb имеют сильно отли
чающиеся значения микротвердости. Ну фазы Nb изменяется
в пределах (450 -т- 550)-107 Н м2. Изменение хода зависимости
микротвердостн a -фазы для сплавов лучевых разрезов происходит
при переходе из одной фазовой области в другую. Интервалы из
менения микротвердостн, а также твердости и электросопротивле
ния сплавов лучевых разрезов представлены ниже:
а 4 5 6 7 б
//, ■107, Н м2 760-—900 770—910 790—950 890—1030 900— 1050 950—1100
Я 107, Н/М2 6 0 0 -6 8 0 720—782 7 80-920 650 -970 560—990 830—996
р 10-7, Ом м 12,0-20,5 6,5- 19,4 9 ,5 - 1 8 ,7 6 ,0 - 1 8 ,2 6,5 -1 7 ,5 8 ,0 —17,0
В пределах одного лучевого разреза изменение микротвердости
незначительно, замещение Nb на Zr приводит к некоторому сни
жению Ну, что может быть объяснено различием атомных радиу
сов Nb и Zr и, как следствие этого, возрастанием периода решетки
ct-фазы. При замещении же Sn на Ge, имеющий меньший атомный
радиус, при переходе от лучевого разреза а к лучевому разрезу
б микротвердость увеличивается. Аналогичные закономерности
прослеживаются для величин твердости сплавов. Снижение зна
чений твердости для сплавов лучевых разрезов 6 , 7, по-видимому,
связано с большим количеством фазы Nb, обладающей меньшей
твердостью.
Для сплавов лучевых разрезов замещение Nb на Zr приводит
к снижению значений электросопротивления, несмотря на увели
чение периода решетки a -фазы и соответствующее этому снижение
подвижности носителей тока. Такое аномальное поведение элект
росопротивления может быть связано с макроэффектом — умень
шением количества дефектов типа трещин на поверхности образ
цов по мере увеличения содержания Zr. Замещение Sn, имеющего
больший атомный радиус, на Ge приводит к уменьшению значений
электросопротивления. При переходе от сплавов разреза а к спла
вам разреза б электросопротивление закономерно падает.
Сечения 2: Nb3Sn (SO ат.% Nb) — Nb3Ge (80 ат.% Nb) —
Zr (0—15 ат .% ) и 3: Nb3Sn (72 ат.% Nb) — Nb3Ge (80 ат.%
Nb) — Zr (0—15 ат .% ). В табл. 3 представлены данные рентге
нофазового анализа сплавов лучевых разрезов сечений 2 н 3.
В равновесии с a -фазой находится твердый раствор на основе Nb.
На рис. 2, е представлена микроструктура сплава лучевого раз
реза 1 с 13 ат.% Zr, характерная для большинства двухфазных
сплавов. По данным локального рентгеноспектрального анализа
a -фаза этого образца имеет состав, а т.% : Ge — 3 ,5 , Sn — 13,5,
22
Таблица 3. Данные рентгенофазового анализа сплавов сечения 2
и сечения 3 (лучевой разрез)
0 Nb3Sn а a a Nb3Sn a a a
1 Nb3Sn a a a -f Nb Nb3Sn a a a
3 Nb3Sn а + Nb a a - Nb Nb3Sn a a a
5 Nb3Sn а + Nb a - Nb a _ a a a
7 _ a -f - Nb а + Nb a _ a a a
9 _ a -f Nb a + Nb a - Nb _ a a a
11 — a -i- Nb a -f-N b a i Nb a a a
13 _ а + Nb a Nb a-f-N b _ a a a
15 — a + Nb a-f-N b a + Nb — a - Nb a -- Nb a-v- Nb
ЛИТЕРАТУРА
УДК 669.24:669.27:669.849
ПОСТРОЕНИЕ ФАЗОВОЙ ДИАГРАММЫ СИСТЕМЫ
Ni - W — Не
О. М. Красноярова. А. В. Грибанов, Л. С. Гузен
23
Ni
24
но. В исследуемой тройной системе имеются твердые растворы на
основе исходных компонентов. х_Фаза проникает в тройную си
стему незначительно (5 ат.% Ni). а-фаза имеет широкую область
гомогенности (^ 3 0 ат.% Ni).
ЛИТЕРАТУРА
1. Мешков Л . Л.у К аза ко в В . А.у Гузей Л . С.у Соколовская Е . М. Вести.
МГУ. Химия, 1972, № 3, с. 351 -3 5 3 .
2. Савицкий Е . Л/., Т ы лкина М. А . у А р ска я Е . II. - Изв. вузов. Цв. метал
лургия, 1970, № 4, с. 113 —115.
3. Савицкий Е . Л/., Т ылкина М . А.у Ш и ш ки на Л . Л . — Изв. АН СССР.
Металлургия и топливо, 1959, № 3, с. 99 —101.
4. E llin g er F.y S y kes И'.— Trans. ASM, 1940, vol. 28, p. 619—622.
УДК 669.24'27'29'784:536.7
ПОСТРОЕНИЕ ФАЗОВОЙ ДИАГРАММЫ СИСТЕМЫ
Ni - W - Ti — С
В. Н. Кузнецов, JI. X . Балдаев, Т. А. Кусанное,
Л. С. Гузей, Е.М . Соколовская
25
Рис. 1. Растворимость углерода в сплавах системы Ni —\\—Ti С при
1273 К.
Цифры — номера разрезов. Числитель дроби — экспериментальные значения раствори
мости углерода, а т .% (± 0 ,2 ); знаменатель — расчетные значения, ат.% (± 0 ,3 )
26
где уi =■■= ц (1 — хс)\ Ф\у , Фт1 — решения системы
27
ЛИТЕРАТУРА
1. С т орм е Э. Тугоплавкие карбиды. М.: Атомиэдат, 1969. 304 с.
2. Г у зей ,7. С ., К узнецов В. И ., Соколовская Е . Л / .- В кн.: Диаграммы сс
стояния металлических систем. Теоретические расчеты и акснерименталь
ные методы. М.: Паука, 1981, с. 103 —106.
3. Кузнецов В . Я . Автореф. каид. дис. ... хим. наук. М., 1980
4. W a g n e r С . — J . Chem. Phys., 1951. vol. 19, N 5. р. 0 2 6 -6 3 2
5. К узнец ов В. //., Г узен Л. С .. Соколовская Ь . Л/. 11зв. АН СССР. Me
таллы, 1980, № 1, с. 150—151.
6 . Alex К ., Мclellan R. В . — J . Phys. Chem. Solids. 1971, vol. 32, .\ 2. p. 4 4 9 -
457. „ . _ , —.
7. Л евш и н Г . А . . Алексеев В. И .— 7КФХ, 1979, т. 53, .V 3, с. 76J 771. j
УД К №.25УХУг. I
28
Nb SO 60 40 ZO w
Nb, am. %
29
ЛИТЕРАТУРА
1. В а р л и К . В . , Д ьяконова Н . П . , Орлова Н . В . , ^ м а н с к и й Я . С. 1
вузов. Цв. металлургия, 1972, № 1. с. 115—117.
2. S y k e s И'. Р . — Trans. Amer. Soc. Steel Treating, 1933, vol. 21, N 5, p. «
423.
3. Б а б и ч M. M ., К и сляк ова E . H ., У.чанский Я. С . — Журн. техн. физи
1938 т 8 № 2 с 119_121.
4. Б а б и ч М . М ., Кислякова Ё. И ., У м анск и й Я . С . — Журн. техн. фнзв
1939, т. 9, JS* 6, с. 5 3 3 -5 3 6 .
5. M a g n e ly A .. Westgren А . — Ztschr. Anorg. Client., 1938, Bd. 238, S. 2fr
272.
6 . Б а т а л е в а С. К . , К у п р и н а В . Я ., М а р к и е В . Я . н др.— Вестн. MI
Х им ия , 1970, т. 11. № 4, с. 432—437.
7. P arg e ter J . А’., Н и т г -R othery W .— J . Less-Common Metals, 1967, vol.
N 5, p. 3 6 6 -3 7 4 .
8 . R a m a n A. — Trans. Metallurg. Soc. A1ME, 1966. vol. 236, N 4, p. 561
565.
9. Шурин А. К ., Дмитриева Г. //.— Сб. на\ч. работ Ин-та металлофизи
АН УССР. 1964, .N: 18, с. 1 7 5-177.
10. Вол А. Е. Строение и свойства двойных металлических систем. М.: Ф|
матгмз, 1962. т. 2. с. 435—439.
11. Тихапкин Г. А. Дне. ... канд. хнм. наук М.: МГУ, 1976. 122 с.
УДК 548.736.
НОВЫ Е СТРУКТУРН Ы Е ТИПЫ
ТУГОП ЛАВКИ Х СОЕДИНЕНИ П
И. К. Нечарсккй, О. И. Бодан, К. II. Гладышевский
но
’ис. i. Структура бинарного соединения Re5Si3
— проекция элементарной ячейки структуры на плоскость (110); б — фрагменты дефор-
ированных плотнейшей упаковки; в — неплотнейшей укладки плотнейших слоев
)
I
лые): CeRe4S i2 (пространственная группа Сттт, а — 4i6.7(5),
— 1400,0(10), с = 414,5(5) нм, изоструктурное соеднненпе
,rRe4Si2); NdRe4S i2 (пр. гр. Рппт , а — 734,8(5), b = 1538 (1),
— 412,6(2) нм); LaRe2S i2 (пр. гр. Imma, а - = 420,6(5), Ь —
~ 411.6(5), с — 2089(1) нм); ScRe>Si3 (пр. гр. Атт2, а —
1448,6(3), Ь - 1968,9(8), с = 527,93 (13) нм); S e 3Re2Si;, (пр. гр.
92, а - 1960,4 (6), Ъ - 1374.1 (5). с =■= 533,9 (1) нм, у - 125,92
2)'); S c2R e3S i4 (пр. гр. P 4 42 j 2, а = 661,9(2), с = 1236 (1) нм);
rFe4S i2 (9 1 (соединения R R e4S i2, R = Y, Sm, Gd, Tb, Dy. Ho,
r, Tm, Lu, пр. гр. PA2 mnm, для Y R e 4S i, a — 732,1(5), c =
- 411,3(2) нм); Sc2F e 3S i5 [101 (соединения R 2ReaS i5, R -- Y, La,
e, Pr, Nd, Sm. Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, пр. rp. PA.mtic, для
d2He3S i3 a - 1099(1). c = 565,2(5) нм). Структура HeaS i3
Ш31ИИЙ силицид рения) также принадлежит к собственному типу
ф. Гр. P 2t/b, а 645.1(2). Ь - 539,4(1), с - 960,1(2) им,
• 94.20(2) ).
Совершенно естественно, что структура бинарного соединения
e5S i3 занимает особое положение, так как в ее составе находятся
ишь атомы, близкие по своим аффективным размерам. Коорди-
ация атомов здесь недвусмысленно свидетельствует о близкой
одственности типа He5S j3 типам с плотнейшей упаковкой ато-
ов одинакового размера. Действительно, если рассмотреть нро-
чцию его структуры на плоскость (ПО), то легко выделить четы-
е деформированных (гофрированных) плотнейших слон, обозна-
ениых цифрами / — 4 (рис. 1). Ось наслоения нернендикулярна
тоскости рисунка. Кроме деформации самих слоев, наблюдается
деформация их укладки. Слон / и 4 расположены одни отно-
ггельно другого как при ненлотнейшен укладке плотнейших
юев (рис. 1, в), вследствие чего они имеют промежуточное окру-
ение (слой 2 относительно / и слой ‘{ относительно 4 расмоложе-
ы как при плотнейшей упаковке атомов). Слоям 2 и .> характер-
) обычное для двухслойных плотнейших упаковок окружение,
аким образом, структура lle 5S i3 является как fii.i промежуточ-
31
Таблица 1. Координационные характеристики атомов в соединениях
систем РЗМ —Re —Si
Соедине
ние КЧ КМ КЧ КМ '
КЧ KM
32
Рас. 2. Структура соединения NdRe4Si2 (б) как гибридная, образованная
лпненнои комбинацией фрагментов типов CeRe4Si2 (а) и ZrFe4Si2 (Ь)
2 З а к а з JV* 2677 33
шести новых структурных типов РЗМ, рения и кремния три при
надлежат к так называемым линейным неоднородным сериям
структур. Это CeRe4S i2, L aR e2S i2 н уже упоминавшийся тин
N dRe4S i2. Их легко составить из фрагментов таких типов:
ВаА14—Си, ВаА14—А1В2—Си п CeRe4S i2—ZrFe4S i2 соответственно.
Вполне естественно, что способ взаимного размещения указанных
фрагментов, который наблюдается в трех найденных структурах,
не является единственно возможным. Нами изучены все возможные
способы расположения и установлено, что симметрия первых двух
серий (реальные представители CeRe4S i2, L aR e2S i2) описывается
22 пространственными группами, третьей (реальный представитель
N dRe4S i2) — четырьмя [11, 12].
Три оставшихся структурных типа: S cR e2S i3, S c 3Re2S i3 и
Sc2R e3S i4 — находятся на несколько особенном положении, ибо,
как уже отмечалось выше, здесь несколько меньшая разница в эф
фективных размерах атомов. Структура Sc2R e3S i4 является сверх
структурной к типу Z r5S i4 [13], в которой все атомы полностью упо
рядоченно занимают узлы решетки. Она отличается от исходной
деформацией фрагментов, что вызвано замещением части крупных
атомов (Sc) меньшими (Re). Вообще, сам факт образования этого
соединения весьма интересен. Во-первых, в системе S c —Si соеди
нение «Sc5S i4» не существует. Во-вторых, в системах {L a . Се,
N d }— R e —S i, где соединения R 5S i4 со структурой Z r5S i4 образу
ются, сверхструктура к нему нами не найдена. В-третьих, то, что
рений в Sc2R e3S i4 занимает положение Zr исходной Z r5S i4, говорит
об увеличении его эффективного радиуса.
Очевидно, возможность образования соединения можно объяс
нить, исходя из того, что у скандия нет еще 4/-электронов. Все
известные силициды со структурой Z r5S i4 удовлетворяют двум
требованиям: соотношение атомных радиусов компонентов г^/гх
находится в пределах 1 ,6 — 1.3 (то есть атомными размерами эта
фаза почти не ограничивается), у компонента Я имеется свободная
или мало заполненная 4/-орбиталь (исключение составляет H f5S i4,
где у Ш 4/-орбпталь полностью заполнена). Рений также имеет
полностью заполненный 4/-подуровень. По-вндимому, вклад егп
4/-электронов и делает возможным образование соединения
S c2R e3S i4 со сверхструктурой по типу Z r5S i4.
Структуры соединений S c R e ,S i3 н S c3R e2S i3 оказались доволь
но сложными (нецентросимметричные ячейки, большое количество
атомов в них). Структуры подавляющего большинства ннтерме-
таллнческнх соединений РЗМ и некоторых переходных металлов
с относительно большими радиусами (например, Zr, Hf) при на
личии у них периода 5 0 0 —580 нм построены из четырех неэкви
валентных плоскпх сеток. В случае ScR e2S i3 н S c3Re2S i3 эти сетки
сильно гофрированы. В них можно выделить почти одинаковые
ленты вдоль больших периодов, которые состоят из четырех
угольников и треугольников, что и объясняет их близость (1968,9
и 1 9 6 0 ,4 нм соответственно).
м
Таблица 2. Кратчайшие межатомные расстояния (нм) в структурах
соединений систем R —Re—Si (10~2)
2* 35
ЛИТЕРАТУРА
1. Б с б а к О. И , , Глады ги ееский Е . 77., П еч ар ск и й В . К . — Кристаллография,
1977, т. 22, вып. 1, с. 178—181.
2. П е ч а р с к и й В . Я ., Б о д а к О . 7/., Гладыги ееский Е . И . — Кристаллография,
1977, т. 22, вып. 3, с. 630—633.
3. П еч ар ск и й В . К . , Б о д а к О. И ., Г лады ги ееск ий Е . //.— Кристаллография,
1978, т. 23, вып. 1, с. 47—51.
4. Б о д а к О. 7/., П еч а р ск и й В . К ., Г лады ги ееский Е . И . — Изв. АН СССР.
Неорган. материалы, 1978, т. 14, № 2, с. 250—256.
5. П е ч а р с к и й В . Я ., Б о д а к О. //., Г л адыги е веки й Е . И .— Докл. АН УССР.
Сер. А, 1978, № 8 , с. 758—762.
6 . П еч а р с к и й В . Я ., Б о д а к О. //., Г л ады ги ееск ий Е . 7/.— Кристаллография,
1979, т. 24, вып. 4, с. 757—766.
7. П еч а р ск и й В . Я ., Б о д а к О . //., Гладыгиееский Е . И . — Кристаллография,
1979, т. 24, вып. 5, с. 945—950.
8 . П еч а р ск и й В . Я ., Б о д а к О. 7/., Г л ады ги ееск ий Е . И .— В кн.: Тугоплавкие
соединения редкоземельных металлов. Новосибирск: Наука, 1979,
с. 74—78.
9. Я р м о л ю к Я . 77., Л и сен к о Л . О., Г ладигиевсъкий С. 7 .— Доп. АН УРСР.
Сер. А, 1975, № 3, с. 2 7 9 -2 8 2 .
10. Б о д а к О. 7/., К о т у р Б . /7., Я р о в е ц В . 7/., Гладыгиееский Е . 7/.— Кри
сталлография, 1977, т. 22, вып. 2, с. 385—388.
11. П еч ар ск и й В . К , — Вести. Львов, ун-та. Сер. хим., 1977, выи. 19, с. 9 —
14.
12. Г р и н ь Ю. /7., П еч а р ск и й В . Я .— Вести. Львов, ун-та. Сер. хим., 1979,
вып. 21, с. 5 —9.
13. P f e i f e r Я .-7 7., S ch u b ert К . — Ztschr. M etallk., 1966, Bd. 57, H 12, S. 884—
888 .
14. П и р с о н У. Кристаллохимия и физика металлов и сплавов. М.: Мир, 1977.
Т. 1. 419 с.
Раздел II
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ
СВОЙСТВА СПЛАВОВ
У Д К 537.53'|+621.03»
37
токамака Т-1 •
J — ионный источник; 2 — изоляторный узел; в — шибер источника; 4 — камера пере
зарядки; 5 — вакуумный контейнер; б — магнитные экраны со щелями; 7 — диафрагма
8 — магнит, отклоняющий ионы; 9 — приемник ионов; 10 — раздвижной приемник ато
мов; 11 — диафрагма; 12 — быстродействующая вакуумная заслонка; 13 — шибер;
14 — сильфон; 15 — атомопровод; 16 — плазма
38
Основные требования к перемычкам: минимальное число про
боев при напряженности электрического поля 100 кВ/см, мини
мально возможное значение коэффициента распыления, устойчи
вость к термоциклическим нагрузкам, пластичность, отсутствие
водородной хрупкости. В источниках ионов, используемых в тока-
м ке Т-11, Огра-4, мощном инжекторе, нейтралов (МИН) для
изготовления неохлаждаемых перемычек применяется молнбден-
ванадиевый сплав марки 4604 [31. В инжекторах токамака Т-15
будут использоваться охлаждаемые перемычки из этого сплава.
Срок службы перемычек определяется коэффициентом распы
ления материала, плотностью тока ионов и допустимой толщиной
распыления стенки:
Гр = 1 0 5 jS M /р,
где б — допустимая толщина распыления стенки, см; vp — ско
рость распыления, см.'с; j — плотность тока ионов и атомов, бом
бардирующих перемычки, А/см2; М — массовое чпсло атома мате
риала перемычки; р — плотность материала перемычки, г/см3.
Ниже приведены некоторые данные по измеренным величинам
коэффициента распыления в максимуме кривой распыления и энер
гия ионов дейтерия, при которой наблюдается максимум [4]:
С А1 Мо Та W
5 М, ат ион 2,7•10-^ 4 ,2 .1 0 - 2 9 ,3 - 10_3 6 ,6 1 0 -* 6,4-10-*
£ м. кэВ 0,25 1.0 4,0 8,0 8,0
39
Имеется возможность уменьшения коэффициента распыления мо
либдена легированием его ванадием или цирконием
Второй гажный узел, ограничивающий срок службы ионного
источника,— катод и его подогреватель. Продолжительность ра
боты этих элементов ограничивается катодным распылением,
испарением и дугами. В настоящее время исследуются в импульс
ных ионных источниках катоды из непровисающего вольфрама,
а в квазнстационарных источниках — катоды из гексаборида лан
тана, обладающие высокой эмиссионной способностью, небольшим
испарением при 1970 К и распылением [0]. В разряде могут присут
ствовать ноны и быстрые атомы материала катода, которые иногда
и определяют скорость распыления катода [7].
Третий важный узел инжектора термоядерного реактора —
приемники пучков ионов п быстрых атомов. Онн подвергаются
воздействию потоков частиц, несущих большую поверхностную
плотность потока энергии (1—G0 кВт/см2). Работоспособность этпх
приемников определяется термоцнклической стойкостью, катод
ным распылением, блисте рингом (образованием на поверхности
волдырей) и водородной хрупкостью.
Четвертый лимитирующий узел инжектора — узел высоко
вольтных изоляторов. Он состоит из изолирующих элементов (не
органических, органических пли комбинированных диэлектриков)
и соединенных с ними металлических фланцев. Коэффициент тер-
40
Рис. 2. Схема ионного псточвика на
70 А и 40 кВ
1 — подогреватель катода: 2 — катод; з —
тепловые экраны; 4 — анод; 5 — газораз
рядная камера; 6 — перемычка эмиссион
ного электрода; 7 — перемычка ускоряю
щего электрода; 8 — перемычка заземлен
ного электрода; 9 — экран, ограничиваю
щий поверхность плазменного эмиттера;
]0 — изолятор; 11 — подвод охлаждения;
12 — охлаждаемый изолятор; 13 — фла
нец с распределителем газа; 14 — изоля
ция анода
ЛИТЕРАТУРА
41
4. R oth У., B o h d a n sk y У., Ottenherger \V. Data on low energy light ion sput
tering: Max-Planck-Institute fur Plasmaphysik. 1979. 92 S.
5. Плешивцев //. В . Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1908. 343 с.
0. С ем аш ко II. //., М алахов /Л //., М о розов В . В . и др. Катоды из гекеабори-
да лантана сильноточных источников ионов. —В кн.: Вопросы атомной на
уки и техники. М.: Ин-т ато.мноп энергии, 1979, с. 18—22. (Сер. Термо
ядерный синтез: Выи. 2(4)).
7. П а с ю к А . С., Т рет ьяков /О. //., С т а н к у В . — 1ГГЭ, 1905, X: 3, с. 42 45.
АНАЛИЗ
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЙ СТАБИЛЬНОСТИ
ТУГО П Л А ВК И Х Ф АЗ ВНЕДРЕНИЯ
В ВОЛЬФРАМЕ
К. М. Савицкий, К. Б. Поварова, М. А. Хмель нова
42
Рис. 1. Температурная зависимость термодинамического потенциала реак
ций получения некоторых упрочняющих фаз вольфрама в стандартных ус
ловиях (по данным [5—9])
Рис. 2. Расчетные значевпя термодинамического потенциала реакций рас
творения карбидов в вольфраме
43
Реакцию (1) можно представить в виде суммы трех реакций:
MenX m = иMe + т Х , (1а)
mX = m [ X ] \ (16)
nMe = п [M e]'v. (1в)
При этом сумма изменений свободных энергий реакций (1а)— (1в)
равна изменению свободной энергии реакции (1):
AGi — AGia AGio ~Ь AGib . (2)
Данные о температурных зависимостях изменения свободной
энергии реакции (la ) AGia для NbC, ТаС, ZrC и ШС взяты из [5 —7];
NbC = Nb + С, AGT = 142,27 - f 2 3 ,6 M f ) - 3 T \g T -
- 7 4 , 4 8 - l O -з T, (3)
ТаС = Та + С, AGT = 1 6 1 ,1 8 - 5 ,5 7 7 - 1 (Г 3 Т, (4)
ZrC = Zr + С, AGT = 1 8 4 ,6 4 -9 ,2 1 - К Г 3 Т, (о)
HfC = Hf + C, AGT - 2 0 3 ,0 6 - 1 3 ,6 5 7 - 1 0 - 3 Т. (6)
44
где [C]w — концентрация углерода в насыщенном твердом рас
творе.
Чтобы определить неизвестные величины Д Я° w н w
[C JH |bJH »
необходимо для двух температур иметь значения Дб7а (былн
взяты из справочника [8]) и соответствующие значения предела
растворимости [С]^г(взяты из [1]). Окончательно для температур
ной зависимости свободной энергии реакции растворения угле
рода в вольфраме получено уравнение (по методике Е . И. Мозжу
хина)
ДG,0 = 6 5 ,4 8 5 -2 ,3 3 2 5 - K W + 4 ,5 7 -1 0 -3lg [C]w. \ (10)
Полученное для двойной системы выражение (10) использо
вали и для случая тройных систем. Указанное допущение, по-
видимому, можно считать правомерным, поскольку предельная
растворимость углерода в вольфраме в рассматриваемых системах
мало отличается от растворимости углерода в вольфраме в двойной
системе (значения пределов растворимости приведены в работах
11-31).
Температурную зависимость изменения свободной энергии
реакций типа (16) получали в предположении, что растворы нио
бия, тантала, циркония и гафния в вольфраме являются регуляр
ными:
ДС1в = Д Я 1в-|-4 .5 7 n g [M e ] w. (И )
Концентрации компонентов, использовавшиеся для расчета, со
ответствовали реальным сплавам различного фазового состава
и былп взяты на основании построенных в работах [2, 31 диаграмм
состояния систем W —Me—С. Составы сплавов приведены в таб
лице. Неизвестные теплоты растворения металлов друг
в друге принимались для всех металлов равными 20 ккал'г-ат
(83,82 кДж/г-ат).
ЛИТЕРАТУРА
1. С ав и ц к и й Е . Л/., П о в а р о в а К . Б . , М а к а р о в П . В . Металловедение воль
фрама. М.: Металлургия, 1978. 222 с.
2. С а в и ц ки й Е . Л/., П о в а р о в а К . Б . , М а к а р о в П . В . и др.— В кн.: Сплавы
редких и тугоплавких металлов с особыми физическими свойствами.
М.: Наука, 1979. с. 187—193.
3. С а в и ц ки й Е . М . , П о в а р о в а К . Б ., М а к а р о в П . В . и др.— В кн.: Сплавы
редких и тугоплавких металлов с особыми физическими свойствами. М.:
Наука, 1979, с. 193—200.
4. К у л и к о в И . С. Раскисление металлов. М.: Металлургия, 1975, с. 15—75.
5. Термодинамические свойства неорганических веществ: Справочник/
Под ред. А. П. Зефирова. М.: Атомнздат, 1965. 460 с.
6 . К о т е л ь н и к о в Р . Б . , Б а ш л ы к о в С. Н . и др. Особо тугоплавкие элементы и
соединения: Справочник. М.: Металлургия, 1969. 372 с.
7. Ф р ом м Е . , Г е б х а р д т Е . Газы и углерод в металлах. М.: Металлургия,
1980. 710 с.
8 . В о й т о в и ч Р . Ф. Тугоплавкие соединения: Термодинамические характе
ристики. Киев: Наук, думка, 1971. 220 с.
46
У Д К 669.017:539.56
47
6,кгс/ммг
48
Рис. 2. Характерные виды изломов образцов сплавов вольфрама с окисью
иттрия после испытании па растяжение при различных температурах
а, б — 20е С; в — 200° С; г, 0, ж — 300° С; е, a — 500° С;|а, в, д — а — ув. 1000;
б, г — ув. 3000 I
49
шения [6 —91: первый отвечает области практически полностью
хрупкого разрушения (до Г " ^ 180° С), второй — соответствует
переходу от хрупкого разрушения к вязкому ( Г " — 7'®). третий
(выше 71® ~ 350° С) — это область вязкого разрушения.
В интервале температур от 20 до 180—200° С деформированные
сплавы разрушаются хрупко при напряжениях, намного ниже
предела текучести; удлинение и сужение при этом отсутствуют
(рис. 1). Разрушение образцов происходит сколом от случайного
поверхностного дефекта, причем частицы Y 20 3 способствуют вет
влению трещин и появлению чередующихся плоскостей скола;
трещина разбивается на отдельные фрагменты, меняя направле
ние, плоскость и уровень распространения (рис. 2, а. б).
В области температур 180—200° С, являющейся нижней тем
пературой хрупкого перехода ( Г ”), материал начинает проявлять
способность к равномерной пластической деформации (см. рис. 1).
При этом напряжение разрушения резко возрастает и становится
выше предела текучести. На поверхности излома наблюдаются
слабо выраженные следы мнкропластической деформации в виде
гребней отрыва на ступеньках ручеистого узора (рис. 2. в), что
свидетельствует о возможности в этих условиях релаксации на
пряжений у вершины растущей трещины. С повышением темпера
туры выше Г " снижается сопротивление движению дислокаций
и происходит снижение прочностных и увеличение пластических
характеристик.
При температурах выше 250° С начинает действовать более
интенсивный механизм пластической деформации: образование и
слияние микропустот, возникающих на непрочной межфазной
границе раздела матрица— включение У 20 3. В процессе деформа
ции микропоры сливаются, перемычки между ними образуют но
жевидные мпкрошейкн (рис. 2. г), по которым локализуется пла
стическая деформация в образце, в результате чего наряду с воз
растанием способности материала к равномерной деформации
резко повышается вклад сосредоточенной деформации (см. рис. 1)
н на образцах появляется макроскопическая шейка.
Выше температуры Т* ^ 3 0 0 ° С способность материала к рав
номерной пластической деформации начинает уменьшаться
н общая деформация образца осуществляется главным образом за
счет сосредоточенной деформации путем образования ямок и ноже
видных микрошеек. Поры, возникающие вокруг частиц, тормозят
распространение трещин по механизму Гордона— Кука [10],
вследствие чего наблюдается повышение сопротивления разруше
нию (см. рис. 1).
В интервале 250—350° С характер разрушения смешанный:
наблюдается сочетание скола н вязкого ямочного разрушения.
Разрушение начинается в центре образца и протекает по вязкому
механизму до тех пор, пока вследствие постепенного ослабления
сечения не будет достигнут критический уровень напряжения,
дальнейшее разрушение происходит хрупким сколом. Доля хр>п-
50
кого транскристаллптного скола в изломе с повышением темпера
туры уменьшается. При 300° С окончательное разрушение на от
дельных участках еще происходит сколом (рис. 2, д), тогда как
при 350° С разрушение полностью вязкое (рис. 2, е ).
Начиная с температур 250—300° С возникает дополнительный
характерный тип разрушения — расслоение по границам вытяну
тых вдоль оси образца (направления деформации) структурных
элементов (волокон, зерен), которое действует в сочетании с меха
низмом с л и я н и я пор, образующихся вокруг включений (рис. 2 , ж).
Появление расслоения свидетельствует о пониженной прочности
при этих температурах границ волокон по сравнению с прочно
стью границ и тела зерен и субзерен (ячеек).
Выше температуры 350° С, являющейся верхней температурой
перехода из пластичного в хрупкое состояние Г®> разрушающее
напряжение постепенно снижается (см. рис. 1). Разрушение пол
ностью вязкое (ямочное и срезом по микрошейкам). Склонность
к расслою по волокнам с повышением температуры уменьшается
(рис. 2, з).
Степень равномерной деформации браВн До начала появления
шейки очень низка (1—4% ), тогда как величина относительного
сужения в этом интервале температур быстро повышается: до
~ 4 0 % для сплавов с 2—б об. °о Y 20 3 и до 20°о для сплава
с 7,5 об. % Y 20 3, причем при температурах выше Г® деформация
до разрушения (как равномерная, так и сосредоточенная) тем
меньше, чем больше количество упрочняющей фазы в сплаве. Это
согласуется с результатами классических работ, выполненных на
сплавах с пластичной медной матрицей [И ], п укладывается в рам
ки общих представлений о роли мпкропор в формировании меха
нических свойств пластичных сплавов. Об ослаблении площади
поперечного сечения при постепенном вовлечении пор во время
пластической деформации свидетельствует вид кривых растяже
ния: снижение напряжения, вызывающего деформацию, начи
нается почти сразу по достижении предела прочности. В сплавах
практически отсутствует эффект деформационного упрочнения.
Подобные характерные особенности разрушения были обнаруже
ны в работах В. II. Трефилова с сотрудниками на дисперсно-
упрочненном литом сплаве молибдена с нитридом титана [12, 13],
но при более низких гомологических температурах.
Изменение характеристик прочности, пластичности и некото
рых параметров структуры сплавов в зависимости от объемной
доли упрочняющих частиц приведено на рис. 3. Как видно из
рис. 1 и 3, изменение объемной доли Y 20 3 в сплавах вольфрама
в широких пределах практически не влияет на прочностные ха
рактеристики сплавов в исследованном интервале температур, что
хорошо согласуется с известными механизмами упрочнения по
Оровану—Николсону [14, 15] для случая крупных частиц (0,8—
1,2 мкм). Некоторая тенденция к увеличению прочности при низ
ких температурах в области Г " (вплоть до 250° С) и уменьшению
51
Рис. 3. Влияние легирования на некоторые параметры структуры и механи
ческие свойства сплавов вольфрама с окнсыо иттрия при различных темпе
ратурах
АуД — удельная работа разрушения; D — средний размер зерна; d y ,o a — средний раз
мер частиц окиси иттрия;Т — среднее расстояние между частицами
ЛИТЕРАТУРА
1. Савицкий Е. А/., П оварова К . Б ., М а ка ров П . В . Металловедение воль
фрама. М.; Металлургия, 1978. 224 с.
2. Yihs IV. //., Wang Ch. Т. Tungsten. N. Y .; L.: Plenum press, 1979. 500 p.
3. Свойства и применение металлов и сплавов для электровакуумных при
боров: Справ. чособие/Под ред. Р. А. Ннлендера. М.: Энергия, 1973.
336 с.
4. Амосов В . Л/., К а р ел и и Б . А . , Кубьиикин В . В . Электродные материалы
на основе тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1976. 223 с.
5. Салтыков С. А . Стереометрическая металлография. М.: Металлургия,
1976. 270 с.
6. М акклинт ок Ф., А ргон А . Деформация и разрушение материалов. М.:
Мир. 1970. 443 с.
7. Бичем К. Д\— В кн.: Разрушение. М.: Мир, 1973. т. 1, с. 265—374.
8. Заккей В . Ф., Г ер б е р и н г У. У ., Ц а р к е р Э. Р .— В кн.: Разрушение. М.:
Мир, 1973, т. 1. с. 421—470.
9. Фирстов С. Л .— В кн.: Физика хрупкого разрушения. Киев: Ин-т пробл.
материаловедения АН УССР, 1976, ч. 1, с. 60—72.
10. Cook J .. Gordon J . Е . — Ргос. Roy. Soc. А, 1964, vol. 282, N 5, р. 508—
511.
11. Edelson В . /., B ald w in 1Г. Л/.— Trans. ASM. 1962, vol. 55, N 1.
p. 230--250.
12. Трефилов В . //.. П оходил I f. К . , В асильев А. Д. и др. — Пробл. прочности.
1977, № 5, с. 2 7 -3 2 .
13. Трефилов В . I I . , Моисеев В . Ф. Дисперсные частицы в тугоплавких ме
таллах. Киев: Наук, думка, 1978. 238 с.
14. Ого wan Е .-~ 1и: Ргос. Symp. Intern. Stress in Metals and Alloys. L., 1948,
p. 4 5 1 -4 5 4 .
15. Aiclsson В. B . , Thomas C., N u ttin g Y . — Acta met., 1960, vol. 8 , N 3,
p. 1 72-176.
УДК 669.017.11
ВЛИЯНИЕ МИКРОЛЕГИРОВАНИЯ
НА СТРУКТУРУ II СВОЙСТВА ВОЛЬФРАМА
IIЭРОШКОВОЙ МЕТАЛЛУРГИИ
Е. М. Савицкий, К. Б. Поварова, П. В. Макаров, Е. М. Рабинович,
Б. II. Ольшанский, А. Б. Ольшанский, В. П. Гачегов
53
чес ними свойствами при повышенных температурах (1—5]. Недо
статком метода ВП является невысокий выход годного материала
при выплавке и дальнейшей деформации прессованием, ковкой,
прокаткой.
Легирование вольфрама, изготавливаемого перспективным,
экономичным методом Г1М, требует иного подхода, чем в случае
литых сплавов, в силу существенной разницы в условиях сплаво-
образования (температура, время, среда) и, следовательно, в ха
рактере протекающих при этом физико-химических процессов
в твердой, жидкой и газообразной фазах. Для этого метода тради
ционным является использование в качестве легирующей фазы
тугоплавких оксидов [6—8], что объясняется их большой термоди
намической стабильностью в сплавах вольфрама в условиях спе
кания (температурный интервал 1100—2900° С, большая степень
загрязнения кислородом шихты и атмосферы).
Цель настоящей работы — исследование физико-химического
взаимодействия вольфрама с некоторыми упрочняющими фазами
внедрения в процессе изготовления сплавов и оценка возможности
получения этими методами низколегированных жаропрочных
сплавов вольфрама. Особый интерес представляло сравнение фа
зового состава, структуры н свойств сплавов систем W — Me — С
(Me — переходные металлы iV A —VA групп: Ш , Та, Nb), приго
товленных методами ПМ, со сплавами ВП аналогичных составов,
исследованными ранее в работах [1, 9].
Сплавы готовили из механических смесей исходных порошков
вольфрама, окиси иттрия У 20 3, окиси гафния Ш 0 2, карбидов
металлов МеС и свободного углерода С. Стандартными методами
порошковой металлургии были получены спеченные заготовки
из нелегированного вольфрама, двойных (W —У 20 3, W —ШС)
и тройных (W — У 20 3 — Ш 0 2, W — МеС — С) сплавов. Содержание
легирующих фаз в сплавах не превышало в сумме 1 мае. % . Дефор
мацию спеченных заготовок вели двойным прессованием с промежу
точным рекристаллизационным отжигом, ковкой, прокаткой; сте
пень деформации составляла 75—8 0 % , температура нагрева под
деформацию— 1 7 0 0 — 1800° С. Деформированные сплавы отжи
гались в вакууме в течение 1 ч в интервале температур 1200—
2000° С через каждые 100° и в водороде при температуре 2400° С
в течение 10 ч.
Структуру и фазовый состав сплавов исследовали методами
световой и сканирующей электронной микроскопии, микрорент-
геноспектральным анализом. Электрохимическим путем выделяли
избыточные фазы из матрицы сплавов с последующим их рентге
новским фазовым анализом. Механические свойства деформи
рованных сплавов изучали на пятикратных разрывных образцах
в интервале температур 250—2200° С.
После спекания плотность сплавов составляла 17— 17,6 г см3,
т. е. 9 0 —92% от теоретической. В структуре спеченных заготовок
(рис. 1) видны включения избыточных фаз округлой формы со
средним линейным размером 5 —8 и 10— 15 мкм для сплавов,
54
Рнс. 1. Микроструктура спеченных заготовок сплавов систем W —HfC (а),
\\ — HfC—С (б), 4V—ТаС—С (в), W —NbC—С (г). Световая микроскопия,
ув. 400
легированных оксидами и карбидами ГНС соответственно. В спла
вах, легированных карбидами МеС и углеродом, размер включе
ний может достигать 25—35 мкм. Количество, размер и форма
включении в спеченных образцах резко отличаются от таковых
для исходных частиц карбидов и оксидов, имеющих четкую огранку
и небольшие размеры (0.5—2 мкм. рнс. 2). Исходные частицы кар
бидов, особенно HfC. образуют конгломераты в виде скоплений
частиц или утолщенных игл и многогранников длиной до 40 мкм
(рис. 2).
I (о данным мпкрорентгеноспектрального анализа вклю
чения в спеченных сплавах W — Y20 3 содержат Y, а в сплавах
W— Y 20 3—II fOo—Y — Hf (рис. 3). Рентгеновский фазовый анализ
избыточных фаз в сплавах показал, что структура этих фаз соот
ветствует структуре эталона окиси иттрия, с несколько отличаю
щимся периодом решетки для сплавов \V—Y 20 3— НГ02. Эго объяс
няется замещением части атомов иттрия атомами гафния.
И тройных сплавах систем W — NbC—С и W —ТаС—С по дан
ным микрорснтгеноспект ралыюго анализа встречаются два типа
включений: основная масса включений содержит незначительное
количество металла (Та или Nh) и представляет собой карбид
вольфрама \\2С. что подтверждается также данными рентгеновско
го фазового анализа; небольшая часть крупных включений (до
30 мкм) обогащена металлом легирующего соединения н, ио-пи-
днмому, является карбидом МеС, не полностью прореагировавшим
55
Рис. 2. Форма исходных частиц карбидов HfC (я, б), NbC (е) и оксида У20 3
(г), введенных в сплавы вольфрама
а, в — ув. 1000; б, г — ув. 3000
57
6 B ,K t c f* M z
НУ,кгс[ммг
58
оставаться высокой, что говорит о задержке процессов рекристал
лизации карбидной фазой типа МеС. Для сплавов систем
W —Т а —С и \У—H f—С наблюдается эффект старения в интервале
температур 1600 и 1800° С. что связано с растворением и выделе
нием карбидной фазы в этих сплавах.
Температура начала и конца рекристаллизации (Т£ и Гк) спла
вов, легированных оксидами Y 20 3 и НЮ2, а также сплавов, леги
рованных карбидом НЮ, углеродом и карбидами NbC и ТаС,
составляет 1450 и 1600° С соответственно, что на 150—200° С выше,
чем для нелегнрованного вольфрама ПМ технической чистоты, де
формированного прессованием в тех же условиях (степень деформа
ции 75—80°о). В сплавах, легированных совместно углеродом и
карбидом гафния, Т £ и составляют 1800 и 1900° С соответствен
но, что также подтверждает возможность присутствия в сплаве
дисперсной упрочняющей фазы, стабилизирующей структуру
деформированного материала до высоких температур.
Размер зерна в рекристаллизованных сплавах, легированных
ШС и МеС С (первичная рекристаллизация после отжига при
2000° С), невелик и составляет 18—25 мкм. Размер зерна сплавов
систем W —У 20 3—Ш 0 2 после обработки в тех же условиях состав
ляет 30—35 мкм. Высокотемпературный отжиг сплавов (2400° С,
10 ч) приводит к росту рекристаллизованного зерна, однако в спла
вах, легированпых оксидами иттрия и гафния, процесс собира
тельной рекристаллизации замедлен и размер рекристаллизован
ного зерна в 3 0 —40 раз меньше, чем у нелегнрованного вольфрама.
На рис. 5 приведена температурная зависимость механических
свойств сплавов ДВП (1, 10, 11] и ПМ различных составов.
Максимальной кратковременной прочностью при температурах
1800—2400е С обладают сложнолегированные сплавы ДВП с боль
шим содержанием карбида НЮ. Деформированные сплавы ПМ,
легированные НЮ, в среднем интервале температур обладают
в 1.5—3 раза более высокой прочностью, чем нелегированный
вольфрам ПМ или сплавы ПМ системы \\—Т а —С; при высоких тем
пературах их кратковременная прочность приближается к проч
ности высоколегированных карбидоупрочпенных сплавов. Спла
вы. легированные оксидами, имеют более высокую кратковремен
ную прочность при повышенных температурах и более низкую тем
пературу перехода из пластичного в хрупкое состояние (Т х). чем
не легированный вольфрам Г1М. Так, при 200° С сплавы с оксидами
уже обладают определенным запасом пластичности, достаточным
для того, чтобы реализовать прочность сплавов (достигают предела
текучести при испытаниях на растяжение), тогда как в нелегнро-
ванном вольфраме первые признаки пластичности (удлинение)
появляются только при 250° С.
Таким образом, исследование влияния микролегпрования воль
фрама порошковой металлургии тугоплавкими фазами внедрения
(до 1 мас.% ) на фазовый состав, структуру и свойства сплавов по
казало, что в процессе спекания, деформации и термообработки
59
в соответствии с температурной зависимостью свободной энергии
образования фаз в сплавах формируется структура, содержащая
частицы Y 2On п/илн (Y ,H f)20 3 при легировании сплавов оксида
ми Y 20 3 и НЮ2, о к с и д ы НЮ2 при легировании сплавов кар
бидами HfC; карбиды W 2C и МеС при легировании сплавов карбида
ми NbC, ТаС и углеродом, а также карбиды \V2C, HfC и оксиды
НЮ2 при совместном введении в сплавы карбида HfC и свободного
углерода. Стабилизация структуры сплавов тугоплавкими фазами
внедрения позволяет повысить температуру рекристаллизации
(особенно у сплавов системы W —H f—С) и механические свойства
сплавов во всем исследованном интервале температур (до 2200° С).
ЛИТЕРАТУРА
1. С авицкий Е . Л/., П ов а р о в а К . Б ., М а к а р о в П . В . Металловедение воль
фрама. М.: Наука, 1978. 224 с.
2. Титц 71., Уилсон Д ж . Тугоплавкие .металлы и сплавы: Пер. с англ. М.:
Металлургия, 1969. 352 с.
3. K l o p p TV. Я ., W itzke ТГ. Я .— J . Less-Common Metals, 1971, vol. 24, N 4,
p. 427—444.
4. W itzke W. R . — Met. Trans., 1974, vol. 5, N 2. p. 499—504.
5. K l o p p ТГ. Я . — J. Less-Common Metals, 1975, vol. 42, N 3, p. 261 — 278.
6. С м и т т еле К . Д ж . Вольфрам. М.: Металлургпздат, 1958. 414 с.
7. А н д р е е в а Р . 7\, И п а т о в а С . Я ., Замесова Г . 3 . и др. Свойства и приме
нение металлов и сплавов для электровакуумных приборов. М.: Энергия,
1973. 366 с.
8. Амосов В . А/., К а р е л и н Б . А . , К у б ы ш к и н В . В . Электродные материалы
на основе тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1976. 223 с.
9. S avitsky Ye. Л/.. Povarova К . Я ., M a k a r o v Р . Г ., Zavarzin a Ye. К . —
Planseeberichte, 1977, Bd. 25, N 3, S. 1 6 8 -1 8 6 .
10. S avitsky Ye. A/., Povarova K . B.„ M a k a r o v P . V.— In: Proc. of the 10th
Plansee-Seminar, 1981, vol. 2 , p. 539—552.
11. Свойства тугоплавких металлов и сплавов: Сб. ст. М.: Металлургия, 1968.
328 с.
12. Ф ром м £ ., Г е б х а р д т Е . Газы и углерод в металлах: Пер. с нем. М.: Метал
лургия, 1980. 712 с.
13. Y i h S. ТГ. Я ., W a n g Ch. Т. Tungsten. N. Y .; L.: Plenum press, 1979.
500 p.
УДК 669.C17.11-r539.56
ИССЛЕДОВАНИЕ УСЛОВИЙ УПЛОТНЕНИЯ
И СВОЙСТВ СПЕЧЕННЫХ МАТЕРИАЛОВ
НА ВОЛЬФРАМОВОЙ ОСНОВЕ
С РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫМИ ОКИСЛАМИ
Б. С. Митин, В. II. Мороков, £ . С. Савранская,
А. II. Туманов, С. II. Файфер, В. Н. Шумейко
60
ми окислов тория, иттрия и редкоземельных металлов. Свойства
получаемых спеченных материалов существенно зависят от нали
чия в них примесей, количество которых определяется условиями
спекания материала в вакууме.
Отсутствие данных по кинетике спеканпя композиционных ма
териалов на основе вольфрама с окислами РЗМ и иттрия не позво
лило установить оптимальные режимы получения электродных ма
териалов с низким содержанием примесей и высокой эрозионной
стойкостью (1, 21.
II работе излагаются результаты изучения условий уплотнения
прессованных материалов композиций типа W —Y 20 3, W —Sm 20 3
и \\ — Г)у20 3 в вакууме, а также исследование скорости их эрозии
в плазме газового разряда.
Кинетику спекания образцов в вакууме исследовали с помощью
дилатометрической приставки к вакуумной печи. Эксперименталь
ные образцы прессовали из смесей, полученных путем химического
смешивания исходных компонентов с последующим их избиратель
ным восстановлением в атмосфере водорода. Образцы имели диа
метр 15 мм и высоту 15 ± 0,05 мм. Для удаления пластификатора
и легколетучих примесей из материала образцы предварительно
отжигали в атмосфере водорода при температуре 1650 К в течение
2 ч.
Образцы спекали по ступенчатому режиму нагрева с выдерж
кой на каждой ступени до стабилизации процесса их усадки в те
чение 15—25 мин.
Абсолютная линейная усадка образцов определялась по разно
сти значений, получаемых на индикаторе дилатометра. Можно от
метить, что с увеличением содержания окисной фазы в вольфраме
скорость усадки растет (рис. 1), т. е. происходит интенсификация
процесса уплотнения частиц, а начало кривой усадки образцов
сдвигается в область более низких температур (1700— 1850 К).
Процесс усадки для исследуемых материалов в соответствии
с ходом кривых можно условно разбить на два этапа.
Для первого этапа (1800—2400 К) характерна высокая ско
рость усадки образцов, которую можно объяснить высокой дисперс
ностью частиц вольфрама и окисной фазы (0.01—0.1 мкм)г а следо
вательно, наличием избыточной свободной энергии включающей
энергию границ зерен, поверхностную энергию и энергию кристал
лической решетки, появляющуюся вследствие наличия избыточных
дефектов и внутренних напряжений
Движущимися силами, способствующими процессу уплотне
ния. являются силы избыточного капиллярного давления (лапла
совские силы), возникающие на искривленных поверхностях и по
порядку величины равные у/r. Действительно, увеличение содер
жания окисла в системе W —К20 3 способствует увеличению дис
персности ее частиц (увеличение кривизны поверхности), что
характеризуется более высокой скоростью усадки материалов, со
держащих 17—30 м ае.0,, окисла, по сравнению с материалами, со-
61
Рнс. i. Лннейвая усадка образцов в процессе спекания их в вакууме
г— W + 1 1 % Y . O , и W + 1 1 % D y , O a; 2 — W + 1 1 % S n i j O j ; 3 — W + 1 7 9 Y t O , и
W + 1 7 % D y 2O s; 4 — W + 1 7 % S m . O , ; 5 — W + 3 0 % Y . O . и W + 3 0 % D y t O , ; 6 —
W + 3 0 % Sm20 3] (AS „ = 0,18-5-0,2% : AS = 0 , 2 -r 0 , 2 5 % )
г з в о 1*- 1700 ^
Состав матери Ca Al Sb
ала, мас.% Si Fe Ni Mo Cu
W + I 1 Y ,0 3 5 ,0 - 10~7 1, 0 - 10~7
W + 17Y*0, 7 ,2 - 10" 7 1, 8 -10- 30-10е 250-10®
W 4 - 30Y*O, 1 , 0 1 0 -е 2 , 8 - 10- 26-10® 230-1C®
W - llSm.Os 5 ,8 - 10- 7 1, 2 -10~7 15- 10е 5 0 -1C®
W + 17Sni.03 7,0-Ю - 7 1 ,2 3 -1 0 - 2 0 -1C® 38-10®
W + llD y *0 3 4.710-7 1 , 1 . 10-7 18-1C® 44-10®
W -f- 17Dy,03 7 , 5 - 10- 7 1, 2 - 10- 24-1C® 48-10®
64
зионно-вязкого течения, так и обычных процессов объемной диф
фузии.
Для исследуемых материалов (R 20 3— 11— 17% ) значения на
ходились в пределах 5 •10—4—1-1СГ2.
Проведенные исследования кинетики спекания композицион
ных материалов типа VV—R 20 3 в вакууме позволили установить
оптимальные режимы спекания образцов. В частности, увеличе
ние продолжительности выдержки до начала усадки образцов
с одного часа (режим 1) до 4 ч (режим 2) способствовало снижению
содержания примесей в 2—5 раз (табл. 1). Уменьшение количества
примесей в материалах способствовало повышению их механичес
кой прочности в 1,2—1,5 раза (табл. 2) и снижению скорости их
эрозии в 5 —10 раз (табл. 3).
Таким образом, изучение кинетики спекания композиционных
материалов типа W —R 20 3(R —Y ; Sm; Dy) показало, что скорость
уплотнения их частиц в вакууме определяется как объемным содер
жанием окисной присадки в вольфраме, так и термодинамической
ее устойчивостью в контакте с ним.
ЛИТЕРАТУРА
1. А мосов В . М ., К а р ел и н Б . А ., К убы ш ки п В . В . Электродные материалы
на основе тутоплавких металлов. М.: Металлургия, 1976. 223 с.
2. Импульсные источники света: Сб. ст./Под ред. И. С. Маршака. М.: Энер
гия, 1978. 472 с.
3. Тургенев И. <7., З ам е сова Г . 3 ., А м осов В . М . — В кн.: Получение, свой
ства и применение тонких металлических порошков. Киев: Наук, думка,
1971. с. 123—127.
4. Л евицкий В . А ., Ч енцов В . И. и др.— Изв. АН СССР. Неорган. мате
риалы, 1980, т. 16, № 6, с. 949—959.
5. С к ор оход В. В . — В кн: Теория и технология спекания. Киев: Наук,
думка, 1974, с. 79—86.
УДК 621.317.7
О ПРИРОДЕ ВЫСОКОПРОЧНОГО с о с т о я н и я
СП ЛА ВА MP47B1I
В. А. Лихачев, Ю. И. Патрикеев, Т. Г. Петрова, Л. .1. Сербина,
Ю. М. Сидоров, Н. А. Фирсова, Л. Q. Шибалова
66
Рис. 2. Дислокационная струк"
тура па ранних стадиях деформа'
цип. Кручение надрезанных об
разцов
а — деформация 20%, ув."8500; б — де
формация 60!о, ув. 16 000; о — деформа
цця 100 о.ув. 8500
3* 67
образцов давало возможность исследовать конечные этапы де
формации, которая была существенно неодинакова на различном
удалении от устья прорастающей трещины.
Структуру сплава изучали методом просвечивающей электрон
ной микроскопии на приборе ЭМВ-100Л при ускоряющем напря
жении 100 кВ . Фольги приготовляли по следующей методике:
сначала электроискровым способом вырезали пластины толщиной
0,7 мм, которые механически утоняли до 0,07 мм. Далее электро-
струйным методом «окна» с помощью раствора из 15,4% серной
кислоты и 84,6% метилового спирта их доводили до просмотровой
толщины. Плотность тока равнялась 0 ,7 5 — 1,0 А см2. Температура
электролита поддерживалась в пределах 15—20° С. В случае ис
пользования надрезанных образцов окно вытравливали на различ
ных расстояниях от устья трещины от 0,1 до 2 ,0 мм, т. е. вплоть
до недеформированной части металла. Когда объектом служили
тонкие ленты или проволоки, окно изготовляли непосредственно
в них без предварительного механического утонения. В процессе
электрохимической обработки образовывалась тонкая поверхност
ная пленка, которую удаляли промыванием фольг сначала в ме
тиловом спирте, а затем в дистиллированной воде.
Результаты опытов сводятся к следующему. Исходному после
переплава состоянию отвечала структура, показанная на рис. 1.
Типичным было наличие одиночных дислокаций, которые иногда
переплетались между собой, но развитых ансамблей не образовы
вали, располагаясь довольно равномерно по объему. Важно под
черкнуть, что ячеек не было совсем. В значительной части объема
имелись прямолинейные дислокации (рис. 1, а), которые, как по
казала расшифровка, были чисто винтовые. Во многих местах были
видны диполи дислокаций и петли дислокаций с характерным рас
положением (рис. 1, б).
Наконец, изредка обнаруживался контраст, аналогичный кон
трасту на дефектах упаковки (рис. 1, в).
Деформированному состоянию отвечало гораздо более сложное
строение. Уже при малых деформациях (например, вдали от над
реза или при первых проходах через ручьи вальцов) плотность дис
локаций резко возрастала, причем дислокации сравнительно рав
номерно заполняли объем металла, как показано на рис. 2, а.
В дальнейшем наряду с увеличением общей плотности дислокаций
начиналось их группирование в полосы пли конфигурации, похо
жие на ячейки сильно вытянутой формы и без четких границ
(рис. 2, б). Эти образования постепенно измельчались, разорпен-
тация соседних участков кристалла увеличивалась (рис. 2. в),
причем полосы нередко развивались по двум системам. В опытах
с кручением на этой структурной стадии уже начиналось разруше
ние (деформация около 100% ), причем трещина шла исключитель
но по наиболее развитым межфрагментным границам.
Прокат или волочение позволяли получать гораздо большие де
формации. В одних случаях они оканчивались расслоением, в дру
гих — без видимых признаков разрушения — удавалось сооб
68
щить суммарное удлинение металлу до 10®% и более. Если насту
пало расслоение, дислокационное строение морфологически мало
отличалось от изображенного на рис. 2, в. Однако плотность дис
локаций достигала такой величины, что одиночные дефекты или
не разрешались совсем, или только в отдельных случаях. Их рас
пределение было сравнительно равномерным, хотя наблюдались
признаки наступающей фрагментации. Границы фрагментов про
сматривались неотчетливо, они скорее напоминали области с по
вышенной плотностью дислокаций. Размеры фрагментов составили
около 0,1 мкм, а разориентацня, оцененная по азимутальным уг
лам и углам наклона, тяготела к 1—2°. Представление о сказанном
дает фотография на рис. 3, а, хотя можно было найти участки и
с иным строением (таким, например, как на рис. 3, б, о чем сказа
но ниже).
В нерасслаивающемся сплаве картина оказалась совершенно
иной. В этом случае, как правило, образовывались фрагменты,
имеющие чрезвычайно четкие узкие границы и слегка вытянутую
форму. Их наиболее вероятные поперечные размеры в очень боль
шом диапазоне деформаций равнялись приблизительно 0,3 мкм,
а вытянутость, оцененная по отношению максимального размера
к минимальному, составляла 1,25. Разориентацня соседних фраг
ментов приближалась к 5 — 10°. Внутри них дислокации отсут
ствовали полностью, притом практически без исключений. На
рис. 3, б изображен пример такой структуры. Рис. 4 иллюстрирует
распределение этих образований по размерам и форме. Изредка
можно было встретить участки и со структурой, аналогичной той,
которая показана на рис. 3, а. Наконец, следует отметить, что в ме
талле, про деформированном до начала разрушения, по границам
фрагментов наблюдались микротрещины. Последнее обстоятель
ство полностью соответствует наблюдениям в [21, где такие трещи
ны былп найдены с помощью растрового микроскопа на боковой
поверхности.
На основании изложенного можно прийти к следующим за
ключениям: в тщательно приготовленном сплаве МР47ВП нет раз
витой дислокационной структуры. Расположение редко встречаю
щихся дислокаций в значительной мере определяется их сильным
расщеплением. По этой причине доминируют либо отрезки с вин
товой ориентацией, либо диполи.
По мере деформации сначала происходит существенное размно
жение дислокаций, а затем они начинают группироваться в скоп
ления, вызывая некоторую разориентацию кристалла. Дальней
шая эволюция связана с возможностью реализации двух каналов:
если упругая энергия скоплений достигает величины, сравнимой
с работой разрушения, наступает расслоение. Оценки показывают,
что расслоение начнется при плотности дислокаций порядка
1013 см-2 . Альтернатива же расслоению заключается в образовании
фрагментированной структуры (см. рис. 3, б). Непонятно, почему
в одном случае легче разрушить материал, нежели его фрагмен
тировать, а в другом — наоборот. Но несомненно, что сам факт
69
Рис. 3. Дислокационная структура на очень поздних стадиях деформации.
Прокатанные ленточки
а — структура, типичная для расслаивающегося металла, ув. 20 000; 6 — структура, ти
пичная для высокопрочного состояния, ув. 16 000
мкм~1
70
способность дислокаций к построению границ разориентации дол
жна быть понижена уже просто из-за меньшей их подвижности при
поперечном скольжении.
Подчеркнем тот факт, что у МР47ВП, как и у молибдена, фраг
ментация идет в одну стадию. Многостадийность, отмечавшаяся
в [41 для меди, у МР47ВП не наблюдается.
Из данных настоящей работы становится понятной природа
высокопрочного состояния нагартованного сплава молибден—
рений. Как видно из рис. 3, б, единственным препятствием движе
нию решеточных дислокаций служат границы разориентации.
Ими дислокации должны испускаться, так как нет других источ
ников дислокаций, на них дислокации и исчезают, так как нет
других стоков. Поскольку удовлетворительная теория взаимодей
ствия дислокаций с границами не создана, трудно объяснить ме
ханизм упрочнения н деталях, но фактором, несомненно влияющим
на уровень достигаемого упрочнения, должна служить энергия
дефектов упаковки. Возможно, этим же объясняется, почему ме
талл либо расслаивается (большая энергия дефектов упаковки
препятствует образованию фрагментов), либо деформируется даль
ше (умеренно низкая энергия дефектов упаковки обеспечивает
достаточную для фрагментирования подвижность дислокаций).
ЛИТЕРАТУРА
71
новные предпосылки создании сплавов с заданными свойствами
1 1 -5 ].
Наиболее перспективными для создания особо прочных сплавов
по комплексу своих свойств оказались сплавы тугоплавких ме
таллов VI А группы— вольфрама и молибдена — с рением. Высо
кая растворимость рения, обладающего ГП У решеткой, в ОЦК
металлах вольфраме и молибдене позволяет создать на основе этих
твердых растворов различные композиции конструкционных де
формируемых материалов.
На основе системы Mo—Re Е . М. Савицким, М. А. Тылкиной
и 3 . А. Тимофеевой [61 был ранее разработан вакуум-плавленый
сплав молибдена с 47 мае. %. Re марки М Р47ВП , прочность кото
рого достигает 350 кге'мм2. Проволока и лента микронного сечения
из этого материала в настоящее время используются в приборах
в виде упругих элементов [2 —7].
Дальнейшее развитие приборостроения выдвинуло ряд допол
нительных требований к материалам для упругих элементов.
Одним из основных является сочетание повышенного разрывного
усилия с минимальным противодействующим моментом упругого
элемента. Это соотношение характеризуется повышением так на
зываемого коэффициента пригодности Z [3], который выражается
отношением прочности материала а„ к его модулю сдвига:
Z = o B/-\/'G.
В настоящее время максимальное значение Z, равное ~ 3 — 3,5,
имеют упругие элементы из сплава МР47ВП. Увеличить Z мож
но либо повышением предела прочности материала до 500 кге/мм2
и выше, либо снижением его модуля сдвига.
Нами был выбран путь создания сплавов в высокомодуль
ных системах, где может быть получена высокая прочность. Воз
можность получения высокой прочности в системах вольфрама и мо
либдена с рением обусловливается двумя эффектами, обнаружен
ными в этих системах: так называемым рениевым эффектом, обна
руженным в Англии [1], и рениевым эффектом наклепываемости,
обнаруженным Е . М. Савицким и М. А. Тылкиной [3, 51. Рениевый
эффект заключается в уникальном влиянии, оказываемом рением
на металлы VIA группы: одновременном повышении прочности
и пластичности, снижении температуры перехода в хрупкое
состояние, сохранении пластичности после рекристаллизации и
сваркп.
Механизм рениевого эффекта до сих пор до конца не разгадан.
Этому вопросу посвящено большое число работ у нас в стране и
за рубежом. В ряде работ Джаффи, Трефилова, Савицкого, Тыл
киной и других авторов рениевый эффект объясняется с разных
позиций [2, 51. К возможным причинам, обусловливающим это
явление, относятся изменение структуры и распределения окислов,
изменение электронного строения сплавов и характера дислока
ционной структуры, образование двойников деформации и изме
нение растворимости примесей внедрения. По мнению авторов,
72
основными причинами рениевого аффекта является нейтрализа
ция охрупчивающего влияния углерода на вольфрам и молибден
в связи с повышением растворимости углерода в вольфраме и мо
либдене в присутствии рения, а также образованием тройной кар
бидной фазы, обладающей сочетанием высокой прочности и пла
стичности и резко отличающейся по свойствам от хрупких карби
дов вольфрама и молибдена.
Кроме того, одной из причин высокой пластичности сплавов
при их деформировании является изменение механизма деформа
ции. В сплавах, представляющих двойные и тройные твердые рас
творы рения в вольфраме и молибдене с ОЦК решеткой, имеет
место не только скольжение, как это свойственно ОЦК металлам,
но и двойникование — типичный механизм для ГПУ металлов.
Этот дополнительный механизм деформации и приводит к облег
чению пластической обработки. Появление двойников деформации
наблюдается в сплавах, расположенных в области насыщенных
твердых растворов вблизи границ растворимости.
Рениевыи эффект наклепываемости заключается в резком де
формационном упрочении двойных и тройных твердых растворов
рения в вольфраме и молибдене, обладающих ОЦК-решеткой,
по сравнению с, прочностью нелегированных вольфрама и молиб
дена. При этом сохраняется их деформируемость, допускающая
сверхвысокие степени обжатия — свыше 99% . По мере увеличе
ния содержания рения эффект наклепываемости увеличивается.
В работе исследовались сплавы двойной системы вольфрам—
рений и тройной W —Mo— Re. Были выбраны двойной сплав воль
фрама с 27 мае.% Re марки ВР27ВГ1 и ряд тройных сплавов систе
мы W —Mo—Re с различным соотношением компонентов. Иа рис. 1
представлены составы изучающихся сплавов, нанесенные на трой
ную диаграмму состояния. Все сплавы находятся в области твер
дых растворов и имеют ОЦК решетку. Граница растворимости
тройного твердого раствора \V—Mo — Re при 1000° С простирается
от предела растворимости рения в вольфраме (32°6 Re) до предела
растворимости рения в молибдене (49 мае. % Re) и несколько вы
гнута в сторону твердых растворов W — Re. При 1750° С и в литом
состоянии область твердых растворов несколько шире. В системе
образуется тройная a-фаза. В сплавах, расположенных в области
тройных твердых растворов, наблюдается образование двойни
ков деформации. На диаграмме нанесена граница двойникования
(рис. 1).
Сплавы получали методом вакуумной дуговой и зонной элект
ронно-лучевой плавки с последующей деформацией горячей ков
кой и волочением. Деформационное упрочнение достигалось пу
тем холодного волочения проволоки с диаметра 1 мм со степенью
обжатия 90—99% . Ниже приводятся результаты исследования уп-
рочняемости, противодействующего момента, модуля сдвига и
коэффициента пригодности новых сплавов.
Важной характеристикой упругих элементов является проти
водействующий момент М. Его величина зависит как от геометрии
73
6й,кгс/нмг
75
Рис. 3. Зависимость предела прочности, противодействующего момента и
модуля сдвпга проволоки из сплава BMP ( 2 0 :3 5 :3 5 ) от степени холодной
деформации
Рис. 4. Зависимость предела прочности и противодействующего момента
ленты из сплава BMP (10 : 45 : 45) от степени обжатия при теплом плющении
а — лента из проволоки диаметром 70 мкм; О — 100 мкм
Рис. 5. Поверхность и кромка ленты из сплава BMP (10 : 45 : 45), ув. 500
а — теплое плющение; О — холодное плющение
76
100 и 70 мкм из сплава W —Мо—Re (10 : 45 : 45) с прочностью 460
и 430 кгс'мм2. Как видно из рисунка, исходная прочность проволо
ки практически сохраняется у ленты, деформированной со сте
пенью обжатия 70—80% до коэффициента формы 8 — 10, при этом
достигается резкое снижение противодействующего момента за
счет изменения формы поперечного сечения (например, с 231
до 19 мгс-см при прокатке проволоки диаметром 100 мкм).
На рис. 5 приведены характерные фото поверхности и кромок
ленты из тройного сплава после теплого плющения. Для сравнения
показана лента пз этой же проволоки, подвергнутой холодному
плющению. Как видно, поверхность и кромка ленты после теплого
плющения не имеют дефектов. Получить качественную ленту из
этой же проволоки холодным плющением невозможно — на по
верхности видны многочисленные расслои и рваные края.
На основании проведенной работы можно сделать следующее
заключение. Разработаны сплавы двойных и тройных систем воль
фрама и молибдена с рением и методы их деформации, позволяю
щие получить проволоку с прочностью до 600 кгс/мм2 в сочетании
с минимальным противодействующим моментом.
Показана принципиальная возможность получения ленты проч
ностью 400—450 кгс/мм2 с коэффициентом формы 10—12 методом
теплой прокатки.
Авторы выражают благодарность члену-корреспонденту АН
СССР Е. М. Савицкому за ценные замечания, сделанные при вы
полнении данной работы.
ЛИТЕРАТУРА
1. С авицкий Е. М.. Ты лкина М. А ., П оварова К . Б. Сплавы рения. М.:
Наука, 1965. 335 с.
2. Ренин в новой технике: Сб. ст. М.: Наука, 1970. 204 с.
3. Исследование и применение сплавов рения. Сб. ст. М.: Наука, 1975.
204 с.
4. Физико-химические свойства сплавов рения. М.: Наука, 1979. 315 с.
5. С авицкий Е. М., Т ы лкина М. А ., Л евин А. М. Сплавы рения в электро-
пике. М.: Энергия. 1980. 216 с.
6. Савицкий Е. М ., Тимофеева 3. А ., Тылкина М. Л. — В кк.: Новые мате
риалы в электропрнборостроеннн. М.: ОНТИпрнбор, 1965, с. 51—63.
7. Л ихачев В . А ., Н иконов Ю. Л ., П ет рова Т. Г . , П он ом ар ев А . П . — Пробл.
прочности. 1977. Лг 3, с. 99 —101.
8 . К лим ов К . Л/., Ш ны рев Г . Д ., Новиков И . И . — ДАН СССР, 1974, т. 219,
Лг 2. с. 3 2 3 -3 2 4 .
9. Климов К. М.. Ш нырев Г . Д ., Новиков И. //., И саев А . В . — Изв. АН
СССР. Металлы. 1975, № 4, с. 143—146.
УДК 609.28'5.8i»:583.e53.t
ИССЛЕДОВАНИЕ
МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИ СТИ К
ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ ИЗ СПЛАВОВ W и Mo с Re
Л. М. Вулихман, II. Л. Гроссман, Л. Л. Жданова,
В. Ф. Семенюк, М. А. Ты лкина, Г, Д. Шнырев
К = Т Г = ' ( ‘ +2|«) + - ^ - ,
где R — сопротивление тензорезистора; е — относительное удли
нение; р — коэффициент Пуассона; р — удельное сопротивление.
В прецизионной тензометрии широкое применение находят тензо-
резисторы из константана. Для таких тензорезисторов К =
= 1 ,9 -= -2 ,1 .
При измерениях используют мостовую схему с одинаковыми
тензорезисторами в каждом плече. При этом
и„ Д — А Я, — А — ДД4 — г ,-
Ur 4R 4R
Отсюда видно, что создание материалов для тензорезисторов
с К > 2 позволит увеличить выходной сигнал.
В работе [1] исследовано влияние упругой деформации на
электрическое сопротивление тонких проволок вольфрама, мо
либдена, рения и их сплавов W —R e (марки В Р 27ВП ) и Мо—R e
(марки М Р47ВП). Показано влияние растягивающей упругой на
грузки на коэффициент тензочувствительности. В этой же работе
установлено, что процессы механической тренировки (число цик
лов нагружений свыше 4 0 —50) оказывают стабилизирующее влия
ние на коэффициент тензочувствительности.
Исследование тензорезисторов из напыленного сплава В Р 2 7 В Г
78
выполнено в работе [21. Как показали исследования, напыленные
тензорезисторы характеризуются большим разбросом характе
ристик и худшими метрологическими показателями. Поэтому пред
ставляет интерес исследование метрологических характеристик
проволочных тензорезисторов из сплавов на основе W —Re и
Mo—Re.
Для изготовления тензорезисторов и для исследования свойств
опытных сплавов ВР27ВП и МР47ВП использовали проволоку
диаметром 12 и 20 мкм. Проволоку изготовляли из слитков ва
куумной плавки и подвергали обычным методам пластической де
формации — горячей ковке и волочению с промежуточными отжи
гами. К проволоке для изготовления тензорезисторов предъяв
лялись определенные требования по прочности и пластичности.
Оптимальные результаты были получены на проволоке, имеющей
предел прочности о„ — 150 -г- 200 кгс/мм2 для ВР27ВП и 120—
150 кгс/мм® для МР47ВП при удлинении 10— 150/о соответствен
но. Для достижения требуемых характеристик деформированная
проволока диаметром 12 и 20 мкм подвергалась рекристаллиза-
ционному отжигу в атмосфере водорода при 1400° С, что обеспе
чило получение мелкозернистой полиэдрической структуры этих
сплавов.
В таблице приведены значения коэффициентов тензочувстви-
тельности, электросопротивления и его температурных коэффи
циентов, температурных коэффициентов линейного расширения
и прочности для исследованных нами сплавов ВР27ВП и МР47ВП.
Для сравнения в этой таблице приведены свойства вольфрама,
молибдена, рения и некоторых материалов, используемых в на
стоящее время в тензометрии.
Для исследования метрологических характеристик проволоч
ных тензорезисторов применен метод определения выходных сиг-
Й
о »S Я
Коэффи О
Предел
циент Sgs ЕС Е
«С
3
сС прочно
Материал Состав, мас.% тензочув- eueio
н сэ ^ а сти а в ,
ствитель- -и
иоети gS* к? кгс/мм-
НЕ
5,6
1
о
i,i
о
0
79
налов тснзорезисторных винтовых преобразователей, при котором
исключается возможность влияния клеевого подслоя на процесс
передачи деформации от упругого элемента к тензорезистору.
Тензорезисторы из проволоки наматывались с определенным натя
гом на упругий элемент. Преобразователь силы (рис. 1) выпол
нен на номинальную нагрузку 320 кН. При этом в ребрах упругого
элемента 5 возникают напряжения растяжения сгр = 350 МИ/м2,
в ребре 4 — напряжения сжатия асж = —350 МН/м2.
80
-о,га
81
ЛИ ТЕРА ТУРА
УДК 546.3-19:620.1
Н О ВЫ Е ИЗНОСОСТОЙКИЕ М А Т ЕРИ А Л Ы
Д Л Я О ТВЕТСТВЕН Н Ы Х П А Р ТРЕН И Я
С. Г. У скова, В. В. Докуяалова
82
способностью к схватыванию с сопряженным материалом, что поз
воляет использовать их в различных областях техники.
Сплавы R e —Со обладают более высокими антифрикционными
свойствами, чем компоненты. Причем оптимальным следует счи
тать сплав, состав которого соответствует средней части двойной
системы Со—Re.
В ранее проведенной работе Е. М. Савицким, М. А. Тылки-
ной и В . А. Сольц [4] был разработан износостойкий немагнит
ный сплав на кобальтовой основе, легированный рением, для кер
нов вибропрочных электроизмерительных приборов с тяжелой
подвижной частью. В настоящее время прецизионный сплав мар
ки 40КХНМИ (Re) выпускается промышленностью [5].
Литературных данных по исследованию износоустойчивости
сплавог рения с вольфрамом и молибденом нет. По нашему мне
нию, высокие твердость и прочность в сочетании с большими зна
чениями 'ударной вязкости позволяют считать эту группу сплавов
также весьма перспективной для использования в качестве мате
риалов узлов трения. Эти сплавы технологичны, что позволяет
получать из них путем пластических деформаций проволоку мик
ронных сечений.
Исследование свойств рениевых сплавов проводили в сравне
нии с аналогичными свойствами трех групп материалов, приме
няемых для узлов трения: сталей, твердого сплава и прецизион
ных сплавов. Исследования вели с учетом масштабного фактора
(т. е. размеров и состояния поверхностных слоев), влияние кото
рого на конструктивную прочность деталей малого размера велико.
Исследовали три сплава рения: ВР27ВП , МР47ВП и многокомпо
нентный прецизионный кобальт-рениевый сплав 40K X H M II(R e).
Сплавы М Р47ВП и ВР27ВП исследовали в нагартованном и отож
женном состоянии. В группу сталей входили: коррозионностой
кая сталь 11Х18М . быстрорежущие — Р6М5, Р6М5К5, мартен-
ситностареющие — Н12К16М10Ю Т, В6К 17М 6Х7.
Прецизионные сплавы представлены сплавами 40ХН Ю ВИ ,
4 5К Х В Н , а металлокерамические сплавы — твердым сплавом
BRIO ( W C - 9 0 % , Со - 10% ).
Сплавы рения МР47ВГТ и ВР27ВП используются для ответст
венных упругих элементов (торсионов, растяжек, подвесок
и т.п.), обладают высокой прочностью при статических и динами
ческих нагрузках, высокими упругими характеристиками и не-
магнитностью в сочетании со способностью деформироваться в хо
лодном состоянии с очень высокими степенями обжатия до тол
щины (диаметра) в несколько микрон.
При деформации сплавов Мо—Re и W — Re проявляются два
эффекта: так называемый рениевый эффект, заключающийся в по
вышении пластичности вольфрама и молибдена, что позволяет
их деформировать в холодном состоянии с высокой степенью об
жатия, достигающей 9 9 ,9 % , и рениевый эффект наклепываемости,
заключающийся в сильном упрочении этих сплавов, прочность их
достигает 400—600 кгс/мм2 [1].
83
Прецизионные сплавы (деформационно-стареющие на основе
системы Со—Сг— Ni и дисперсионно-твердеющие на основе си
стемы Сг— Ni) обладают высокими упругими и прочностными ха
рактеристиками (ств до 300 кгс/мм2): усталостной прочностью,
твердостью, сопротивлением износу, немагнитностью и корро
зионной стойкостью во многих средах [6]. Высокие прочностные
и упругие свойства сплавы 40KXH M H (Re) и 4 5 К Х В Н приобретают
после закалки на у-твердый раствор, обязательной холодной де
формации и последующего упрочняющего отпуска. Сплав
4 5К Х В Н имеет повышенную твердость, прочность и износостой
кость.
Дпсперспонно-твердеющий сплав 40ХН Ю ВИ [6] по уровню
механических свойств близок к сплавам, указанным выше. Уп
рочнение сплава происходит в процессе старения. Для деталей,
которые должны иметь высокую твердость и прочность (например,
приборные подшипники), оптимальной термической обработкой
является закалка при температуре 1150° С с последующим отпус
ком при 500° С в течение 5 ч.
Представителем группы металлокерамических твердых спла
вов был выбран сплав В К 10 на основе системы W C—Со. Сплав
мелкодисперсный, химически неактивный, полученный методом
горячего прессования. Металлокерамические твердые сплавы
обладают рядом ценных свойств. Одно из них — высокая твердость,
более 89 H RA , сочетающаяся с высоким сопротивлением износу
и теплостойкостью до температур 700° С [7]. Недостатком этих
сплавов является их низкая ударная вязкость.
Сталь 11Х18М относится к группе полутеплостойких корро
зионностойких сталей. Она обладает несколько повышенной кар
бидной неоднородностью, тем не менее используется для изготов
ления хирургических инструментов, прецизионных малогабарит
ных подшипников качения, т. е. в изделиях, от которых требуется
повышенная твердость и износо тойкость [8]. После закалки,
в случае необходимости, проводится обработка холодом при темпе
ратуре —70° С, которая в зависимости от результатов закалки
повышает твердость на 1 ч-З HRC. Однако повышение твердости
вызывает снижение прочности и вязкости.
Стали Р6М5. Р6М5К5 входят в группу теплостойких сталей вы
сокой твердости, называемых быстрорежущими, и используются
для режущих инструментов. Быстрорежущие стали сочетают теп
лостойкость при температуре 6 0 0 —650° С с высокой твердостью
(63—66 HRC) и повышенным сопротивлением пластической де
формации. Эти стали повышают стойкость инструмента в 4 —5 раз
[8]. Сталь Р6М 5К5 благодаря наличию кобальта обладает несколь
ко более высокой теплостойкостью, более низкой прочностью и
вязкостью, чем сталь Р6М5.
Из группы мартенситно-стареющих сталей нового класса вы
сокопрочных материалов испытывались стали В6К 17М 6Х 7 и
Н12К16М 10Ю Т, [9, 10]. Этот класс сталей отличается низким
содержанием углерода ( ~ 0 ,0 3 % ) . Упрочнение сталей наступает
84
при старении низкоуглеродистого мартенсита в результате выде
ления мелкодисперсных пнтерметаллндов. Достоинством мартен-
ситно-ста реющих сталей является их технологичность, отсут
ствие обезуглероживания при термообработке, практически пол
ное отсутствие деформации и изменения размеров после старения.
Исследования физпко-механических характеристик материалов
проводили на цилиндрических образцах диаметром 0,4 мм, д л и
ной 3 мм. На одном конце образца выполнялась сферическая пята
радиусом 0,4 мм. Шероховатость рабочих поверхностей образцов
составляла Rz 0 ,1 —0,2 мкм. Дефекты поверхности по глубине не
превышали 0,2 мкм. Использовались и другие образцы, описанные
ниже.
Исследовали следующие характеристики: микротвердость //ц,
ударную вязкость а , износостойкость , вибростойкость, коэффи
циент трения / или момент трогания Л/тр и полученную при обра
ботке шероховатость поверхности.
Микротвердость измеряли на приборе ПМТ-3 на плоских
шлифах с шероховатостью поверхнстн Нг — 0,2 мкм, полученных
механическим шлифованием. Ударную вязкость определяли на
маятниковом копре на цнлиндрическпх образцах диаметром 0,4 мм.
Износостойкость исследовалась на многопозиционном приборе
трения, на котором одновременно могут испытываться 16 образцов
[11]. При испытании цилиндрический образец диаметром 0,4 мм
со сферой на конце скользит по плоскому вращающемуся контр
телу диаметром 10 мм, изготовленному из лейкосапфира (сфери
ческий образец смещен с оси вращения контртела). Испытания
вели в жидкой среде при нормальной температуре н контактных
давлениях в начальный момент ~ 4 0 0 кгс/'мм2. Линейные скорости
при испытании не превышали 0,5 м'мин. Износостойкость мате
риалов оценивали по диаметру пятна износа Da за установленное
время опыта или за путь трения S при постоянной линейной ско
рости.
Вибростойкость сплавов определяли по степени износа сфери
ческой поверхности образцов в зоне контакта их с лейкосапфпром.
Износ характеризуется появлением пор на рабочих поверхностях,
общим притуплением радиуса пяты R , иногда появлением плоских
участков диаметром d и участков с изменением знака кривизны
поверхности. Кроме пластических деформаций поверхности, при
длительном воздействии вибрации наблюдается усталостный износ
в виде раковин, приводящий к разрушению поверхности — вы
крашиванию. Вибрационные режимы были постоянными и лежа
ли в диапазоне частот от 1 до 12 g. Испытания проводились в жид
кой среде при температуре 75° С в течение 100 или 300 ч.
Момент трогания определялся на маятниковом стенде в кам-
невых опорах скольжения с диаметром цапфы 0,4 мм, с радиаль
ным зазором в пределах 0,004—0,007 мм, в жидкой среде при тем
пературе 75° С и нагрузке на две опоры в 1 гс [11].
Результаты исследований представлены в таблице.
85
Ф и зи к о -м ехан и ческ и е св о й ства и ссл ед о ван н ы х м а т ер и а л о в
Износо Вибростойкость,
£с
стойкость d, мкм
S £ 8
£ о *
Марка £X £ к
«
2X
8X £ о 8X г
=1 о7 100 ч 300 ч .в
в' н*
н я
d Q ► ч о С <
86
Д п ,« К М
87
тоспособности в условиях вибрационных нагрузок. В связи с дли
тельностью и сложностью исследований в ряде случаев испытания
при вибрации проводились только в течение 100 ч. Сталь
Н12К16М10Ю Т вибрационным испытаниям не подвергалась в свя
зи с низким значением ударной вязкости и низкой износостойко
стью при скольжении. Из сплавов, содержащих рений, испытыва
лись только нагартованные сплавы В Р 2 7 В П , М Р47ВП и преци
зионный сплав K 40H X M II(R e) [12]. Для прецизионных сплавов
даны результаты двух испытаний. Первые значения — для спла
вов после механической обработки. Вторые — после вибрацион
ного упрочнения в течение 100 ч и механической полировки. Твер
дый сплав В К 10 ускоренным испытаниям в течение 100 ч не под
вергался.
Наибольшей впбростойкостью по ускоренным испытаниям
обладают:
1) сплавы рения: 40K X H M Il(R e), упрочненный, d = 0 -ч-
-г—20 мкм; М Р47ВП , d — 0 -н 30 мкм;
2) прецизионный сплав 4 5 К Х В Н , упрочненный, d = 0 -н
-г- 20 мкм;
3) быстрорежущие стали: Р6М 5К5, d = 30 ч - 45 мкм; Р6М 5,
d = 25 -f- 45 мкм.
При длительных вибрационных испытаниях (300 ч) наилучшпе
результаты получены на сплаве М Р47ВП , твердом сплаве и стали
Р6М 5К 5, полученной методом порошковой металлургии.
В таблице приведены также данные по прочности и относитель
ному удлинению материалов.
В связи с тем, что все исследования выполнялись с целью под
бора материалов для ответственных пар трения, были определены
характеристики трения. Для сплавов, содержащих рений, коэф
фициент трения /, определенный на четырехшариковом трпбомет-
ре [11] в жидкой среде на образцах диаметром 3 x 6 мм с полу
сферой 1.5 мм равен 0,11, для стали 11Х18М и сплава В К 1 0 —
0,1. Для остальных материалов коэффициент трения не опреде
лялся в связи с невозможностью изготовления образцов диамет
ром 3 мм с теми же свойствами, что и деформированные проволоки
диаметром 0 ,5 —0,7 мм из испытанных материалов. Однако по ве
личине момента трогания Мтр, определенного маятниковым мето
дом, на образцах диаметром 0,4 мм в жидкой среде при нагрузке
1 Гс можно сделать вывод, что коэффициенты трения их близки.
Все исследованные материалы относятся к группе труднообра
батываемых. Для изготовления мнкрообразцов и шлифов для каж
дой группы материалов разрабатывалась специальная техноло
гия. Шероховатость поверхности и ее дефекты оценивались на
микроинтерферометре МИИ-15 при увеличении ~ 5 0 0 . К дефектам
относились риски, царапины, поры, карбиды и т. д. На сплаве
В К 10 и сплавах рения была получена поверхность с шерохова
тостью в пределах R z = 0,1 мкм, на остальных образцах — в пре
делах R z = 0,2 мкм. Были определены дефекты поверхности на
сплаве В К 10 протяженностью 1 ,5 —3 мкм и глубиной до 0,1 мкм.
88
На стальных образцах наблюдались карбиды, поры и отдельные
риски от обработки по глубине до 0,4 мкм и по протяженности не
более 10 мкм. На прецизионных сплавах шероховатость поверх
ности также была в пределах R z = 0,2 мкм. Столь высокий класс
шероховатости поверхности безусловно способствует повышению
износостойкости, ударной вязкости и коррозионной стойкости
испытанных образцов и позволяет изготавливать детали с высо
кой точностью.
Таким образом, проведенные комплексные исследования пока
зали перспективность использования в качестве материалов для
узлов трения сплавов рения с вольфрамом и молибденом В Р 27В П ,
МР47ВП и многокомпонентного сплава K 40H XM II(Re) в услови
ях вибрационных и ударных нагрузок.
ЛИТЕРАТУРА
1. Савицкий Е. Л/., Т ы лкина М . А ., Л еви н А . XI. Сплавы рения в электро
нике. М.: Энергия, 1980. 215 с.
2. Семенов А . Я ., К а ц у р а А , А ., П оздн я ков В . В . — Машиноведение, 1972,
№ 6, с. 1 7 4 -1 7 9 .
3. Семенов А . 77., П оздн я ков В . Я ., К а ц у р а А . А . — В кн. Исследование
и применение сплавов рения. М.: Наука, 1975, с. 174—179.
4. Савицкий Е . Л/., Т ы лки н а Л/. А ., Сольц В . А . - Металловедение и терм,
обраб. металлов., 1962, № 6, с. 10—14.
5. С ольц В . .4., Супова XI. £ ., Б ед р ет д и н ов а XI. А . — В кн.: Рений в но
вой технике. М.: Н аука, 1970, с. 120—124.
6. Прецизионные сплавы: Справочник/Под ред. Б. В. Молотилова. М.: Ме
таллургия, 1974. 447 с.
7. Т рет ьяков В . И . Металлокерамические твердые сплавы. М.: Металлург-
издат, 1962. 592 с.
8. Г ел л ер Ю . А . Инструментальные стали. М.: Металлургия, 1975. 584 с.
9. П ер к а с М . Д . ч К а р до н ск и й В . Л/. Высокопрочные мартенситно-старею-
щие стали. М.: Металлургия, 1970. 224 с.
10. Г ел л ер Ю. А ., К р ем н ев Л . С ., Л и н н и к В . А . — Металловедение и терм.
обраб. металлов, 1976, № 5, с. 11 —14.
И . Х ан д ел ъ см а н Ю. М . Автореф. дне . . . . канд. техн. п аук.М ., 1967. 36 с.
12. Х а н д ел ъ см а н Ю. Л/., У скова С. Г . ч Д окуч алова В . В . и др.— В кн.:
Физико-химические свойства сплавов рения. М.: Наука, 1979, с. 74—79*
УДК 66*У)1Р*8
К ВОПРОСУ КОРРОЗИОННОЙ с т о й к о с т и
СПЛАВОВ СИСТЕМ W - Re и Mo - Re
Ю. Н. Петров, В. В. Паршутин, /I. Н. Андреева,
М. А. Тылкина, Л. Л. Жданова
89
занных материалов в различных агрессивных средах. Коррозион
ные свойства вольфрама и молибдена изучены хорошо (3—6),
коррозионные свойства сплавов рения недостаточно исследованы
[6 - 8 ].
Цель настоящей работы — изучение коррозионного поведения
двойных сплавов В Р 27В П и М Р47ВП и для сравнения — их ком
понентов в кислых, нейтральных и щелочных средах.
Для приготовления сплавов использовали следующие металлы:
электролитический порошок рения чистотой 9 9 ,9 % , переплавлен
ный в вакуумной дуговой печи; металлокерамический молибден
в штабиках марки МЧ чистотой 9 9 ,9 % , а также металлокерами
ческий вольфрам марки ВЧ чистотой 9 9 ,9 % .
Сплавы готовили методом вакуумной плавки в дуговой или
электронно-лучевой печи. Слитки сплавов В Р 27В П и М Р47ВП
подвергали открытой горячей ковке. Нагрев под ковку 1450—
1500° С для В Р 27В П и 1100° С для М Р47ВП . Прокованные слитки
в виде пластин толщиной 4 —5 мм многократно прокатывали до
0 ,4 мм на станах горячего и холодного проката с нагревом до тем
пературы 1300— 1100° С соответственно для В Р 27В П и М Р47ВП .
Прокатку пластин толщиной 0,4 мм до толщины 0,2 мм вели на
шестивалковом стане при температуре порядка 800 + 50° С для
сплава В Р 27В П , прокатку сплава М Р47ВП с толщины 0,4 до 0,2 мм
производили вхолодную. В процессе деформации сплавы сильно
нагартовываются, что требует проведения промежуточных отжи
гов при температуре 1500— 1300° С. Исходными образцами для ис
следования коррозионной стойкости служила фольга толщиной
0,2 мм в нагартованном состоянии.
Коррозионные испытания сплавов проводили при комнатной
температуре путем полного погружения образцов в различные по
характеру агрессивные среды. Образцы фольги (размером 0,2 х
х 10 х 10 мм) зачищали шкуркой, не менее суток выдерживали
в эксикаторе над свежепрокаленным СаС12 и перед опытом обез
жиривали ацетоном и промывали дистиллированной водой. Ско
рость коррозии рассчитывали по изменению массы образца.
Анодные поляризационные кривые снимали в потенциодпна-
мическом режиме на вращающемся дисковом электроде диамет
ром 3 мм и на неподвижных пластинках с рабочей поверхностью
10 х 10 мм в ячейках с разделенными анодным и катодным про
странствами. Скорость наложения потенциала 40 мВ/мин. В се из
мерения проведены при 23 + 2° С.
Результаты исследований скорости коррозии приведены в
табл. 1 и 2. В растворе «царской водки» вольфрам, ревий и сплав
В Р 27В П обладают высокой коррозионной стойкостью, тогда как
сплав М Р27ВП совершенно неустойчив (почти в 1000 раз менее ус
тойчив, чем рений). В этом случае скорость коррозии вольфрама
примерно в 3 раза выше, чем скорость коррозии рения, а ско
рость коррозии В Р 27В П того же порядка, что у рения. Неустой
чивость сплава М Р47ВП в «царской водке», вероятно, обусловле
на высокой скоростью коррозии сплава в компоненте раствора —
90
Т аб л и ц а 1. В лияние кислой ср ед ы на ск ор ость коррозии (м г мин)
91
чивее в щелочной среде, чем в) нейтральной, то и сплав W — Re
более стоек в этой среде (одинаково со сплавом Мо—Re).
Анализ потенциодииамических анодных поляризационных кри
вых показал, что в 20%-ном растворе NaCl сплав М Р47ВП актив
но растворяется уже при потенциале (НВЭ) порядка 470 мВ
(рис. 1). Активное растворение этого сплава в 4 8 % -ном растворе
H2S 0 4 происходит при более положительных потенциалах. На по
ляризационных кривых в хлористом натрии наблюдаются при не
высоких числах оборотов дискового электрода три области раст
ворения: активного растворения, пассивации и транспассивности
(рис. 1, кривые 1 —3). Переход от одной области к другой опреде
ляется скоростью ионного транспорта вещества, что проявляется
в наличии предельных токов растворения, имеющих конвектив
но-диффузионно-миграционную природу 12]. Поведение сплава
В Р 27В П в серной кислоте и хлористом натрии обусловлено в пер
вую очередь электрохимическими особенностями вольфрама.
В H2S 0 4 сплав почти сразу же покрывается прочной пассивной
пленкой продуктов анодного растворения вольфрама (рис. 2,
кривая 1 ), активация же поверхности катодным током приводит
к появлению новой области активного растворения. При дальней
шей анодной поляризации эта область исчезает.
В нейтральном растворе хлористого натрия происходит толь
ко избирательное растворение рения на поверхности слоя сплава
при определенных значениях потенциалов; вольфрам не раство
ряется; потенциал начала растворения рения соответствует потен
циалу пика на кривой растворения сплава (рис. 2, кривая 2\
рис. 3, кривая 7). При этом пик при анодном травлении сплава
вольфрам—рений в хлористом натрии выше, чем наблюдаемый
в 48%-ном растворе H2S 0 4.
Исследования показали, что в щелочных растворах независи
мо и равномерно растворяются отдельные компоненты сплава
вольфрам— рений, причем скорость растворения в широкой об
ласти потенциалов определяется замедленностью конвективно-
диффузионно-миграционного переноса ионов ОН к поверхности
анода (рис. 3, кривые 1 —5).
Н. Ю. Мичуковой [2] установлено, что при ионизации вольфра
ма, молибдена и рения в растворах едкого натра наблюдается из
менение механизма ионного транспорта при переходе к высоким
концентрациям щелочи (более 6 Н). До этих концентраций имеет
место замедленность подвода гидроксил — ионов, а при больших
концентрациях — отвода продуктов реакции. Последнее прояв
ляется в резком снижении (до 20 раз) величины предельного тока
(рис. 3, кривая 6).
В растворах щелочи сплав Мо—Re начинает растворяться прп
более отрицательных потенциалах, чем в нейтральных электро
литах (рис. 4). Вид поляризационных кривых подобен тем, что
наблюдаются в нейтральных растворах. Наблюдающиеся предель
ные токи имеют конвективно-диффузионно-миграционную при
роду.
92
itA/cMz
1,А/см2
ЛИТЕРАТУРА
1* Паршутин В. В ., Мичукова Н. 10., Мочалова Г. Л ., Ж данова Л. Л . —
В кн.: Физико-химические свойства сплавов рения. М:. Наука, 1979,
с. 117—124.
2. Мичукова Н. Ю. Автореф. дис. . . . канд. техн. наук. Новочеркасск, 1979.
29 с.
3. Зотиков В . С., Бахмутова Г. Б ., Мансурова X. И ., Смирнова Л. В . —
Защита металлов, 1976, т. 12, № 3, с. 302—304.
4. Коровин Ю. М ., Улановский И. Б .— Защита металлов, 1970, т. 6 , № 1,
с. 9—13.
5. Кащеева Т. Л ., Д убихина В. С., Гадасина Л. Ю., Мещерякова И. Д .,
Рутковский М. Л .— Защита металлов, 1971, т. 7, № 1, с. 11—15.
6 . Коровин Ю. М ., Улановский И. Б . — Защита металлов, 1974, т. 10, № 2,
с. 167—169.
7. Томашов Н. Д ., Матвеева Т. В .— В кн.: Рений в новой технике. М.:
Наука, 1970, с. 150—153.
3 . Бялобжеский А. В ., Владимиров В. Б . — В кн.: Рений в новой технике.
М. Наука, 1970, с. 147—150.
УДК 537*311.31:669.28.293.849
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ
ТРОЙНОГО СПЛАВА НА ОСНОВЕ Nb, Mo, Re
В ОБЛАСТИ ТЕМ ПЕРАТУР 4 ,2 — 400 К
Э. А. Смольянинова, Е. К. Стрнбук, В. И. Тявловский
94
Рис. 1. Ампула для измерения электросо
противления в диапазоне температур
4,2—400 К
1 — держатель; 2 — ампула; 3 — игольчатые
контакты; 4 — втулка с резьбой; 5 — изолирую
щий круг; в, 9 — образцы; 1 — подложка; в —
печь; Ю — образец
Р ис. 2. Кривые изменения электросо
противления сплава в закаленном (1) и
в отожженном (2) состояниях
95
нальной зависимости между удельным электросопротивлением
и параметром электрои-фононного взаимодействия в сплавах пе
реходных металлов с различной зонной структурой.
ЛИТЕРАТУРА
1. Черноплеков П. А ., Панова Г. X ., Самойлов В. И ., ИТиное А. А .—
ЖПТФ, 1973, т. 64, вып. 1, с. 195—203.
2. Коэн Л/., Глэдстоун Г Й е н с е н М. и др. Сверхпроводимость полупровод
ников и переходных металлов. М.: Мир, 1972. 316 с.
3. Смольянинова Э. А ., Шиманская Н. М .— ФММ, 1978, т. 46, вып. 6 ,
с. 1215—1218.
4. Смольянинова Э. А ., Тявловский В. If., Шиманская Н. ЛЛ, Шиман
ский В. П .— Изв. АН БССР, 1979, № 4, с. 106—109.
5. Me M illan W. L .— Phys. Rev., 1968, v o l. 167, N 2, р. 331—344.
УДК 620.1:669.27
ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ВОЛЬФРАМ -РЕН И ЕВЫ Х СПЛАВОВ
II. В. Андреева, Е. И. Павлова, В. И. Тираспольский
96
лени я (/?7т.4к /#29зк) содержание рения определено с точностью
+ 0,05 мас.°о Re для сплава ВР 5 и + 1 мас.°о Re для сплава
ВР20.
В настоящей работе исследованы возможности использования
метода ТЭДС для определения содержания рения в вольфрам-ре-
ниевых сплавах. Известно, что метод ТЭДС широко используется
для контроля гомогенности и комплектования термоэлектродов
из вольфрам-рениевых сплавов. ТЭДС, возникающая между эта
лоном и образцом при определенной температуре, может быть вы
ражена следующим образом:
сум = = Re + н а г» (1)
4 З а к а з Л» 2677 97
З ави си м о ст ь ТЭДС от со д ер ж а н и я рения и проволоке
13Р5
0,50 0,25 0,25 4,95 — 1но
0,50 0 , 15 0,25 4,95 — 120 ^обр ^ ат
0,35 0,25 0,25 4,95 — 180
0 , 35 0,15 0,25 4,95 — 120 ^обр ^ ^эт
0,10 0,20 0,15 5,00 100
0,10 0,32 0 , 15 5,00 80 ^обр ^ ^эт
I3P20
0,50 0,23 0,42 19,85 -И60
0,50 0,58 0,42 19,85 + 120 Со0р < Г ат
0,35 0,32 0,48 19,85 + 100
0,35 0,62 0,48 19,85 4-120 ^обр ^ ^ат
0,10 0 , 95 0 0,55 19, 80 +80
0,10 1, 150 0,35 19,85 + 55 ^сбр ^
98
личие в уровнях нагартовкн между образцами и эталоном на
0,1 мас.% Re возможно считать допустимым.
Аналогичным образом были обработаны результаты измерения
образцов проволоки из сплава В Р 20, которые приведены в таб
лице. Как видно из таблицы, 0,1 мас.% Re при Az3T = Az06P раз
вивает ТЭДС в — 140 мкВ, а уровень нагартовкн. выраженный
в 0.1 мас.% Re, развивает ТЭДС в 13 мкВ. Знак ТЭДС опреде
ляется темн же закономерностями, что и для сплава ВР5.
Величина о во всех случаях оказалась равной 20 мкВ. Все зна
чения величины АТ , отнесенной к 0,1 мае. % Re, для образцов
с одинаковым уровнем нагартовки уложились в интервал 2а, т. е.
в rb 40 мкВ. Это означает, что точность определения содержания
рения в образцах по отношению к эталону, если Az3T r_ Azf,6P,
оставляет + 0,03 мас.% Re.
В таблице показано, что, как и у сплава В Р 5, уровень нагартов
ки образцов не всегда совпадает с эталоном. Однако здесь при раз
личии уровня нагартовки на 0,1 мае. % Re возникает дополнитель
ная ТЭДС в 13 мкВ, что дает ошибку при оценке содержания рения
на 0,01 мас.% Re. Для того чтобы точность определения содержа
ния рения в проволоке из сплавов ВР 5 и В Р 20 была одинаковой,
для сплава ВР20 допустимо различие в уровне нагартовки между
образцами и эталоном на 0,035 мас.% R e, что дает суммарную
ошибку при определении содержания рения 0,065 мае. % Re.
Рассмотрев выше методы определения содержания рения и
установив, что 0,1 мас.% Re может развивать ТЭДС порядка
140—180 мкВ для сплавов В Р 20 и В Р 5, можно оценить влияние
содержания рения на точность измерения температуры. Согласно
действующему ГОСТу, изменение температуры на 100° С вызыва
ет изменение ТЭДС на 1,28 мВ. Известно, что точность вольфрам-
рениевых термопар составляет 0,5% от измеряемой температуры,
что для 1500° С составит 7,5° С, или 96 мкВ.
Сопоставляя этот результат с величиной ТЭДС, развиваемой
0,1 мас.% Re, получаем, что 96 мкВ соответствует примерно
0 . 06.мас.% Re. Таким образом, отклонение от номинала по содер
жанию рения в одном термоэлектроде на 0,1 мас.% Re уже дает
ошибку в измерении температуры больше допустимой.
ЛИТЕРАТУРА
4* 99
У Д К 5 3 9 .v l0 .a
100
метного изменения их размеров. При этом в сплавах вольфрама
происходит более существенное изменение угла взаимной раз-
ориентировки по сравнению с вольфрамом.
Аналогичное совершенствование субструктуры при обработке
в литии происходит в монокристаллах молибдена {1 1 2 }(1 1 1 )
в интервале температур 1570— 1770 К. Па рисунке приведены
101
С тр у к тур н ы е н диф ф узи онны е п а р а м е тр ы н зон е вза и м о д ей стви я лития
е и ссл ед у ем ы м и м а т ер и а л а м и
1
Изменение
е, разори-
Материал Ориентация %
р, см~2 ент., угл. гКобр» £>об, см'/с И д , С М 2/С
мин.
15 -8
о
О
Чл 1770
О
Мо
Мо {1 10 } — — 1 ,5 1770 1 , 5 - 10~18 0 ,5 -1 0 -“
Мо {100} < 10 0 , 20 3 -1 0 - 2 1770 5 ,4 - 10-^ 3 ,0 -1 0 -“
Мо {110} < 100; 25 Ы 0Т 1 ,5 1770 2 ,8 - 1 0 '“ 2 ,2 -1 0 -“
Мо {1 1 2 } <1 1 1 > 25 ~ 108 0 1370 3 ,9 -1 0 -“ 2 ,4 -1 0 '“
—3 1770 1 ,6 -1 0 -“ 3 ,0 -1 0 -“
— 1 1870 9 ,0 -1 0 -“ 1 ,5 -1 0 -“
Полнгонн- 1970 3 ,6 -1 0 -“ 4,8-10“
эация
Мо— 10 мас.°0 { н о } а 1 0 ; 20 - 1 0 9 Рекристал 1770 1 , 7 - 10 “17 1 ,8 -1 0 -“
Re лизация
Мо—27 м а с . ° 0 {110} < 110; 20 ~ 109 То же 1770
Не
102
эффициентами диффузии по субграницам, которые почти на два
порядка выше, чем для iVlo. Существенно увеличивается и глубина
диффузионной зоны. Преимущественная диффузия лития в сплавах
Мо по дислокациям вызывает возникновение напряжений и при
водит к рекристаллизации в диффузионной зоне, что ухудшает
новерхностные свойства. Подобные рекристаллизационные про
цессы при диффузии второго элемента наблюдали и ранее в работе
[ Я где ч диффузионной зоне формировался слой с мелкозернистой
структурой при диффузии азота в хром и в случае диффузии рения
в монокристаллический W (в низкотемпературном интервале —
около 0,5 Гпл) [4J.
Таким образом, установлен двойственный характер влияния
лития на тонкую кристаллическую структуру исследованных
монокристаллическлх материалов, заключающийся в совершенст
вовании или ухудшении субструктуры, протекание динамической
полигоннзации и даже рекристаллизации.
ЛИТЕРАТУРА
УДК «69.017.п
ВЛ И Я Н И Е М А РГА Н Ц А НА СВОЙСТВА
МОЛИБДЕНА
И. И . Л и тви н ова, В . В . Н есговоров, Г . С. Б у р хан о в
103
В качестве исходного материала для приготовления сплавов
служили металлические порошки молибдена и марганца.
Первоначально, используя метод твердофазного введения, го
товили шихту — однородную смесь металла-основы и легирую
щего компонента. Из подготовленной шихты прессовали штабики
сечением 17,5 х 17,5 мм, которые затем спекали в атмосфере во
дорода. Спеченные штабики деформировали до проволоки диамет
ром 0,1 мм. Содержание примесей в молибдене: 0,02 мае. % О и
0,02 мае. % С; в сплавеМо — 0,22 мае. % Мп содержится 0,008 мае. %
О и 0,0035 мас.% С.
В процессе исследования определяли микроструктуру и струк
туру разрушения спеченных штабиков, характер распределения
марганца, а также микроструктуру и механические свойства про
волоки в зависимости от температуры отжига.
Для исследования микроструктуры спеченных штабиков и
отожженной проволоки использовали металлографический микро
скоп МИМ-8М, увеличение 600. Исследование характера излома
и структурных составляющих штабиков приводили с помощью
сканирующего (растрового) электронного микроскопа в режиме
вторичных электронов при ускоряющем напряжении 25 кВ
(ув. до 10 000), а также с помощью металлографического микро
скопа МИМ-8М, используя методический прием, описанный
в работах [5, 6]. Линейный размер зерен определяли с помощью
метода секущих [7]. Распределение марганца в молибдене изучали
на микрозонде в отраженных (поглощенных) электронах
(ув. 10 000) [5].
Проволочные образцы испытывали на растяжение при комнат
ной температуре, скорость деформации 1 •10-3 с-1, расчетная
длина образца 200 мм. По результатам механических испытаний
определяли следующие характеристики сплавов: предел прочно
сти, предел текучести, отношение предела текучести к пределу
прочности, относительное удлинение. Статистическую оценку ре
зультатов механических испытаний проводили по методике, опи
санной в [8].
Для изучения влияния марганца на процессы рекристаллиза
ции и механические свойства проволоку отжигали в атмосфере
водорода (точка росы —30э С) в интервале температур 900—2000 С.
время отжига 10 мин. Представленные на рис. 1 эксперименталь
ные данные позволяют сделать вывод о том, что легирование
молибдена марганцем повышает прочностные и особенно пластиче
ские характеристики проволоки в исследованном интервале темпе
ратур отжига. Соотношения К (1) А (2) и 6(1) < 6(2) остаются
справедливыми для всех температур отжига. Важной особенностью
проволоки из сплава Мо—0,22 мас.% Мп является равномер
ность механических характеристик. Т ак, амплитуда варьирова
ния предела прочности не превышает 4 0 —60 МПа, относительного
удлинения — 2 —3% и коэффициента К — 0 ,0 2 —0,04. Для про
волоки марки МЧ характерна более высокая неравномерность
свойств, и амплитуда варьирования предела прочности достигает
104
МПа70
105
ношении Х олла—Петча (рне. 2) свидетельствуют о рафинирую
щем воздействии марганца на молибден.
Исследование характера распределения марганца в молибде
не. выполненное в работе [о] с помощью микрозонда «Намека»,
показало значительное обогащение границ зерен (до 'Л— 4%) и
субблоков (до 1% ) марганцем. Глубина проникновения, измерен
ная на полуширине концентрационных пиков, достигает 2Г> мкм.
Таким образом, при высокотемпера
турном спекании марганец интенсивно
диффундирует по границам зерен и бло
ков. образуя зоны с большим пересы
щением. Так как примеси внедрения в
тугоплавких металлах наблюдаются
также преимущественно по границам зе
рен и блоков, то расположение марган
ца в этих же зонах увеличивает вероят
ность их химического взаимодействии.
Выяснить возможный механизм взаимо
Рис. 2. Изменение* з0 и Ку действия марганца с кислородом и уг
в зависимости от размера леродом позволяет изучение его окнс-
зерна ных и карбидных соединений.
I - молибден марки МЧ; 2 — Марганец образует с кислородом ряд
Мо т 0,22 мае.% Мп окислов: МнО, Мп;10 , , Мп2Оя, М л02; при
зтом их термодинамическая устойчивость
падает в указанной последовательности. Характер изменении сво
бодной энергии при реакциях образовании окислов из компонентов
в стандартных условиях свидетельствует о том, что при темпера
турах около 1 2 0 0 ’ Г. марганец может выступать в роли раскнсли-
теля. образуя окислы Мп.,0., и \1н.,04. При более высоких темпера
турах (2000 С) марганец раскислительнон способностью не об
ладает. Эффект раскисления молибдена марганцем подтверждается
результатами электронно-микроскопического исследовании ипа-
бикон. В штабиках молибдена марки МЧ наряду с карбидными
выделениями встречаются выделения окпсной фазы (МоОг), распо
лагающейся но границам и субграпицам зерен в виде цепочки
мелких включений (рис. .‘1, о). В сплаве молибдена с марганцем
такой тип выделений отсутствует, характерной особенностью спла
ва является наличие границ, свободных от выделении (рис. ‘Л, б).
В работе ['() подробно рассмотрена диссоциации окислов мар
ганца. Оценка характера перехода окисла из твердого состояния
в газообразное, сделанная на основании данных но теплотам дис
социации газообразных окислов />0 и возгонки Л//?, показала, что
при высоких температурах ( 2000 С) диссоциации закиси марган
ца протекает по реакции
М нО ,™ - - Ми,Г) т" 0)
Таким образом, в процессе спекания штабнков при более низ
ких температурах происходит образование окислов разной стехио
метрии; с повышением температуры начинается диссоциация окис-
т
jG uL .
108
Риг- 5. Микроструктура (а, б) н структура хрупкого разрушения молибде
новых штабиков (в,г)
а, в — молибден марки МЧ; б, г — сплав Мо + 0 ,2 2 мае. % Мп; б — ув. 300;
о, г — ув. 300
109
способствует уменьшению количества выделений] по границам
зерен, но существенно изменяет их морфологию. Высокая дисперс
ность включений затрудняет определение их фазового состава, но
на специально подготовленных образцах с помощью рентгено
спектрального метода исследования экстрагированных реплик
удалось установить, что включения содержат молибден и марга
нец в соотношении 1 : 1 . Это позволяет сделать вывод о том, что
изменение морфологии выделений в сплаве молибдена с марганцем
связано с образованием двойных соединений.
Хорошо объясняется с точки зрения механизма взаимодействия
марганца с молибденом и находящимися в нем примесями и харак
тер изменения констант ао и К у в уравнении Х о л л а— Петча.
Уменьшение значения <то связано с уменьшением растворимости
углерода в твердом растворе в присутствии марганца [12]. Вели
чина К у определяется рафинирующим эффектом, который оказы
вает марганец на границы зерен и блоков.
Формирование в процессе отжига в проволоке неравномерной
(молибден .марки МЧ) и равномерной (сплав молибден—марганец)
структуры является одним из важных факторов, подтверждающих
положительное влияние марганца на свойства молибдена. Высо
кое содержание примесей, их неоднородное распределение в мо
либдене марки МЧ приводят к тому, что в определенных темпера
турных условиях в некоторых местах тормозящий эффект оказы
вается меньше движущей силы рекристаллизации и начинается
рост отдельных зерен, приводящий к образованию разнозерни-
стости. Марганец, являясь поверхностно-активной добавкой и
оказывая рафинирующее воздействие, способствует формированию
равномерной структуры в процессе отжига проволоки.
Эффект влияния марганца на механические свойства отожжен
ной проволоки также определяется его рафинирующим воздейст
вием, изменением морфологии выделений и характером формирую
щейся в процессе отжига структуры.
Легирование молибдена марганцем способствует снижению
содержания примесей внедрения, их перераспределению и изме
няет их морфологию.
Снижение содержания углерода и кислорода связано с образо
ванием окислов марганца разной стехиометрии. Высшие окислы
марганца разлагаются на низшие окислы и кислород, который
удаляется в процессе спекания штабиков. Углерод удаляется
в виде окиси углерода, образующейся при взаимодействии карбида
молибдена и окислов марганца. Снижение содержания марганца
в процессе спекания происходит в результате испарения металли
ческого марганца.
Легирование молибдена марганцем способствует повышению
характеристик пластичности, а также их равномерности по длине
отожженной проволоки в широком температурном интервале
(1 3 0 0 -1 9 0 0 ° С).
НО
ЛИТЕРАТУРА
1. Савицкий, Е , А/., Б у р х а н о в Г . С. Металловедение тугоплавких металлов
и сплавов. М.: Наука, 1971. 356 с.
2. М оргунова Н. //., К лы п ин Б . А ., Б о ярш и н ов В . А . и др. Сплавы молиб
дена. М.: Металлургия. 1975. 390 с.
3. Савицкий Е . А/., З ах а р ов А . А/., Б у р х а н о в Г . С . — В кн.: Металлове
дение цветных металлов и сплавов. М.: Наука, 1972, с. 17—22.
4. Смолякова Л . /., П р и д ан ц ев А/. Л ., К онец ки й Ч, В . и др.— Изв. АН
СССР. Металлы, 1968, № 3, с. 161— 165.
5. Б у р х а н о в Г. С., Несговоров В . В ., Л ит ви нова И. I I . — Изв. АН СССР.
Металлы, 1979, 6 , с. 188—194.
6. Б у р х а н о в Г . С . у Л ит винова II. //., Несговоров В . В . — Изв. АН СССР.
Металлы, 1980, Кч 1. с. 132—137.
7. Г ор ел и к С. С. Рекристаллизация металлов и сплавов. М.: Металлургия,
1978. 566 с.
8. К а с с а н д р о в а О. //., Л ебедев В . В . Обработка результатов наблюдении.
М.: Наука, 1970. ЮЗ с.
9. Г е л ь д П. В ., Есин О. А. Нроцессы высокотемпературного восстановле
ния. Свердловск: Металлургиздат, 1957. 646 с.
10. Самсонов Г . В . ч Уп адхая Г. Ш ., Н еш пор В . С. Физическое материало
ведение карбидов. Киев: Наук, думка, 1974. 445 с.
11. Г ольдш м и т X. Сплавы внедрения. М.: .Мир, 1971. Ч. 1. 424 с.; Ч. 2,
463 с.
12. З ах а р ов А . М .% К урганов Г . А/., Д а н и е л я н Т. Л ., Уверская Т . Л .—
Изв. АН СССР. Металлы, 1975, № 2, с. 194— 197.
УДК 669.28
ДИСЛОКАЦИОННАЯ СТРУКТУРА
ДЕФОРМИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ Мо
И СПЛАВА Mo — Nb
Е. Н. Агеева, Е. Р. Альтовсквй, II. П. Арсентьева,
М. М. Кантор, А. А. Ястребков
111
Рис. 1. Кривые деформации монокристаллов Мо (пунктир) и сплава Mo—Nb
(сплошная) при различных температурах (а); аппроксимированные кривые
деформации монокристаллов Мо и сплава Мо—Nb (6) и зависимость предела
прочности монокристаллов Мо, Мо—Nb от температуры деформации (в)
1 , 4 — 2 0 ° С ; 2 , 5 — 1 0 0 0 ; 3, 6 — 1 6 0 0 ° С
112
Из рис. 1т о тазом* следует, что легирование молибдена нио
$йе* приводит к увеличению его коэффициента параболического
упрочнения, намеряемого тангенсом угли наклона аппроксимиро
ванной* кривой деформации. На рис I, в представлена зависимость
предел а. прочности илу чей им х момок рис та л ло и от гем не ра т у [на
в интервале температур 500 1600й С. С повышением температуры
уменьшается прочность как нелегнрованиого молибдена, так и
силана Мо — IVЬ, однако и при 1600° С прочность последнего еще
достаточно высока
При изучении поверхности деформированных образцов с ис
пользованием оптического микроскопа установили, что на образ
цах, испытанных при комнатной температуре, каких либо следок
скольжения не наблюдается. Однако па поверхности образцов,
деформированных при ПИИ) и 1600е’ О, наблюдали линии скольже
ния (рис. 2), которые были более грубыми на образцах полетро-
ванного iVto. Таким образом, при высоких темиературах зависимость
морфологии линий скольжении от температуры деформации иная,
чем в области низких температур. Гак, чем ниже температура де
формации, тем более грубыми являются следы скольжения (4|.
Обычно зту зависимость объясняют тем. что морфология линий
скольжения определяется уровнем напряжения течения: с увели
чением последнего скольжение становится более грубым, так кедк
активация новых источников непосредственно и через поперечное
скольжение затрудняется.
Следует указать, что описанные наблюдения на этой основе
могут быть объяснены лишь частично. Действительно, чем выше
температура испытаний, тем более однородно протекает пластиче
ская деформация, ибо легче осуществляется активация новых источ
ников скольжения, особенно посредством поперечного скольже
ния. Поэтому следы скольжения в условиях деформации при
1000° С менее грубые. Однако соображение об определяющей роли
величины напряжения течения для морфологии следов скольже
ния недостаточно для объяснения причины того, что упрочнение,
вызываемое легированием ниобием, не приводит к огрублению
следов скольжения при высоких температурах: они и при 1000,
и при 1600~ С в нелегированном молибдене более грубые, чем
в сплаве Mo—Nb.
При электронно-микроскопическом исследовании было уста
новлено, что во всех изученных образцах крупные выделения вто
рой фазы весьма редки, различия же в тонкой структуре образцов,
деформированных при различных температурах, состоят в суще
ственно разном распределении и конфигурации дислокаций.
Субструктура монокристаллов Мо, деформированных при ком
натной температуре, характеризуется наличием длинных, сравни
тельно прямых и гладких дислокаций с вектором Бюргерса а/2
[111] винтовой ориентации (рис. 3). Эти дислокации вытянуты вдоль
П Н ], что указывает на нх принадлежность к первичной системе
скольжения. Особенности конфигурации этих дислокаций — зна
чительная длина сегментов, относительно небольшое количество
113
Рис. 2. Линии скольжения на поверхности монокристаллов Мо (а . /;) п спла
ва M o—Nb (б, г)
а, б — 1000° С; в, г — 1600° С. Ув. 180
Рис. 3. Электронные микрофото
графии субструктуры монокри
сталлов Мо и сплава Мо- Nb,
деформированных при комнатной
температуре
а — Мо; б — сплав М о— N b, е = 5 % ;
в — сплав М о— Nb, е = 10%
115
Рис. 4. Электронные микрофото
графии субструктуры монокри
сталлов сплава Mo —Nb после де
формации при 1000 С. е = 10%
116
Рис. 5. Электронная мик
рофотография дислокаци
онной границы фрагментов,
образовавшейся в резуль
тате деформации монокри
сталла сплава Mo —Nb при
1600 С, г -- 10%
117
УДК 537.533.2
АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ Ф ОЛЬГ
ИЗ Та И ЕГО СПЛАВА С Nb
В. Д. Котов, Л. П. Толстикова, Е. М. Савицкой,
II. В. Буров, Л. II. Литвак, В. В. Кривда
118
Рис. 2. Стабилизации эмиссионных токов автоэмитторов из тантала и сплава
Та — 20 мас.°0 Nb
ЛИТЕРАТУРА
1. Ненакалпваемые катоды / Под ред. М. И. Елинсона. М.: Сов. радио, 1974.
336 с.
2. Савицкий Е . ЛЛ, Б у р о в И. В ., Л и т в ак Л . М. и др.— В кн.: Тез. докл.
Всесоюз. симп. по ненакалпваемым катодам. Томск. 1980, с. 15.
3. Б о н д а р е н к о Б . В . ч Кузнецов В . Л ., В арниикий В. П . — Изв. вузов*
Радиоэлектроника. 1974, т. 17, № 1, с. 19—24.
4. Гринченко В . 7., Коновалов //. Д ., П ан к р ат о в В . В ., В а р н а к о в а Р. Г . —
В кн.: Тез. докл. XVI I I Всесоюз. конф. но э не. электрон. М.: Наука,
1981, с. 2 2 9 - 231.
УДК 669.293.296.786
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА РАСПАДА
ТВЕРДЫ Х РАСТВОРОВ В СИСТЕМЕ Nb — Zr — N
Е. Н. Шефтель, В. К. Григорович, Г. Ш. Усманова
119
равновесий в этих системах показали, что они характеризуются
наличием двухфазной области, где в равновесии находятся a-N b
и MeiyN, образующие между собой квазибинарные системы эвтек
тического типа [5]. Характерная для таких систем переменная
н уменьшающаяся с понижением температуры растворимость
нитридов Mej\ N в ниобии в твердом состоянии предопределяет
применение термической обработки (закалки со старением) к со
ответствующим сплавам, регулирующей размер, распределение и
состав выделяющейся фазы.
Исследования закономерностей изменения физических и меха
нических свойств сплавов систем Nb— Zr(H f)—N в зависимости от
состава и термической обработки [1 ,6 —8] показали, что в сплавах
с содержанием 1—3 мол.% ZrN(HfN) протекают процессы, типич
ные для классических стареющих сплавов. Однако в литературе
отсутствуют систематические данные о влиянии температурно
временных условий на процесс структурообразования, протекаю
щий при распаде пересыщенных твердых растворов a-(N b,
Meiv, N).
В данной работе приводятся результаты исследования метода
ми просвечивающей электронной микроскопии, измерения
периода решетки и удельного электросопротивления в про
цессе распада твердых растворов в сплавах N b—(1—3 )% Z r—N
(ат.% Zr/ат. % N ^ 1). Исследования проводили на деформиро
ванном листовом материале. Термическая обработка образцов
велась согласно данным [6] по режиму: закалка с 1700° С (выдержка
1 ч), охлаждение со скоростью 15 град/с (холодный гелий) и по
следующее старение при температурах 8 0 0 —1200° С с выдержка
ми 1—100 ч. Фольги для электронно-микроскопических исследо
ваний готовили по методике, описанной в работе [6], п просматри
вали в электронном микроскопе IEM -200. Рентгеноструктурные
исследования для определения периода кристаллической решетки
твердого раствора проводили на установке УРС-70 (камера КРОСС)
на медном излучении с использованием Мо-эталона. Резистоме
трические исследования вели компенсационным методом с при
менением потенциометра.
На рис. 1 приведены типичные микрофотографии сплава
N b—1 мол.% ZrN, отражающие процесс распада твердого рас
твора при старении. В структуре закаленного сплава наблюда
ются нерастворнвшнеся при нагреве под закалку крупные, гло
булярной формы выделения первичных нитридов размером 0 ,5 —
0,6 мкм, около которых при закалке образуются дислокации вслед
ствие различных коэффициентов термического расширения матри
цы и частицы (рис. 2, а). Кроме крупных частиц, в структуре на
блюдаются и более мелкие выделения размером 0 ,1 —0,25 мкм
в форме, близкой к округлой (типа кофейных зерен), образовав
шиеся при высокотемпературном распаде в процессе охлаждения
с температуры закалки (рис 2,6 — г). Плотность этих частиц,
подсчитанная по методике [9], составляет 2 * 10 13 частнц/см3.
На микроэлектронограммах (рис. 2, д), полученных с участков
120
Рис. 1. Микроструктура сплава Nb — l»ft Zr\, закаленного с 1700 С (а)
и состаренного при 801 Iе С, 2 ч (6); 1000" С, 2 ч (в); 1000° С, 20 ч (г); 1000° С,
50 ч (е) и сплава N1»—2% ZrN, закаленного с 17*ЮС и состаренного при
1000° С, 20 ч (д)
Рис. 2. Электропные микрофотографии с участка фольги сплава Nb —
1% ZrN, закаленного с 1700 С (а — г); мнкроэлектронограмма с г, ось зопы
матрицы < 111 > (с>); ее индицированная схема (е ); темнопольпое изображение
участка г в рефлексе (200) нитрида ZrN ( ж )
фольги, содержащих округлые выделения, кроме матричных ре
флексов, присутствуют дополнительные рефлексы от фазы. Рас
шифровка электронограмм, а также использование темнопольной
методики (рис. 2, ж) позволили установить, что дополнительные
рефлексы, полученные от частиц размером 0 ,1 —0,(5 мкм, принадле
жат в основном нитриду ZrN с ГЦК решеткой и периодом
а = 4,56 А. Кроме этого, на электронограммах присутствуют от
дельные рефлексы, принадлежащие нитриду NbjN3 с тетрагональ
ной решеткой и периодами а -- 4,386 А и с = 4,33 4.
Следует отметить, что полностью подавить распад твердого
раствора и предотвратить выделение нитридных частиц размером
0 ,1 —0,25 мкм при закалке не удается даже при увеличении ско
рости охлаждения. Однако с увеличением скорости охлаждения
возрастает степень пересыщения твердого раствора легирующими
элементами, о чем свидетельствует рост периода решетки твердого
раствора. Например, период решетки твердого раствора сплава
Nb— 1 мол.% ZrN после охлаждения с 1700 С со скоростью
15 град/с составляет 3,3042 А, а после охлаждения со скоростью
25 град/с (в жидкое олово) — 3,3053 А. Для сплава Nb—3 мол.%
ZrN после таких же режимов закалки период решетки твердого
раствора составляет 3,3079 и 3,3084 А соответственно. Используе
мая в работе скорость охлаждения — 15 град/мин была выбрана
как наиболее реализуемая на современном вакуумном термическом
оборудовании, не приводящая к опасности коробления изделий,
возможного при сбросе их в охлаждающие среды типа жидкое
олово, масло и др.
Старение приводит к заметному изменению закаленной струк
туры (рис. 1 ,6 — е). Так, при выдержках 1—2 ч при всех темпе
ратурах старения в структуре появляется большое количество
выделений пластинчатой формы (рис 1. б, в), размер которых за
висит от температуры старения (табл. 1). Наблюдаемая высокая
Таблица 1. Размер пластинчатых выделении
123
= 3,05 А, с = 4,99 А. Так, как видно на рнс. 3, г, в темнопольн
изображении, полученном в рефлексе (100) на микродпфракцпон-
ной картине и идентифицированном как NbN, наблюдается све
чение пластин. Нитрид Nb.,N характеризуется дефектной структу
рой. Выделение пластин Nb2N происходит в соответствии с прин
ципом структурного соответствия. Согласно данным работ [10. 11],
в двойной системе N b—N нитрид ниобия Nb.,N образуется на пло
скостях {100} матрицы с ориентационным соотношением
(011 1)хь,х||(011)хь- Структурные исследования показали сильную
температурно-временную зависимость стабильности фазы Nb2N.
Например, при температуре старения 800° С фаза сохраняется
124
Рис. 3. Сплав Nb — IZrN (а — г)
и сплав Nb — 30ZrN (д — з)
а — электронная микрофотография с
участка фольги, закаленного с 1700° С
н состаренного при 800° С в течение 20 ч;
б — микродифракция с а, ось зоны матри
цы <111 >; в — ее нндифицированная схе
ма; г — темнопольное изображение участ
ка а в рефлексе (100) нитрида Nb,N: 0 —
электронная микрофотография с участка
фольги, закаленного с 1700° С и состарен
ного при 1000° С в течение 20 ч; е — микро-
дифракция с г?, ось зоны матрицы <111);
ж — ее индицированнан схема; з — тем
нопольное изображение -участка 0 в реф
лексе (111) нитрида ZrN
вплоть до 50 ч. С увеличением
температуры старения до 1000°С
растворение Nb2N начинается
при 5 ч, а при 10 ч фаза в струк
туре не наблюдается. При 1200°С
время существования фазы сок
ращается до 1—2 ч.
Результаты исследования
структуры показали, что рас
пад твердого раствора при ста
рении в интервале изученных
температур происходит с выде
лением ( помимо пластин нитри
дов ниобия Nb2N) мелкодис
персной фазы сферической фор
мы. Образование этой фазы
начинается на ранних стадиях
старения (рис. 1, в). По-видимо
му, подготовка к их выделению
или выделение в очень дисперс
ном виде происходит уже при
закалке, о чем говорит наблю
даемый на микрофотографиях
закаленной структуры так называемый твидовый контраст
(рис. 2, б, в). Известно, что частица очень малого размера может
быть обнаружена по связанному с ней деформационному полю,
вызывающему эффекты контраста на микрофотографиях [12, 13].
G увеличением времени выдержки при данной температуре ста
рения возрастают плотность и однородность распределения мелко
дисперсных частиц. Размер этих частиц в условиях изотермиче
ских выдержек при разных температурах старения меняется соглас
но зависимости, приведенной на рис. 4. Следует отметить, что
округлые выделения нитрида ZrN размером 0 ,1 —0,25 мкм, образу
ющиеся при охлаждении с температур закалки, не меняют своих
размеров в процессе старения (рис. 4).
125
dср, А
126
Таблица 2. Размер дисперсных частиц ZrN и расстояние между ними
(закалка 1700° С -j- старение 1000° С, 20 ч)
128
о
а, А
ЛИТЕРАТУРА
1. Григорович В . Я ., Ш еф т ель Е . Я ., Усманова Г . Ш . — Изв. АН СССР.
Металлы, 1975, № 1, с. 170—178.
2. М алаш ен ко И . С., М оисеев В. Ф., Трефилов В . И . — Порошковая ме
таллургия, 1974, № И, с. 84—97.
3. Г ри горови ч В . К ., Ш еф т ель Е . Я . Дисперсионное упрочнение тугоплав
ких металлов. М.: Наука. 203 с.
4. Треф илов В . //., М оисеев В . Ф. Дисперсные частицы в тугоплавких ме
таллах. Киев: Наук, душ а, 1978. 238 с.
5. Б арабаш О. М., Шурин А. К .— Металлофизика, 1978, № 91, с. 83—8 7 .
У Д К 669.018.6
П РО ГН О ЗИ РО ВАН И Е СП ЛА ВО В Д Л Я РА Б О Т Ы
Н А С ВЕРХ ВЫ С О К И Х Ч А СТО ТА Х
Г. П. Смирнова, В. Б. Курицын, В. 3. Погосов, А. Н. Прусаков
130
корреляция свойств на СВЧ с электрическими и магнитными свой
ствами сплавов на постоянном токе [I]. В работе [2] было уста
новлено, что концентрационное изменение поверхностного сопро
тивления на С В Ч — весьма чувствительная характеристика
изменения с концентрацией энергетического спектра электронов
проводимости и характера взаимодействия их с электронами,
ответственными за ферромагнетизм.
Учитывая изложенное выше, можно найти общий подход
к оценке применимости различных ферромагнитных сплавов на
С ВЧ , используя данные по их электрическим и магнитным свой
ствам на постоянном токе.
Метод обработки данных состоял в следующем. Известные по
литературным источникам экспериментальные значения р и В ,
были введены в ЭВМ и обработаны по алгоритму, приведенному на
рис. 1. Данные вводятся с пульта вручную, записываются на диск
и затем подвергаются регрессионному анализу. По найденным ин
терполяционным уравнениям строят сглаженные кривые и нахо
дят особые точки, свидетельствующие о фазовых превращениях
в исследуемом диапазоне концентраций. Затем с помощью сумми-
5* 131
О 8 16 А\мас.% О 11 24 J6Cr,#ac.%
132
татов, оператор может изменять ход выполнения программы.
Приведенный алгоритм пыл опробован на четырех системах
сплавов: Fe—Ni, Fe—Al, F e—О и Fe—Mn. Результаты обработки
приведены на рис. 2. Дли сравнения там же приведены значения
Я 8, •измеренные на частоте 2400 МГц. Как видно из рисунка, во
всех случаях прогнозируемые составы сплавов, отвечающие мак
симальным значениям //s, совпадают с результатами измерений
с точностью до 1—2% .
Таким образом, предложенный метод позволяет, используя
имеющиеся литературные данные по статическим свойствам (кон
центрационные зависимости р и В я), делать выводы о характере
изменения поглощения энергии СВЧ с изменением концентрации
и составе сплава, отвечающем максимуму гни лощения энергии
сверхвысоких частот в двойных сплавах железа.
Авторы считают, что этот подход к поиску сплавов для сверх
высоких частот может быть применен не только к двойным спла
вам железа, но и к любым сплавам, для которых известны их
электрические и магнитные свойства в статическом режиме.
ЛИТЕРАТУРА
1. С м и рн ова Г . Я ., Ч еренкова О. Я .— В кн.: Аморфные прецизионные спла
вы. М.: Металлургия, 1981, с. 39—42.
2. С м ирнова Г. Я . — В кн.: Прецизионные сплавы. М.: Металлургия, 1972,
вып. 1, с. 132— 134.
УДК 669.24787
ЛЕГИРОВАНИЕ И ЖАРОСТОЙКОСТЬ
Н ИКЕЛЬ-РЕН И ЕВЫ Х СПЛАВОВ
Э. N . Л а з а р е в , Н. А. К оротков, Б . П . А р ская
133
ским методами. Морфологию и структуру окалины и примыкаю
щих к ней слоен силана научали с помощью оптической микроско
пии. Распределение компонентов сплава и кислорода исследовали
методами оже-злектронной спектроскопии (на ранних стадиях
окисления) и микрорснтгсноспектрального анализа.
Экспериментальные данные о кинетике окисления сплавов
представлены на рис. I. Сплавы, содержащие до 10 мае. % Не,
по скоростям окисления при температурах 1100 и 1200 С мало
отличаются от нелегированного никеля, а при W 00' С окисляются
несколько интенсивнее, тогда как средние скорости окисления
сплава с 24,87 мае. % Не приблизительно в 2 раза меньше, чем
у никеля.
Анализ полученных результатов показывает, что процесс окис
ления в большинстве случаев протекает но закону, близкому к па
раболическому. Прерывное окисление никель-рениевых сплавов
сопровождалось частичным отслаиванием самых верхних слоев
окалины. Например, при 1000° С тонкие чешуйки отделялись от
верхнего слоя окалины на никеле иосле 10 ч окисления, а затем
вторично — после 75 ч, на сплаве с 2,71 мас.% Не — после 1 ч.
На сплаве с 7,15 мас.% Не окалина не отслаивалась, а на сплаве
с 10,22 мас.% Не частично отслоилась после 10 ч окисления. На
образцах из сплава с 24,87 мас.% Не самый верхний слой окали
ны после 15 ч растрескался, а затем спекся. Вероятно, частичным
разрушением окалины и объясняется разброс точек на кинетиче
ских кривых.
По данным микроструктурного анализа на всех сплавах окали
на двухслойна (рис. 2), тогда как на нелегнрованном никеле она
однослойна. На сплавах с различным содержанием рения этп слои
имеют различную толщину. Для сплавов, окисленных прп 1200 С
в течение 100 ч. толщины нижнего слоя составляют соответствен
но 10, 15, 17 и 40 мкм. В области, прилегающей к окалине (сплав
с 24,87 мас.% Не), выделяется вторая фаза, располагающаяся
в основном по границам зерен. Мпкротвердость окалины на неле
гированном никеле, как и верхнего слоя окалины, на всех сплавах
одинакова и равна 10100 МН м2 при нагрузке 0.196 Н.
Электроно- и рентгенографический фазовые анализы верхнего
слоя окалины показали, что она имеет одинаковый фазовый со
став на всех сплавах во всем диапазоне исследованных температур
и времени окисления п состоит из оксида никеля NiO. По данным
рентгенофазового анализа нижний слой окалины (днфрактограммы
снимались после сошлнфовкп верхнего слоя) содержит, кроме
оксида никеля, значительное количество второй фазы со структу
рой. близкой к оксиду рения Не0.2.
Распределение компонентов в образующейся на сплаве с
24,87 мае. % Не оксидной пленке на ранних стадиях окисления
(температура 1000° С, время окисления 2 мин) изучено с помощью
оже-электронной спектроскопии и представлено на рис. 3. Иссле
дование проводилось на оже-спектрометре при скорости ионного
(Аг+) травления поверхностных слоев ~ 1000 А ч.
134
У в е л и ч е н и е м а ссы ум г /с м
135
J , отн ед.
120
а
it * *
136
в течение 100 ч проводилось методом рентгеноспектрального ана
лиза (рис. 4, 5). Установлено, что верхний слой окалины состоит
только из никеля и кислорода (оксид никеля), рений в нем отсут
ствует (интенсивность характеристического излучения lie Кв1 на
уровне фона). Нижний слой окалины сильно обогащен рением
и обеднен никелем. Сканирование мпкрозонда с малой скоростью
показало, что максимумы интенсивностей NiKa, совпадают с ми
нимумами интенсивностей |{еКа,. Это подтверждает данные рент
генофазового анализа: нижний слой окалины состоит из смеси
частиц оксидов NiO и Не().>.
Качественный анализ распределения рения и никеля показал,
что содержание рения (в виде Н е02) в нижнем слое окалины на
сплаве с 24,87 мае. % lie больше, чем у остальных сплавов, а ни
келя (в виде NiO), наоборот, .меньше.
Под двухслойной окалиной расположена зона внутреннего
окисления сплава. Частицы, выделяющиеся в этой зоне в основном
по границам зерен сплава (рис. 2), содержат значительное коли
чество кислорода (рис. 4). Точная идентификация химического
и фазового состава этих частиц была затруднена из-за небольшого
размера, но в основном они содержали (кроме О) Ni, т. е. наибо
лее вероятный их состав NiO.
Отсутствие закономерностей влияния содержания Не в спла
вах до 10 мае. % на скорость окисления никеля при 1000—1200° С,
так же как и большой разброс экспериментальных точек на кине
тических кривых, связан, вероятно, с частичным растрескиванием
верхнего слоя окалины на разных стадиях окисления, но видно,
что легирование никеля до концентрации 10 мае. % Не не оказы
вает существенного влияния на жаростойкость никеля.
Отсутствие рения в верхнем слое окалины, а также увеличение
концентрации рения в нижнем ее слое свидетельствуют о том. что
испарения окислов рения не происходит, хотя они летучи выше
400е С [5, 6). В противном случае наблюдалось бы ощутимое ко
личество окислов рения в верхнем слое окалины и, кроме того, не
повышалась бы концентрация рения в нижнем слое окалины, как
это происходит при высокотемпературном окислении сплавов си
стемы вольфрам—рений 17]. Литературных данных по диффузии
рения в NiO не имеется, однако, судя по полученным в работе ре
зультатам, можно с большой долей уверенности утверждать, что
NiO труднопронпцаем для рения, вероятно, уже на ранней стадии
окисления — после образования очень тонкого слоя (порядка не
скольких ангстрем) NiO атомы рения не могут диффундировать
через него на границу окисел—газ.
Согласно теории окисления Вагнера [8] и результатам много
численных экспериментов по влиянию легирования на скорость
окисления никеля [9, 101, все малые добавки легирующих элемен
тов с валентностью большей, чем у никеля, увеличивают скорость
окисления никеля. Это связано с возрастанием скорости диффу
зии ионов никеля через окалину (состоящую из NiO) при введении
в нее ионов металла с большей валентностью, чем у никеля, по
137
скольку увеличивается число катионных дефектов в NiO. а. как
известно, скорость диффузии ионов никеля через окалину опреде
ляет скорость окисления никеля. В нашем случае одновременно
действует и другой фактор, влияющий на скорость окислении
сп лава.— резкое увеличение концентрации ренин в виде НеОг
в нижнем слое окалины. Увеличение концентрации рения вызы
вает появление явно различаемого слоя окалины с повышенным
содержанием В е 0 2 и обедненного оксидом никеля. Появление это-
го слоя препятствует диффузии ионов никеля из сплава в окали
ну. состоящую только из NiO. что замедляет скорость окислении
сплава. Влияние этих двух противоположно действующих на ско
рость окисления факторов, вероятно, сопоставимо, и в конечном
счете скорость окисления никеля в сплавах с содержанием до
10,22 мас.% Re приблизительно равна скорости окисления неда
тированного никеля.
Сплав с 24.*7 мае. “к Не имеет среднюю скорость окисления
за МО ч приблизительно в 2 раза меньшую, чем нелегмрованмый
никель. >>го вызвано, по-виднмому. тем, что при такой концентра
ции рения в сплаве нижний слон окалины содержит большое ко
личество оксида рения, чем у ма.ю.тегиронанныт сплавов. Повыше
нме концентрации П е02 замедляет диффузию ионов никеля к верх
нему с.гою окалины, определяющую скорость окисления сплава.
Окисление никеля контролируется ого диффузней к границе
раздела окалина -га з. где и происходит реакции, но кислород
также диффундирует через окалину к границе окалина—сплав.
Но если н случае окислении пологприпайного никеля диффузия
его наружу и кислорода внутрь сплава приводят к образованию
только NiO, то в случае окисления ннкель-рениевых сплавов диф
фундирующий через окалину кислород взаимодействует также
и с рением, образуя ReO,. Не исключено взаимодействие металли
ческого рения с NiO. нриводя|цее к образованию IleOL, и восста
новлению окиси пи вел и (теплоты образования 0 ,5 И е02 и NiO
близки: —0.24п и 0,220 кДж моль соответственно) |Г>|. Пост ока
лины на никель рениевых сплавах, но-видимому, происходит на
обеих ее сторонах: на границе окалина — газ в результате окисле
ния диффундирующего 1,;| сплава никеля и на границе окалина —
сплав из-за окисления рения и никеля диффундирующим внутрь
кислородом.
Таким образом, можно констатировать, что введение в никель
до I m.22 мае, % Не практически не влияет на скорость окисления
иными при температурах 1 0 0 0 - 120<Г С. Однако сплав с
2 4 ,Н7 мае. "и Re окисляется приблизительно в 2 раза медленное
полегнрока иного и икел я .
Окалина на всех сплавах двухслойная: верхний слой состоит
из NiO, нижний - из смеси NiO и Iiе (),. что вызвано малой диф
фузнонпой проницаемостью окиси никеля для рения.
При окислении сплавов Ni -R e имеет место двусторонняя диф
фузия: никеля наружу окалины и кислорода в сплав, что вызывает
появление нижнего слон окалины и зоны внутреннего окислении.
138
ЛИ ТЕРАТУРА
УДК 669.018.8
ИССЛЕДОВАНИЕ КОРРОЗИОННОГО ПОВЕДЕНИЯ
СПЛАВОВ Ni — Re, ЛЕГИРОВАННЫХ Mo, W и Ш
Ю. Н. Петров, В. В. ТТаршутил, Л. Н. Андреева,
Е, П. Арская, Э. М. Лазарев
139
предварительно выплавленных лигатур. Каждый слиток пере
плавляли 3 —4 раза, чем достигалась равномерность состава по
всему сечению. Однородность контролировали микроструктурным
анализом и измерением твердости сплавов.
Далее слитки отжигали при температуре 1000е С в течение 2 ч
н прокатывали вхолодную с промежуточными отжигами при этой
же температуре. Время выдержки составляло от 1,5 ч до 15 мин
в зависимости от толщины образца.
Образцы размером 10 X 10 х 0 .2 мм в деформированном и
отожженном состояниях шлифовали наждачной бумагой, выдер
живали в течение суток в эксикаторе над свеженрокаленным СаС12,
а перед опытом обезжиривали ацетоном и промывали дистиллиро
ванной водой.
Исследовали никелевые сплавы с 10 м а с.0*о Не, с 10 мае. % Не —
15м ас.°о Мо, а также никель-рениевые сплавы, легированные
гафнием и вольфрамом. Методика коррозионных исследований
подробно изложена в работе 131. Анодные поляризационные кри
вые снимались в потенциодинамнческом режиме с помощью потен-
циостата со скоростью 50 мВ мин. Потенциалы измерялись отно
сительно насыщенного хлорсеребряного электрода, а затем пере
считывались относительно нормального водородного электрода.
Результаты коррозионных испытаний представлены в табл. 1
и 2. Легирование никеля рением не ухудшает коррозионную стой
кость никеля во всех исследованных средах, а в концентрирован
ной азотной кислоте повышает ее более чем на порядок (табл. 1).
Такое же положительное влияние оказывает легирование гафнием
двойного никель-рениевого сплава. Введение вольфрама в тройной
сплав несколько снижает его коррозионную стойкость, особенно
в средах, содержащих азотную кислоту.
Как следует из приведенных в таблице данных, коррозионная
стойкость всех указанных сплавов в отожженном состоянии выше,
чем в неотожженном. Отжиг повышает эту характеристику у мно
гокомпонентного никелевого сплава в смеси соляной и азотной
кислот, например, более чем на порядок.
Однако коррозионное поведение ннкель-реннй-молнбденового
сплава гораздо сложнее. Этот сплав обладает высокой коррозион
ной стойкостью в соляной и серной кислотах (практически он бо
лее стоек в этих средах, чем остальные исследованные сплавы, как
в деформированном, так и в отожженном состоянии). В то же вре
мя он уступает указанным сплавам по коррозионной стойкости
в азотной кислоте и смеси азотной и соляной кислот. Кроме того,
в средах, содержащих азотную кислоту, его стойкость в отожжен
ном состоянии в несколько раз меньше, чем в деформированном.
Этот факт можно, вероятно, связать с возникновением в про
цессе отжига ближнего порядка [4]. Авторы этой работы обнару
жили упорядочение в тройных ннкель-репий-молнбденовых спла
вах в других температурных условиях. Тем не менее упорядоче
ние наблюдается п в двойных ннкель-молибденовых сплавах при
содержании Мо порядка нескотьких ат. % [5, 61. Хотя наблюдае
мо
Табли ца 1. В ли ян и е агрессивной ср еды на скор ость коррозии (мг/мин)
отожжен.
отожжен.
отожжен.
отожжен.
Сплав
a i
o.
1
p*
* 5 ■ &S !-
\ ai =*« Si Si
141
Рис. 1. Потенциодинамическая анодная
поляризационная кривая деформиро
ванного сплава Ni — 10 мас.% Re в
48%-ном растворе H2S 0 4
142
с ,А /с м г
ЛИ ТЕРАТУРА
1. К орови н Ю, Л/., У лановски й И . Б . — Защита металлов, 1974, № 2,
с. 167—169.
2. Б я л о б ж еск и й А . В ., В лад и м и р о в В . Б В кн.: Рений в новой технике.
М.: Наука, 1970, с. 147 —150.
3. П ар ш у т и н В . В ., А н д р еев а Л . / / ., .Арская Е . Я .— В кн.: Физико-хими
ческие свойства сплавов рения. М.: Наука, 1979, с. 124 —128.
4. К а ц н ел ьсон А . А Савицкий Е . М ., Силонов А . М . и д р .— В кк.: Физико
химические свойства сплавов рения. М.: Наука, 1979, с. 103—НО.
5. К алинович Д . Ф ., К овенски й И . / / ., Смолин М . Д ., С т ац енко В . М . —■
Изв. вузов. Физика, 1974, № 11, с. 148—149.
6. С т а ц е н к о В . М Изв. АН СССР. Металлы, 1977, № 1, с. 63—66.
143
У Д К 621.039
ЖАРОСТОЙКИЕ М АТЕРИ А ЛЫ
Д Л Я РЕАКТОРОВ СЕРНОКИСЛОТНОГО ЦИКЛА
ПОЛУЧЕН И Я ВОДОРОДА
Е. М. Савацкий, Е. П. Арская, 10. И. Верещагин,
Э. М . Л а з а р е в , Н. В . К о м а р о в , Н. А . К оротков
144
Средняя коррозия (К , г/м--ч) в газо во й ф азе за 20 ч
145
dN/dF
Р и с . 1. Р а с п р е д е л е н и е F e ( 6 5 3 э В ) ,
Сг (5 2 9 э В ), О (511 э В ), S (1 5 2 э В ),
С (272 эВ ) в поверхностном слое ст а
ли 1 2 Х 1 8 Н 1 0 Т после испытаний в
к и п я щ е й H 2S 0 4
Р и с . 2 . И зм ен ен и е формы н и з к о э н е р
г е т и ч е с к и х о ж е - п и к о в Сг и Ni в п о
верхностном слое стали 1 2 X 1 8 Ш О Т
п о с л е и сп ы т ан и й в к и п я щ е й H 2S 0 4
Р и с . 3 . Р а с п р е д е л е н и е Ni ( 8 4 8 э В ) ,
Я е -М о (1 7 9 э В ) , О (511 э В ) , С
(2 7 2 эВ ) в поверхностном слое сп л а
ва Н Р М 7 5 п о с л е и с п ы т а н и й в к и п я
щ е й H 2S 0 4
ЛИТЕРАТУРА
1. Н ов и к о в Г. //., Б о ч и н В . Л ., Р о м а н о в с к и й М. К . — В кн.: Атомно-водо
родная энергетика и технология. М.: Атомиздат, 1979, вып. 1 ,с . 231 —
243.
2. B r e c h e r L . Е ., S p e n o c k У., W a r d e С . У .— In: Ргос. of the First World Hyd
rogen Energy Conf. USA. Miami Beach, (Fla), 1976, vol. 1, p. 9.
3. P o r i s i n i C . — Tn: Proc. of the Second World Hydrogen Energy Conf. Zurich,
1978, p. 2091.
4. T re s te r P . IF., L i a n g S . У .— In: Proc. of the Second World Hydrogen Ener
gy Conf. Zurich, 1978, p. 2113.
5. V a sa n ta s re e F ., H o c k i n g M. G . — Corros. Sci., 1976, vol. 16, p. 261.
6. С а в и ц к и й E . M ., А р с к а я E . Л а з а р е в Э. M. и др.— Защита металлов,
1981, т. 17, № 3, с. 290—294.
7. S a v it s k i Е . Л/., A r s k a y a Е . Р ., L a z a r e v Е . М . et a l.— In: 3rd World Hyd
rogen Energy Conf.: Ahstr. Tokyo, 1980, p. 61.
8. Ж у к I I . П . Курс коррозии и защиты металлов. М.: Металлургия, 1968.
612 с.
146
УДК 538.245.
147
100' С. Коэффициент теплового расширения (а) измеряли на ди
латометре Лейтца с фотозаписью удлинения при увеличении 300.
Из общих соображений и н силу указанных выше особенностей
ГЦК железоникелевых инварных сплавов можно считать, что
действие легирования рением в основном сводится к двум момен
там:
а) изменению электронной структуры матрицы и подавлению
магнитного порядка в ней (при неизменном удельном объеме).
Вследствие этого линия равновесия между сильномагннтными
Fe(2) и слабомагнитными F e(l) сортами ионов железа сдвигается
в сторону никеля;
б) изменению среднего межатомного расстояния между атома
ми сплава-основы, что влияет на физические свойства за счет силь
ной зависимости последних от удельного объема.
Схематично изменение плотности электронных состояний (g )
под действием легирования малым количеством (С) третьего эле
мента можно представить как
( 1)
148
Рис. 1. Влияние рения на техническую намагниченность насыщения 1$
и коэрцитивную силу Н с
1 — сплавы с рением; г — сплавы без рения
149
. 1
30 34 38 42 Hi,Mac.°/a
ЛИТЕРАТУРА
150
УДК 669.24:537.311
ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ
ТВЕРД Ы Х РАСТВОРОВ НИКЕЛЯ
С ТУГОПЛАВКИМИ МЕТАЛЛАМИ
Е .М . Савицкий, Н. А. И офис, И. В . Б у р ов,
С. В . П ирогова, В . М . С олдатов, И . В . Скуратовский
151
l — нагрев после деформации; 2 — охлаждение; з — повторные измерения после от
жига при 700° С, 10 ч
152
Таким образом, в тройном сплаве в насыщенном твердом рас
творе сохраняется сложная температурная зависимость электро
сопротивления, чувствительная к термической обработке и обна
руженная ранее на двойных сплавах Ni — Re [3], N i—Mo [5| п
тройном сплаве Ni — 3,6 ат.% Re — 10,4 ат.% Мо [3].
ЛИТЕРАТУРА
1. И веронова В . //., К а ц н е л ъ с о н А , А . Ближний порядок в твердых раство
рах. М.: Наука, 1977. 255 с.
2. Тонкая структура и свойства твердых растворов: Сб. ст. / Пер. с нем. / Под
ред. Я. П. Селисского. М.: Металлургия, 1968. 223 с.
3. К а ц н е л ъ с о н А . А ., С а в и ц к и й Е . Л/., Силонов А . М . и др. — В кн.: Физико
химические свойства сплавов рения. М.: Наука, 1979, с. 103—110.
4. С а в и ц к и й Е . М . у Б у р о в И, В ., Б о н д а р е н к о Я. П. и др.— В кн.: Сплавы
редких металлов с особыми физико-химическими свойствами. М.: Наука,
1975, с. 144—148.
5. B a e r Н . G.— Ztschr. Metallk., 1966, vol. 57, р. 5 7 8 -5 8 1 .
УДК 543.423
АНАЛИЗ ОСНОВНЫХ КОМПОНЕНТОВ
И ПРИМЕСЕЙ В СПЛАВАХ Ni с Re,
ЛЕГИРОВАННЫ Х ЭЛЕМЕНТАМИ VIA ГРУП П Ы
Г. К. Астахова, М. В. Никитина, Н. В. Поликарпова, Л. Г. Сафронова
153
из аликвотной части раствора титрованием ферроценом на фоне
смеси соляной и ледяной уксусной кислот по разности. Определе
ние рения в тройных сплавах Ni — R e—W может быть также вы
полнено с помощью ферроцена в среде, представляющей смесь
соляной кислоты и ацетонитрила.
Навеску 0,1 — 1 г сплава в зависимости от содержаний молиб
дена растворяют в смеси 15—20 мл 40%-ной НЕ и 2 —3 мл азотной
кислоты плотностью 1,40 при умеренном нагревании. Но охлаж
дении осторожно приливают 5 мл серной кислоты плотностью
1,84, а в случае присутствия вольфрама — 5 мл фосфорной кисло
ты плотностью 1,7 для комплексацни вольфрама. Раствор дважды
упаривают до паров серной кислоты и переводят в мерную колбу
с соляной кислотой плотностью 1,19. Доливают до метки и пере
мешивают. Аликвотную часть раствора (5— 10 мл), содержащую
0 ,5 —2 мг молибдена, помещают в стакан для титрования емкостью
100 мл, приливают соляную кислоту, плотностью 1,19 и ледяную
уксусную кислоту с таким расчетом, чтобы в титруемом растворе
(25—30 мл) соотношение объемов кислот составляло 1 : 1 .
При определении рения навеску разлагают аналогично, перево
дят в мерную колбу емкостью 100 мл и доливают до метки разбав
ленной серной кислотой 1 : 20. Аликвотную часть раствора, со
держащую 0 ,5 —2 мг рения, помещают в стакан для титрования
емкостью 50 мл, приливают серную кислоту плотностью 1.84
с таким расчетом, чтобы ее содержание в титруемом объеме раст
вора составило 0,8 г. Раствор упаривают до паров серной кислоты.
По охлаждении приливают 15 мл раствора ацетонитрила, 1 мл
соляной кислоты плотностью 1,19.
Анализируемые растворы титруют 0,01 М этаноловым раство
ром ферроцена на амперометрической установке с платиновым
индикаторным электродом без наложения внешнего напряжения
по току окисления титранта.
При совместном присутствии Мо и W в многокомпонентных
сплавах на основе системы Ni — Re применялся ускоренный метод
их определения, а именно: сначала определялось суммарное коли
чество Мо и W осаждением Р-нафтохннолином и таннином при
pH = 1 ч - 2 121. Затем содержание вольфрама находилось по раз
ности, вычитая из Мо и W количество Мо, определенное титрова
нием ферроценом.
Атомно-абсорбционное определение Re. В настоящее время
насчитывается всего несколько работ, посвященных вопросу атом
но-абсорбционного определения R e, причем методы его определе
ния в объектах малоэкспрессны и трудоемки, так как предусмат
ривают первоначальное отделение Re от сопутствующих элемен
тов с использованием методов экстракции п осаждения.
Это объясняется тем, что при атомизации Re возникают
сильные межэлементные влияния, обусловленные составом проб.
Особенно сильные влияния на величину атомного поглощения
оказывают тугоплавкие элементы W , Мо, T i, А1, Сг и др.
Ранее (31 с использованием метода ортогонального планнрова-
154
ния эксперимента было изучено влияние Fe, Al, T i, Са, Mg, Na
и Sn на атомное поглощение Re, Мо и W k найден спектроскопиче
ский буфер, состоящий из смеси алюминия и фосфорной кислоты,
устраняющий межэлементные влияния Re, Мо и W друг на друга,
а также вышеперечисленных элементов.
В данной работе использовали буферную смесь (500 мкг/мл
алюминия 4- 5,8% фосфорной кислоты в анализируемом раство
ре) при разработке прямого пламенного атомно-абсорбционного
определения рения в системе R e—Мо—W —Сг—Ni.
Работу проводили на атомно
абсорбционном спектрофотометре
Перкин—Эльмер—303, источником
излучения служила лампа с по
лым катодом из рения, использо
валась линия рения 346,0 нм, пла
мя закись азота — ацетилен; рас
ход N20 — 13 л/мин, С2Н2—9 л/мин.
Было изучено влияние различ
ных концентраций Сг и Ni на Зависнмость атомного поглоще
величину атомного поглощения Re ния 100 мкг/мл Re (X ■■■■- 346,0 нм)
в присутствии буферной смеси и от концентрации Сг в растворе
без нее. Как видно из рисунка, 1 — с буфером; 2 — без буфера
добавление буфера полностью ни
велирует сильное влияние Сг на Re, а также вдвое увеличивает
чувствительность атомно-абсорбционного определения Re.
Далее на серин модельных растворов переменного состава,
содержащих все компоненты исследуемой системы R e—Мо—W —
Сг—Ni (Re — 100 мкг/мл, Мо — от 0 до 1000 мкг/мл, W — от 0
до 1000 мкг/мл, Сг — от 0 до 1000 мкг мл, Ni — от 0 до 3000 мкг/мл),
проверяли действие буфера. Выяснили, что без буферирования
возникают систематические ошибки определения, которые меня
ются от 4-104 до —7 2 о тн .% . При буферировании указанной
выше смесью алюминия и фосфорной кислоты для исследованной
системы влияние состава растворов устраняется. Это дает воз
можность проводить прямое определение от 0,5 до и - 10% Re в
сплавах на основе Ni, легированных различными количествами
Мо, W и Сг без отделения этих элементов. Навеску сплава раст
воряют в смеси фтористоводородной и азотной кислот, добавляют
по 5 мл серной и фосфорной кислоты и упаривают дважды до па
ров S 0 3. Раствор вносят в мерную колбу на 100 мл, добавляют 10 мл
раствора, содержао;его 5 мг мл AI, и доводят водой до метки. Со
держание рения находят по калибровочному графику, используя
шкалу эталонных растворов, содержащих от 30 до 300 мкг мл Re,
500 мкг'мл А1 и 5,8% П3Р 0 4.
Спектральное определение примесей в сплавах N i—R e —W.
Спектральный анализ примесей в сплавах на основе никеля, ре
ния и вольфрама связан с трудностями, обусловленными тем, что
составляющие сплава имеют многолиненчатый спектр. Это затруд
няет выбор спектральных линий анализируемых элементов, сво
155
бодных от наложения линиями основных компонентов. Задачу
можно несколько упростить, если после разложения пробь! в раз
бавленной H N 03 (1 : 1) провести удаление основной массы Re
отгонкой его в виде летучего окисла Re20 7 [41.
Порошок, полученный после удаления Re, состоящий из окис
лов никеля, вольфрама и определяемых примесей, анализируют
спектральным методом в дуге постоянного тока. Для уменьшения
интенсивности линий W и усиления линий анализируемых при
месей навеску подготовленной пробы (240 мг) смешивают с уголь
ным порошком, содержащим 1/6 NaF (60 мг). По 100 мг получен
ной смеси засыпают в отверстие угольного электрода, имеющего
форму7 «рюмки». Для эталонирования используют эталоны на ос
нове Ni. Поскольку эти эталоны не содержат W , в навеску эта
лона 190 мг добавляют 50 мг W 0 3, что соответствует среднему
содержанию W в сплавах. Нижний предел определяемых концент
рации для Mg, Си, Rb, Sn, B i, Cd, Sb — 0,001; для Si, Mn— 0 ,0 0 2 r
для Al, Z 11 —0,003, для F e—0.01 м ас.°0 .
ЛИТЕРАТУРА
1. С о л о м а т и н В . Т ., Я к о в л е в П . Я ., А р т е м о в а Т . I I . . Л а п ш и н а Л . А . —
Журн. а налит, х и м 1973, т. 28, вып. 11, с. 2197—2200.
и и ,
УДК 621.9.047. 7
ОСОБЕННОСТИ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО АНОДНОГО
РАСТВОРЕНИЯ Со И ЕГО СПЛАВОВ С Mo u Re
Ю . Н. П етр ов, В . В . П ар ш у тн н , М. А . Т ы л к и н а , Н. К . К а з а н с к а я
156
чалось. Электрохимическое поведение Мо и Re было частично'
изучено в работах 14—71.
Мы исследовали особенности анодного растворения кобальта
и его сплавов: двойного сплава с 7 мае. % Re и тройного сплава
Со — 2,5 мае. % Мо — 7,5 мае. °ь Re в различных электролитах.
Сплавы представляют собой твердые растворы рения и молибдена
в а-Со 41 имеют ГПУ решетку.
Потеьцнодннамические поляризационные кривые снимались
на вращающемся дисковом электроде в ячейке с разделенным анод
ным и катодным пространствами. Скорость наложения потенциа
ла 40 мВ/c. Кулонометрнческпе измерения проводили при галь-
ваностатическом определении потерь массы анода при пропуска
нии постоянного количества электричества (80 К л).
Исследовали образцы проволоки диаметром 2.5 мм. Опытные
сплавы выплавляли в дуговой вакуумной печи с нерасходуемым
вольфрамовым электродом на медном водоохлаждаемом поду в
атмосфере очищенного А г. Для плавки использовали катодный
Со, штабпки металлокерамического Мо и Re, предварительно
переплавленный в дуговой печи с целью дополнительной очистки.
Проволока изготовлялась из литых заготовок диаметром 15 мм,
длиной 150 мм методом горячей ковки на молоте в обжимках до
диаметра 7 мм с предварительным нагревом до 1350° С в течение
15 мин. Последующую ротационную ковку вели с диаметра 7 мм
до диаметра 2,5 мм при температуре от 1300—1400 до 1150—
1250° С.
На потенциодинамических поляризационных кривых кобаль
та при растворении в электролитах, содержащих 50— 100 г/л
NaCl, наблюдаются три характерные области, которые условно
назовем так: I — область активного растворения, II — ооласть
предельного тока, III — область транспассивного растворения
(рис. 1). Ограничения процесса в области II имеют диффузионную
природу, и их можно снять увеличением скорости массопереноса
(рис. 1, кривые 3 —5).
При больших концентрациях соли (200—250 г/л) решающее
значение приобретает отвод продуктов реакции от поверхности
анода. Если скорость отвода этих продуктов недостаточна, то на
поверхности электрода образуется солевая пленка и наступают
ограничения скорости ионизации металла. Повышение объемной
концентрации хлористого натрия снижает растворимость образо
вавшегося хлорида кобальта [31, появлепие солевого слоя проис
ходит при меньших плотностях тока, и ограничения процесса бо
лее существенны (рис. 2). При концентрации соли более 250 г/л
повышение частоты вращения дискового электрода до 4000 мин *
не позволяет перевести растворение в область I.
Величина предельного тока /пр растет с увеличением числа
оборотов вращающегося дискового электрода (рис. 3, а) и падает
с увеличением концентрации соли (рис. 3, б). При этом между
величиной tnp и («а)' J (o>— угловая скорость вращения дисково
го электрода) существует линейная зависимость.
157
4 > - J --------------------- 1---------------------u --------------- ----
0 1 Z 3 <?,B о 1 2 3 4 Я в
0
5 10 15 20 ± 50 100 <50 200 250
V w , р а д /с г fi<ac^ г!л
10
5
О
О 1 Z 3 о 2 *
Ри с. 4. Потенцподинамнческпе поляризационные кривые, полученные-
в растворе 150 г/л NaCl на дисковых электродах из различных материалов
1 - Со; 2 — Со — R e; 3 — Со — Re — Mo; 1 — Re; 5 — Мо. Частота вращения диска
2000 мин-1
Р и с. 5. Потепциодпнампческие поляризационные кривые полученные на
электроде из сплава Со—R e—Мо в растворе 150 r/л NaCl при разной частоте
вращения диска
1 — 0: 2 — 500; 3 — 1000; 4 — 2000; .5 — 4000 мин-*1
159
области, что и при растворении^Со. Величину предельного тока
можно повысить за счет роста скорости вращения дискового
электрода, однако достичь условий растворения сплава только
в области I не удается даже при частоте вращения 4000 мин-1
(концентрация NaCI в электролите 6 0 —250 г л). Влияние объем
ной концентрации NaCI подобно тому, которое наблюдается при
растворении чистого кобальта. Электрохимические свойства спла
ва в этом случае определяет его основной компонент.
Тройной сплав Со— R e —Мо растворяется в хлористом натрии
при более отрицательных потенциалах, чем сплав Со— Re (рис.4),
что обусловлено вводом молибдена, более активного компо
нента, чем Re. Увеличение скорости массопереноса активизи
рует процесс растворения, повышая величину предельного тока и
сдвигая область/// в отрицательную сторону (рис. 5). Однако на
поляризационных кривых при частоте вращения электрода 1000—
4000 мин-1 появляется новая область растворения, на которой в
интервале значений потенциала ~ 2 —4 В наблюдается снижение
плотности тока с увеличением числа оборотов вращающегося дис
ка. Рост объемной концентрации NaCI в электролите приводит к
изменениям хода поляризационных кривых, подобных наблю
даемым при растворении чистого Со.
Однако характер зависимости величины предельного тока от
концентрации хлористого натрия в электролите другой, чем при
растворении чистого Со. Т ак, для двойного сплава Со— Re ве
личина inp проходит через минимум при 200 г л, а для тройного
сплава Со— R e—Мо минимум сдвигается до 150 г/л. При этом
следует отметить, что в одинаковых условиях наибольшая вели
чина предельного тока наблюдается при растворении чистого
кобальта. У двойного сплава она меньше п еще меньше у трой
ного сплава. Вероятно, подобные явления обусловлены различной
растворимостью продуктов анодной реакции: хлорида кобальта,
молибдата и перрената.
ЛИТЕРАТУРА
1. ПерЫъман Ф. М ., Зворыкин А. Я . Кобальт и никель. М.: Наука, 1975,
215 с.
2. Савицкий Е. М ., Тылкина М. А ., Левин А. М. Сплавы рения в электро
нике. М.: Энергия, 1980. 216 с.
3. Давыдов А. Д ., Кащеев В . Д . — В кн.: Итоги науки и техники. Электро
химия. М.: ВИНИТИ, 1973, т. 9. с. 154 — 188.
4. Мичукова II. Ю ., Паршупгин В . В ., Дикусар А. И .— В кн.: Современные
проблемы электрохимического формообразования. Кишинев: Штиинца,
1978, с. 29—36.
5 . Мичукова И. Ю., Паршутин В . В ., Дикусар .4. И . — Электрон, обраб.
материалов, 1976, № 6, с. 11 — 15.
6 . Давыдов А. Д ., Кащеев В. Д ., Кривенький В . П .— Электрон, обраб. ма
териалов, 1973, № 1, с. 5 —8.
7. Дикусар А. //., Мичукова II. Ю., Паршутин В . В ., Петров Ю. Н . —
Докл. АН СССР, 1977, т. 233, № 5, с. 900—902.
8 . Справочник по растворимости /Под ред. В. В. Кафарова. М.: Наука,
1970. Т. 3. 1216 с.
Раздел III
У Д К 621.382.8.316.8
ТО Н КО ПЛЕН О ЧН Ы Е РЕЗИСТОРЫ
И З СОЕДИНЕНИЙ Re — W — А120 3
К. К. Озолс, Я. Ф. Ермолаев, Я. Э. Рушко,
В. М. Тулуевский, А. М. У майский, С. И. Толстов
6 З а к а з Л« 2 677 161
Химический анализ показал, что отклонение содержания сос
тавляющих в мишени от заложенных в шихте не превышает ± 3 % .
Фактическая плотность мишеней мало отличается от теоретиче
ской.
Предварительные исследования напыленных резистивных
слоев из соединения К Р-10 рентгеноспектральным методом по
казали соответствие состава слоев составу мишени (в пределах
ошибки метода анализа — 5°о). При этом была отмечена тенден
ция уменьшения в слое содержания W и увеличения Л120 3 после
многократного напыления. Для уточнения данного вопроса не
обходимо провести дополнительные исследования.
Напыленные с мишени К Р-20 резистивные слои имели весьма
высокое удельное поверхностное сопротивление (р > 1 МОм Г1
за 1 ч напыления), поэтому их исследование не проводилось.
Разброс сопротивления ТП Р на пластине, полученных ионно-
химическим травлением резистивного слоя, практически не отли
чается от разброса сопротивления ТП Р, полученных их хими
ческим травлением.
Зависимости относительного изменения удельного поверхност
ного сопротивления (Ар, р) резистивного слоя из соединений на
основе R e —W с разным р без защитного слоя на кремниевых пла
стинах от содержания окиси алюминия в мишени при разных тем
пературах термической обработки представлены на рис. 1 . В е
личина Ар р уменьшается с увеличением содержания А120 3 в
мишени, с уменьшением температуры термической обработки и
значения р резистивного слоя. Величина относительного изме
нения сопротивления (А R/B) резисторов с защитным слоем после
термической обработки примерно в 2 —3 раза меньше, чем б е з з а
щитного слоя.
Зависимости значений ТКС ТП Р с разным р из соединений на
основе R e —W без защитного слоя на спталловых пластинах от
содержания окиси алюминия в мишени до и после термообработки
представлены на рис. 2 .
Значения ТКС ТП Р с р в рассматриваемом диапазоне от 50
000 Ом 17] до термической обработки нз соединения К Р -0 поло
жительны. а из соединений КР-5 и К Р -10 отрицательны. После
термообработки значения ТКС резисторов отрицательны и онп
увеличиваются по абсолютной величине с увеличением о резистив
ного слоя и температуры термической обработки и с уменьшением
содержания окиси алюминия в мишени.
Как видно из рис. 1 и 2. ТП Р из соединений К Р-5 и К Р -10 поз
воляют произвести их термообработку при температуре выше
500° С.
После термической обработки ТП Р с защитным слоем их зна
чение ТКС практически не отличается от значения ТКС резисто
ров без защитного слоя (в пределах ошибки измерения 15°о).
Значения ТКО резисторов с р 100 O m/(7j . покрытых защитным
слоем, после термической обработки укладываются в диапазоне
± 2 - 1 0 -6 град-1.
162
P*C. i. Зависпмссть Др,р резистивного слоя нз соединений рения, вольфра
ма и окиси алюминия с разным р на кремниевых пластинах от содержания
окиси алюминия в мишени после термической обработки при различных тем
пературах в течение 30 лнш в атмосфере аргона
ЛИ ТЕРАТУРА
1. Кондратов II. М. — Электрон, техника. Материалы. 1979. вып. 4. с. 36.
2. Бочкарев Б . А., Бочкарева В. А. Керметные пленки. Л .: Энергия, 1975.
152 с.
3. Стальбовский В. В. - Электрон, техника. Радиодетали, 1966, вып. 4,
с. 1 3 -2 1 .
У Д К 539 .2 1 6 :6 2 1 .3 1 6 :8 :5 4 8 .4 .0 0 1
Э Л ЕК Т Р И Ч ЕС К И Е СВОЙСТВА П Л ЕН О К СП ЛАВО В
Н А ОСНОВЕ Д И СИ ЛИ ЦИ ДА Р ЕН И Я
Н. Ю . Ю снпов, М . А . Т ы л к п н а , Л . Л . Ж д а н о в а , 10. П . С т г а к и н
164
соединениями: R e 5S i3, ReSi, ReSio. Соединение R e 5S i 3 образуется
конгруэнтно при 2233 К и имеет тетрагональную структуру с пос
тоянными решетки а = 0,953, с = 0,481 нм. ReSi образуется по
перитектической реакции между расплавом и ReSi 2 при температуре
2073 К , имеет кубическую решетку с постоянной а = 0,4774 нм.
ReSi2 образуется конгруэнтно при 2253 К , имеет тетрагональную
структуру с постоянными решетки а = 0,3131, с = 0,7676 нм.
Кроме того, в системе R e — Si образуются три эвтектики: меж
ду R eSi 2 и кремнием установлено наличие эвтектики при темпе
ратуре ~ 1 3 9 8 К ; между R e 5S i 3 и ReSi образуется эвтектика при
2093 К , а также между рением и R e 5S i 3 при 2173 К образуется
эвтектика при 33 ат.°о Si.
Основные электрофизические свойства соединений системы
Re — Si, определяющие параметры резистивных пленок, приве
дены в табл. 1 .
Таблица 1. Электрические свойства силицидов рения
166
v,Om* р у,0»сн-1О*
167
Табли ц а 2. Электрические сво й ства п л ен о.; т о н ц и .ю й 200 нм R e S t*
и сп л а в о в на его осн ове
Температурная устойчи
Содержание вость. К
легирующей ТКС-10-3,
Материал примеси, р, мьОм см гр ад -1
об.% в вакууме на воздухе
ЛИТЕРАТУРА
1. Г о л ь д ш м и д т , X . Дж . Сплавы внедрения. М.: Мир, 1971. Вып. II. 352 с.
2. С а м со н о в Г . В . , Д в о р и н а Л. А ., Р у д ь Б . М. Силициды. М.: Металлургия,
1979. 272 с.
3. Самсонов Г . В ., В и н н и ц к и й И . М . Тугоплавкие соединения: Справочник.
М.: Металлургия, 1976. 560 с.
4. Ю си п о в I I . /0 ., Г о л о в и н В . И ., К о н д р а т о в I I . М . и др.— Электрон, тех
ника. Материалы, 1976, вып. 7, с. 3—6.
5. K n a p t o n A. G. Plansee Proceedings. L.: Pergamon press, Ltd, 1959, p. 412 —
418.
6 . Н е ш п о р В . C ., С а м с о н о в Г . В . — ФММ, 1961, т. 11, вып. 4, с. 638—640.
УДК 539#?16:621.316:8:548.4.001
ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЗИСТИВНЫ Х СВОЙСТВ
ПЛЕНОК СОЕДИНЕНИЙ Re с S i
И ПЕРЕХОДНЫМИ МЕТАЛЛАМИ IV — VI ГРУ П П
3 . Ю. Г о т р а, А. В . Скоблен ко
168
Рис. 1. Расположение экспериментальных
точек (1—7) симплекс-центролдного пла
на длк трехкомпонентной пленки
Мо *оо
*56
/ \ 3*0
ТКС-Ю^К'1
/ \
80 W 333 290^2,0
ВО »s m ~ ~ iso W
А
- 200,
2*0 у 84 ~31в
-105S -V 2 -423 -199
‘«I
05
—11
72
149
\IIff
m
zoo
ZOO
178
\
190
190^60
N190
9П / \
ZO-IBIS -1123 -70S -3S5 \'ЮО 89 ^ 202 239 \o o 60
* / I, \
SS‘ -2264 -1602 -1036 -566 -194 82^ 26Z 3*4 330 2ZO
/ if w у
' -3000—'21*8 — 1*12 —~m— -29* Ш. 90-1— 356----506-----538---- *52 — Z53
\ Dp
Si 80 60 40 20 Si^ am. %
MO ^
5,28 >
, /\ 4
СпрумнОМ'СМ 5,37 5,*9 _2_
an / \
° l5}57 5,59 5,67 20
/ \
5,89 5,81 5,78 5,81^
^ 11*34 9,53 6,79 8,14 7,57 7,06 6,67 6,35 6,10 5,94
/ / >/ ' Re
' H,SQ— 10, 55— 9,66— 6, 90— 8, 20— 7J 9— 7, 07— 6, 64— 6, 23— 6,02 — 5,64
'Sb 80 SO 40 20 Si, am . %
tea
Цель данной работы — исследование возможности применения
таких соединений в качестве рези тивных материалов и определе
ние рациональных составов, обеспечивающих получение заданных
параметров ТП Р: сопротивлении р и температурного к о з }>{ищи ш-
та сопротивления (ТКС).
Соединения синтезировались в виде тонких пленок осажле-
нием чистых составляющих на вращающиеся подложки с раз
дельных мишеней в системе многокатодного распыления \2\. Про
центный состав компонентов задавался системой калибровочных
экранов с секторным вырезом, размещенных над мишенями в об
ласти катодного темного пространства. Площади вырезов Р-, оп
ределялись по выведенным для данной технологии синтеза фор
мулам
р __ £i __ J j _ . р ___ х - 5i . р __ Хл 5i
1 — Z ,s,y J ’ .Г1 ’ 3 х, 7 ,. h J '
Система 1 л 3 4
170
Перечень синтезированных материалов и соответствующие им
экспериментальные значения температурного коэффициента со
противления ТКС и электросопротивления р представлены в таб
лице, где последовательность записи компонентов систем соот
ветствует точкам 1—3 использованного плана.
Для построения диаграмм состав—свойство с помощью ЭВМ
формировался массив координат концентрационного треугольника,
которые наряду с экспериментальными данными подставлялись
в уравнение неполной кубической модели
У = pl^l 7- р2*2 + Рз^з + Pl2ZlX2 -Г P13Z1Z3 -Г Р г з ^ з +
+ РтЯ^гЗ-я’
где Р, = Y Р2 = У 2; рз - У я; = 4У <; - 2У £ - 2 Yfi
р12.( = 27У 123 - 12 ГУ, 2 - У ,з + У 23) -- 3 (Ух + У 2 + У 3), а сим
вол У относится к обозначению свойства. Применение данной
модели вызвано простотой реализации приведенного плана в од
ном технологическом цикле. Получены по этой модели с помощью
ЭВМ диаграммы состав—ТКС и состав—р для всех исследованных
систем. Их анализ позволяет сделать заключение, что необрабо
танные пленки Si — R e— {T i, Мо, Т а} и Me, — R e—Mej имеют
ряд особенностей.
Для пленок соединений первого вида существует область кон
центраций, в которой происходит изменение знака ТКС, всегда
отрицательного в кремниевом углу. Сопротивление пленок в
этой области составляет 650—5000 мкОм-см. На рис. 2, 3 (в ка
честве примера) приведены диаграммы для системы S i — M o— Re.
Заштрихованная область изменения знака ТКС (рис. 2) находится
в области значений |ТКС |< 1 2 *1 0 - 4К -1, которая отмечена пунк
тирной линией. Наложение выделенных областей на диаграмму
состав—р (рис. 3) позволяет определить диапазон сопротивлений
резистивной пленки по заданным значениям ТКС. Узость области
изменения знака ТКС указывает на возможные технологические
трудности, поскольку небольшие изменения параметров процесса
осаждения могут привести к значительному разбросу значений
ТКС.
Соединения второго вида
обеспечивают более плавное
изменение значения ТКС в кон-
цен трац и он н ом тр еу го л ьн и к е и
5 б 7 м е н ь ш ее с о п р о т и в л е н и е (п о р я д -
*>00 ВСЮ м к О м - с и ) п о с п а в -
нению с п лен кам и п ер во го ви д а.
150/2800 200/500 225/000 П о ск о л ьк у свой ства п лен ок
— 200/1000 200/400 — 80/900 в зн а ч и те л ь н о й м ер е о п р е д е л я -
— 90/2000
210/500
250/450
200/500
— 110/1120 ю те я и х тол щ и н ой , бы ла р а с-
80/5R0 см отр ен а во зм о ж н о сть п остр ое-
800/310 200/400 120/470 н н я д и агр ам м с о с т а в — св о й ство
200/480 200/500 250/ 540 более тон к и х п лен ок. Д л я вы -
fi15/450 «50/400 200/500 бора р ац и о н ал ьн о й м одели пе-
171
ресчета приведенных диаграмм определялась структура синтези
рованных пленок состава х> — 33 ат. % [41. Д ля аморфных пле
нок S i— R e —{T i, Мо, Т а }, Z r— Re — T i было принято приближе
ние Зондхаймера—Фачса [51, а для поликристаллических пленок
N b—R e —T i, H f—R e —M o ,W — R e— Nb — модель Майэдеса— Шэц-
кеса [6 ].
Полученные с помощью ЭВМ диаграммы состав—свойство
очень тонких пленок для ТП Р не имеют практической ценности,
поскольку расчет свойств основан на частных факторах рассея
ния электронов и не предусматривает возможности изменения
знака ТКС с уменьшением толщины пленки, хотя позволяет сде
лать некоторые качественные выводы.
Для пленок с участием кремния толщиной порядка 5 нм об
ласть рациональных концентраций для получения минимальных
значений ТКС сдвигается в рениевый либо молибденовый угол.
При этом значение сопротивления пленок составляет 0,3* 104—
2,5 •10 4 мкОм-см.
Для пленок второго вида (кроме Z r— R e —Ti) резко падает
значение ТКС, поскольку с уменьшением толщины увеличивается
рассеяние на границах зерен, так как размер зерна приблизи
тельно равен толщине пленки. С учетом недостатков модели это
означает практически потерю воспроизводимости резистивных
свойств пленок в диапазоне сопротивлений от 3 -1 0 3 мкОм-см и
более.
Таким образом, проведенные исследования резистивных свойств
рассмотренных материалов позволяют рекомендовать леги
рование сплава рения с кремнием для дальнейших разработок с
целью расширения концентрационной области минимальных зна
чений ТКС, а сплавы рения с переходными металлами IV —V I
групп — для решения частных задач и отработки специальных
видов технологии.
ЛИТЕРАТУРА
172
УДК 537.312:539.2:546.7'28Г655
СТРУКТУРА И ГАЛЬВАНОМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА
ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ТРОЙНЫХ СИЛИЦИДОВ /-
И d -МЕТАЛЛОВ
Е. М. Левин, М. Ю. Балабин, А. П. Кузькин, Л. Г. Мансуров
173
450 К и магнитных полей до 10 кЭ. При Т — 293 К были изме
рены зависимости ЭДС Холла ен и электросопротивления от угла
0 между направлением вектора напряженности магнитного поля
Н п плоскостью пленки при ее вращении вдоль оси, лежащей в
направлении вектора плотности тока j .
Вакуум-термические конденсаты на основе пнтерметаллидов
типа CeMe2S i 2 с Me — Fe, Со, Ni характеризуются, как и массив
ные образцы, металлическим блеском и устойчивостью к окис
лению. Контроль состава пленок на поверхности, проведенный
с помощью рентгеноспектрального микроанализа на характеристи
ческих линиях F eKa, Сока, N ix a и 81кв для соответствующих со
единений, показал их однородность.
Электронография пленок на основе CeNi2S i2, осажденных при
Тп = 290 К , показывает диффузную диффракцпонную картину,
соответствующую сильно разупорядоченному или аморфному
состоянию. С повышением температуры подложки на электро-
нограммах одновременно с гало появляются кольцевые рефлексы,
свидетельствующие о появлении в разупорядоченной матрице
кристаллов. Прп Т п > 550 К в пленках на основе CeNi2S i 2 об
разуется поликрпсталлическая структура.
В пленках на основе CeCo2S i 2 при Та = 290 К наряду с разу
порядоченной отмечено появление кристаллической фазы, содер
жание которой с ростом Тп увеличивается.
Электронограммы пленок на основе CeFe2S i 2 характеризуются
наличием уширенных кольцевых рефлексов. При повышения Тл
до 780 К на электронограммах появляются точечные рефлексы,
соответствующие образованию текстуры в направлении [ 10 0 ].
Следует, однако, отметить, что на центральной части дифракцион
ной картины при всех значениях Тп наблюдались гало.
Электронная микроскопия подтверждает данные электроно
графии, показывая, что размер областей когерентного рассеяния в
пленках на основе CeNi2S i2, осажденных при Тп = 290 К , не пре
вышает 15 А; при повышении Тл микроструктура пленки соот
ветствует разупорядоченной матрице с распределеннымп в ней
кристаллитами. Для конденсатов на основе CeCo2S i 2 при старе
нии отмечено образование атомных скоплений со средними разме
рами ~ 5 0 0 А. В пленках, осажденных при испарении пнтерме-
таллпда CeFe 2S i2, даже при высоких температурах подложки
величина зерна не превышает 200 А. При температурах подложки
Т п ~ 720 ± Ю К в пленках обнаружено возникновение «сет
чатой» субструктуры, образованной складками на поверхности
пленки. Конденсация пленок при Т п 750 К приводит к воз
никновению разрывов по границам ячеек (рис. 1 . б). В пленках,
сконденсированных при Тп < 600 К и нагретых без нарушения
вакуума до температур ~ 7 2 0 К , также возникает «сетчатая» суб
структура.
Измерения температурных зависимостей электросопротивле
ния, проведенные при квазилинейном нагреве со скоростью
~ 2 0 град, мин., показали наличие для пленок на основе соедине-
174
Рис. 1. Э лектронно - мн к рос коп и чем? кис снимки конденсатов на основе4 интер
нета л лида Со F c2S i 2
П — тп — 020 К, ув. 00 000; и — 7'п — 730 К, ув. 30 000; г. — Г п -*=770 К. ув. 15 000
ний с Me = Ni, Со термически активированного процесса перено
са заряда. При температурах Т ^ 700 К для всех пленок проис
ходят необратимые изменения величины и знака d fi dT. Подоб
ная ситуация, характерная для электросопротивления аморфных
пленок /- и d-металлов и силицидов d-металлов при фазовых пе
реходах типа аморфное состояние — кристаллическое состояние
[ 1 , 2 ], указывает на существование в конденсатах интерметалли-
дов типа CeM2S i 2 аморфной фазы. Возможных причин, способст
вующих образованию разупорядоченного состояния в вакуум-
термических конденсатах таких сложных систем, как тройные со
единения /- п d-металлов с кремнием, достаточно много. Однако
основой, вероятно, является полнатомный состав пара, что при
водит к значительной величине энергии активации поверхностной
энергии ()дИф и возникновению на подложке многочисленных за
родышей [5].
Результаты дифракционных данных н характер зависимостей
R ( Т ) указывают на применимость для исследуемых конденсатов
микрокристаллической модели строения, согласно которой [ 6 ]
пленка состоит из микроскопических квазикристаллическнх об
ластей ближнего порядка, окруженных более разупорядоченны-
ми областями. При повышении температуры в пленке происходит
как рекристаллизация мпкрокристаллитов, так и зарождение
кристаллитов в разупорядоченных областях.
Кинетические свойства пленок /- и d-металов и силицидов d-
металлов в значительной степени обусловлены их структурными
особенностями [!]• Для исследованных нами пленок электросо
противление в отсутствие внешнего магнитного поля хорошо кор
релирует с дифракционными данными, показывая, что наиболь
шие отрицательные величины dR/dT, обусловленные термоактн-
вационнымп процессами, соответствуют более разупорядоченным
структурам. В присутствии внешнего магнитного поля характер
движения носителей заряда в сплавах на основе /- и d-элементов
изменяется не только под действием силы Лоренца, но и вслед
ствие появления эффектов асимметричного рассеивания [7].
Результаты исследования эффекта Холла в конденсатах интер-
металлидов типа CeMe2Si 2 показали, что величина удельной ЭДС
Холла е11 --- £ н//, характер зависимостей еи ~ / (//) (рис. 2, а)
и ен — / ( 0 ) (рис. 2 , б) в пленках на основе соединения никеля со
ответствуют обычному эффекту Холла для металлической системы
с электронной концентрацией ~ 1 0 22 см-3. Для пленок с Me — F e,
Со величина ен на два порядка больше, чем е 11 в пленках с M = N i
(рис. 2, о). Вид кривых ен (0) для пленок с Me = Fe (рис. 2, б )
указывает на зависимость их формы от величины прикладывае
мого магнитного поля, что свидетельствует о проявлении ано
мального эффекта Холла (АЭХ) [7], обусловленного движением
носителей заряда в спонтанно-намагниченных системах. Изме
нение формы кривых е11 (0 ) при изменении величины приклады
ваемого магнитного поля II связано с соотношением величин Н
и намагниченности пленки 4 л Л/s [ 6 ]. С ростом температуры подлож-
176
магнитного поля (а) и от
угла 0 (5) при Н = 0,5 (/), л р н/р - 1 0 к
2 (2), 5 кЭ (5)
На вставке приведена зависи
мость е**/ (Н) в области значе
ний напряженности магнитно
го поля, обладающая гистере
зисным характером
ЛИТЕРАТУРА
1. Буравихин В. А .— В кн.: Доменные и магнито оптические запоминающие
устройства. М.: Наука, 1977, с. 38—48.
2. S h i m a d a У ., K o jirn a 7/.— J . Appl. Phys., 1970, vol. 47, N 9, р. 4150—4159.
3. Лалатник А. С., Сорокин В. К. Материаловедение в микроэлектронике.
М.: Анергия, 1978. 280 с.
4. Гладышевский Е. //., Бодан О. Н. В кн.: Химия металлических спла
вов. М.: Наука. 1973, с. 40—52.
5. Захаров В. /7., Герасименко В. С. Структурные особенности полупровод
ников в аморфном состоянии. Киев: Паук, думка, 1970. 280 с.
0. Осипов И. А. Аморфные и ультрадпсиерсные кристаллические материалы.
М.: Наука, 1972. 70 с.
7. Гуревич Л. «9., Яссиевич Н. И . - ФТТ, 1903, т. 5, выи. 9, с. 2020—2020.
8 . \agij /., Peto G., Tarnoczi Г .— J. Appi. Phys., 1970, N 7, p. 3371 — 3373.
9. By Динь /Гы, Курицина E. Ф .— Докл. АН СССР, 1905, т. 100, № 1,
с. 7 7 -8 0 .
10. .7евин Е. М. - УФЖ. 1979, т. 24, № 9, с. 1380-1388.
11. Левин Е. Д/., Иотерлин Л 1 .Д .У Луцив Р. В ., Крайнюк Г ., Мацке
вич У/. А ,— Вести. Львов, ун-та. Сер. фнз., 1979, выи. 4, с. 62—00.
12. Бодак О. //., Гладышевский Е. УУ., Левин Е. Л/., Л уцив Р. В . — Докл.
АН УССР. Сер. А, 1977, № 12, с. 1129-1132.
13. Г е л ь д П . В . у Сидоренко Ф. А. Силициды переходных металлов четвертого
периода. М.: Металлургия, 1974. 584 с.
УДК C21.31G 8
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИТРИДОВ
ПЕРЕХОДН Ы Х МЕТАЛЛОВ
Н. 10. Юсппов
178
водящей к диссоциации нитридов при повышенных температурах
и более слабой сопротивляемости к высокотемпературному окисле
нию, не нашли широкого применения в промышленности [1, 2].
Однако в качестве материалов пленочных резисторов они об
ладают положительными свойствами, выделяющими нитриды из
ряда широко применяемых в настоящее время резистивных ма
териалов — нихрома и силицидов [3, 4]: более высокой структур
ной п фазовой стабильностью, приводящей к стабильности
электрических свойств в широком интервале температур, высо
кой химической стойкостью и большим диапазоном удельного
сопротивления (см. таблицу) [1, 2, 5].
Главное достоинство пленок нитридов переходных металлов —
технологичность получения резистивных пленок с заданными
свойствами из металлов и сплавов любого состава реактивным
распылением мишеней соответствующего материала в контроли
руемой газовой среде из азота. Изменяя парциальное давление
азота и энергию частиц, а также применяя сплавы с содержанием
В, Al, Si, Ga, образующих с азотом диэлектрическую фазу, можно
получить керметные пленки с высокой однородностью распреде
ления проводящей и диэлектрической фаз в пленке. Получаемая
при этом мелкодисперсная высокостабильная структура пленок
позволяет сохранить воспроизводимость величины сопротивле
ния при содержании диэлектрической фазы более 50 а т .%, что
приводит для керметов с многофазной структурой, полученных
из механических смесей проводящей и диэлектрической фаз,
к резкому снижению воспроизводимости [6].
Меняя состав газов в напылительной камере и добавляя кис
лород или углеродсодержащие компоненты, можно регулировать
электрические свойства в более широких пределах, получая из
одной и той же мишени как низкоомные, так и высокоомные ре
зистивные пленки.
Ограниченное ирнменепие в прошлом нитридов в качестве
тонкопленочного резистивного материала объясняется отсут
ствием высокопроизводительного оборудования для получения
резистивных пленок реактивным осаждением мишеней. Широкое
распространение получили лишь танталовые пленки, позволяю
щие получать как резистивные пленки, так и электроды и диэлек
трические пленки с использованием «танталовой технологии» [7].
В настоящее время разработано и разрабатывается оборудо
вание с применением ионных и плазменных методов, сравнимое
по производительности с термическими методами испарения.
Появляется все больше и больше работ по разработке резистив
ных материалов из простых и сложных нитридов переходных
металлов, в основном тантала, титана, циркония и их сплавов
[8 -Ю ].
Цель данной работы — изучение электрических свойств ре-
знстивных пленок из нитридов переходных металлов и темпера
турной стабильности пленок. Определены возможности исполь
зования нитридных пленок в термостойких гибридных нитеграль-
179
Электрические параметры некоторых нитридов переходных металлов
в объемном и тонкопленочном состоянии
Усредненная ве
Удельное сопротивле личина ТКС, Изменение сопротивлении,
ние p, мкОм-см 10“3 град~1 %
Система
объемное тонкопле объем тонко-
ночное COCT. ное пленоч- 673 К 773 К 873 К 973 К
COCT. COCT. | ное сост.
180
Рис. i. Зависимость
удельного сопротивления
нитридов переходных ме
таллов от толщины пленок
а: 1 — V —N; 2 — R c—N;
С. 1 — N'b—N. 2 — W —N, в: I
- Т а —N; 2 —Mo — N.3 — T i—N:
г : W —R e —N; д —Cr—N
181
к то время как для керметных пленок с содержанием стеклофазы
50 а т .% , полученных термическим «взрывным» испарением, не
менее + ( 1 0 -4- 12)% [10]. Наибольший разброс по величине удель
ного сопротивления имели пленки нитрида ниобия до толщины
2 5 —30 нм (рис. 1 , б, кривая 1) и пленки нитрида хрома (рис. 1 , д)
и тантала (рис. 1в, кривая /). Наблюдается тенденция к увеличе
нию разброса величины сопротивления у нитридов, имеющих не
сколько стабильных фаз и более широкую область гомогенности.
Это в первую очередь заметно у пленок системы N b— N, удель
ное сопротивление которых и в массивном виде меняется от 40
до 200 мкОм см в зависимости от содержания азота, Сг— N и
Т а —N. Однако для титана это условие не соблюдается — нитрид
титана имеет максимально широкую область гомогенности и в
то же время минимальный разброс сопротивления (рис. 1 ,е . кри
вая Я ). По всей видимости, титан, как и в других соединениях,
в меньшей степени меняет электрические свойства на диаграмме
состав—свойство при изменении состава в широких пределах
или образует соединение с постоянным стехиометрическим со
ставом.
Данные таблицы показывают, что большинство нитридов со
храняют пропорциональность по электрическим сопротивлениям
в объемном состоянии и их пленками (для материалов, у которых
известны величины объемного сопротивления). Однако пленки
системы имеют непропорционально большое удельное сопротив
ление по сравнению с величинами, приведенными в разных источ
никах для данного материала [1 —3]. Структурные исследования
пленок показали, что пленки соответствуют фазе CrN с ГЦК ре
шеткой с периодом 4,216 А, превышающим период решеткн для
объемного материала на 1 , 6 %.
Пленки системы V — N и T i —N также соответствовали фазе
NY и TiN с ГЦК решеткой и периодом 4,21 и 4,32 А соответствен
но (4,126 и 4,23 А для объемных нитридов). Размер зерна после
осаждения не превышал 1 ,5 —2,5 нм, увеличиваясь в процессе
отжига в вакууме в интервале температур 773—973 К до 2 5 —30 нм.
При этом одновременно с ростом температуры отжига монотон
но уменьшался период решетки.
Измерения температурной устойчивости нитридных пленок
переходных металлов по изменению величины сопротивления
в процессе термической обработки в температурном интервале
6 7 3 — 1073 К показали сложный характер измененпя сопротив
ления от температуры как для различных толщин, так и для раз
личных температур термической обработки. Нитридные пленки
переходных .металлов в температурном интервале 6 7 3 —973 К
проявили более высокую термическую устойчивость по сравнению
с данными, приведенными в литературных источниках, в особен
ности нитриды V I — V II групп — W N, MoN и ReN . которые
в вакууме разлагаются уже при температурах 3 0 0 —320 К. [2].
Максимальной термоустойчивостью обладают пленки нитри
дов ванадия, ниобия и титана, имеющих изменения сопротнвле-
182
Рис. 2. Относительное изменение сопротивления нитридов от толщины плен
ки при термической обработке
а — Mo—X ; О — V —N; в — W —N; г — Nb—N. 1 — 673 К; 2 — 773; з —873; 4 — 973 К
183
сопротивление. Это связано, по-видимому, с началом разложения
нитридов.
Отличие термоустойчивости пленок нитридов переходных ме
таллов от термоустойчивости материалов в объемном состоянии,
приведенные в литературе [2, 4], по-видимому, связано со стаби
лизацией нитридов в пленках растворенным углеродом, присут
ствующим в остаточных газах вакуумной системы.
Результаты изучения электрических характеристик нитридов
переходных металлов позволяют сделать следующие выводы:
нитридные пленки переходных металлов обладают величиной
сопротивления, позволяющей разрабатывать резистивные эле
менты от единиц Ом до сотен мОм с воспроизводимостью, доста
точной для разработки высокостабильных резистивных элементов
гибридных ИС.
Термостойкость резистивных пленок достигает 873 К при
кратковременном нагреве (в течение 3 0 —200 мин) и 6 7 3 —723 К
при длител» ном воздействии (более 10 0 ч) температуры в вакууме
или защитной атмосфере.
Пленки нитрида хрома рекомендуются для изготовления сверх
высокоомных сопротивлений с номиналами в сотни мОм и более
н величиной ТКС ^0,9-ч—1 ,5 )-10 ~2 град-1.
Пленки системы V — X и Nb — N можно применять в схемах,
требующих кратковременных нагревов до 873 К, при которых
сопротивление пленок изменяется не более 3 —5% от начального
значения.
Для выяснения причин аномальных свойств нитридных пле
нок переходных металлов необходимы дальнейшие исследования
по выявлению структурных и фазовых превращений в зависимо
сти от режимов осаждения, толщины пленок п режимов терми
ческой обработки.
ЛИТЕРАТУРА
1. Киффер Р., Бенезовский Ф. Твердые материалы. М.: Металлургия. 1968.
384 с.
2. Гольдшмидт X. Д ж . Сплавы внедрения. М.: Мир, 1971. Вып. 1. 424 с.
3. Технология тонких пленок: Справочник/ Под ред. Л. Манссела, Р. Глэн-
га. М.: Сов. радио, 1977. Т. 2. 768 с.
4. Гот ра 3. Ю., Мушкарден Э. М.. Смеркло Л. М.. Технологические ос
новы гибридных интегральных схем. Львов: Вшца школа, 1977. 168 с.
5. Самсонов Г. В ., Винницкий И. М. Тугоплавкие соединения: Справочник.
М.: Металлургия. 1976. 560 с.*
6. Осипов К. А ., Борович Т. Л .. Головин В. II. и др.— Электрон, техника.
Материалы, 1978, вып. 2 , с. 24—28.
7. Robert IF. Berry, Peter М. Hall and Murray T. Harris. Thin Film. New
Jersey etc., 1968. 458 p.
8 . Nakamura M.. Fuimori M ., Nishimura J . — J . Appl. Phvs., 1973. Ja n .,
vol. 12, N 1, p. 30—39.
9. Umezaua T., Ja fim a Matsumoto A'.— Thin Solid Films, 1978. vol. 52,
p. 69—75.
10. Ferraris G. P . — Thin Solid Films, 1974. vol. 24, p.\l 13— 124.
11. Юсипов H. Ю., Головин В. If ., Кондратов Н. М. и др.— Электрон, тех
ника. Материалы, 1976, вып. 7, с. 3 —6.
184
У Д К 53У.23.669.28
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
РЕЗИСТИВНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК
НА ОСНОВЕ ТУГОПЛАВКИХ СОЕДИНЕНИЙ
ТИТАНА
К. А. Осипов, Т. Л. Борович, Е. М. Мирошкииа,
Н. Ю. Юсипов, Ю. П. Сипикии
185
Рис. 1. Зависимость удельного по
верхностного сопротивления (рJ
ТКС (а) от толщины пленок различ
ных систем
Г— T i B j—AI2Oa; 2 — T i c —А1,Оа; 3 —
T i—А1гО>
186
противления пленок T i—А1.,Оа, а удельное поверхностное сопро-
тнвление пленок T iB 2 —А12Оа превосходит удельное сопротив
ление двух этих систем при одних и тех же толщинах и составах-
Различные значения удельного поверхностного сопротивления
можно объяснить: 1) несоответствием содержания AJ30 3 в спе
ченный мишенях заданному составу в прессованных и 2 ) несо
ответствием содержания А|.,03 в пленках и в распыленных ми
шенях. Термодинамический расчет, проведенный в работах [5, 6 ],
показал, что температура г ачала наиболее вероятных реакций
в системах T iB 2—А1.,03 и T iC —А120 3 в равновесных условиях
превышает 2000 С, в неравновесных условиях при давлении
среды 1 10 ~2 Па — 1500 и 1300' С соответственно. При этом на
рентгенограммах было зафиксировано некоторое увеличение
концентрации исходного окисного компонента по сравнению с
боридным и, напротив, уменьшение фазы А1.,03 но сравнению с
карбидом. Таким образом, уже при спекании может возникнуть
разница по количеству А12Оа в исходных мишенях. Эта разница
может еще увеличиться в пленках T iC —А1.,03 в результате ча
стичной диссоциации материала мишени при распылении и обра
зования в газовой фазе СО. Следовательно, количество диэлек
трической фазы в пленках T iC —А120 3 может быть значительно
снижено по сравнению с пленками T i—А120 3 и T iB 2—А120 3,
что и приводит к различным значениям удельного поверхностного
сопротивления при гдинаковых толщинах.
Исследуемые пленки были стабильны при циклических на
гревах до 600 С в вакууме. Необратимые изменения сопротив
ления для пленок системы T iB 2—А 1,0 3 не превышали 5 % , для
пленок системы T iC —А120 3— 8 %. Для пленок толщиной менее
30 нм эти значения увеличивались до 10— 1 2 %.
Была изучена стабильность пленок при нагревах до 1000° С
в вакууме в течение 30 мин. На рис. 3 приведены зависимости
среднего необратимого изменения сопротивления пленок
T iC —А120 3 и T iB 2—A lj0 3 от температуры отжига, а также для
сравнения эти же зависимости
для пленок системы T i—А).,0.,[3]
п T iB 2. Пленки T iB ,—А120 3
были стабильны до температу
ры 800JC, при дальнейшем по
вышении температуры отжига
электросопротивление резко па
дало. Из графика видно, что
ход кривой зависимости необ-
187
ратимого изменения электросопротивления пленок T iB 2— А120 3
от те!\шературы точно повторяет ход кривой для чистого T iB 2.
Пленки системы T iC — А120 3 практически мало изменяли элект
росопротивление вплоть до 1000° С.
По стабильности при отжигах в вакууме пленки систем
T iB »— А120 3 и T iC — А120 3 значительно превосходили пленки
системы T i— А120 3, у которых резкое увеличение электросопро
тивления начиналось при 700° С, при повышении температуры
отжига до 900° С электросопротивление резко возрастало и про
водимость нарушалась.
Таким образом, исследование резистивных пленок систем
T iC — А120 3 и T iB 2— А120 3, содержащих 50 мае. % А120 3, показа
ло, что величина удельного поверхностного сопротивления пле
нок T iB 2— А120 3 0 ,3 —3,5 кОм/Ц, пленок T iC — А120 3 —
0 ,0 5 —2 кОм/П, ТКС пленок не превышает 4 -1 0 -4 гр а д '1.
Пленки смесей тугоплавких соединений титана с окисью алю
миния превосходят по стабильности пленки смесей титана
с окисью алюминия.
ЛИТЕРАТУРА
1. M o o ij J . Н. — Phys. status solidi (а), 1973, vol. 17, р. 521.
2. О сипов К . А . , Б о р о в и ч Т. Л ., Г о л о в и н В. И . и др.— Изв.АН СССР. Не-
орган. материалы, 1978, vN» 1, с. 68.
3. О сипов К . А . , Б о р о в и ч Т. Л ., Г о л о в и н В. И . и др.— Электрон, техника.
Материалы, 1978, вып. 2, с. 24.
4. О сипов К . А . , Б о р о в и ч Т. Л ., М и р о ш к и н а Е. М . — Изв. АН СССР. Не-
орган. материалы, 1976, № 1, с. 43.
5. К р ы л о в Ю . И ., С е р геев а Т. С . — Порошковая металлургия, 1977, № 8,
с. 85.
6. К р ы л о в Ю . И . , Б а л а к и р Э . А . Карбндно-окнсные системы: Справочник.
М.: Металлугня, 1976. 232 с.
У Д К 621.3.С4Э.722.1
190
рых отвечают требованиям, предъявляемым к проводниковым
элементам микроэлектронных устройств.
Исходный испаряемый материал в своем составе должен со
держать, как минимум, три компонента: основу сплава — медь,
хпмиче>?кп активный металл, обладающий повышенным давлени
ем паров насыщения по сравнению с медью, и коррозионно-устой
чивый с пониженным давлением паров насыщения.
Оптимальным составом следует считать композицию:
1,5—2 мае. % Мп, 4 ,5 —5 мас.% Ni, 0 ,0 5 —0,1 мас.% T i; осталь
ное — Си [9]. Пленки напыляли при давлении в подколпачном
объеме не более 2 10 "5 мм рт. ст. Резистивно нагреваемый ис
паритель изготавливался из вольфрама. Скорость конденсации
паров при расстоянии между подложкой и испаоителем 150 мм
составляла 0,0045—0,005 мкм/с. На начальном этапе испарения
при температуре 1500 К конденсируется преимущественно Мп,
имеющий наибольшее давление паров насыщения. Его сравни
тельно высокая химическая активность обеспечивает высокую
адгезию пленки к поверхности подложки за счет хемосорбции,
величина которой значительно превосходит физическую адсорб
цию [10]. По мере испарения навески конденсат обогащается Си
и на промежуточном этапе напыления состоит преимущественно
из Си. На заключительной стадии температура испарителя до
водится до 1700—1800 К. Форсирование режима испарения при
водит к тому, что приповерхностный слой пленки обогащается
металлами с наименьшей упругостью пара и в конечном итоге
поверхность пленки формируется преимущественно из Ti.
Описанные закономерности формирования структуры и свой
ства пленок, полученных вакуумным напылением сплавов на
основе T i, подтверждаются рядом экспериментов. Основу этих
работ составляет способ расчленения процесса полного испарения
навески сплава на 6 стадий. Пленки, полученные на каждой
стадии, исследовались методами просвечивающей электронной
микроскопии и электронографии [И ], вторичной ионно-ионной
эмиссии [12]. Результаты исследований полностью подтверждают
предложенную модель процесса формирования пленки. Из этого
следует вывод: несмотря на то что в структуре пленки фактиче
ски присутствуют три слоя — адгезионный, проводящий и защит
ный, благодаря плавному изменению химического состава но
толщине конденсата в нем отсутствуют границы слоев. Следо
вательно. такая структура исключает вероятность возникнове
ния в печатных проводниках гибридных интегральных схем
(ГИС) ТЭДС. Изучение зависимости р9 от толщины показало, что
при толщине 0,5 мкм рв составляет 0 .0 5 —0.06 Ом [П. Эта вели
чина соответствует номинальному значению р3 проводящих
элементов ГИС. Исследовалось влияние температуры подложки
перед напылением на адгезионные свойства пленок, зоренную
структуру и р, конденсата [15].
Установлено, что увеличение температуры от 575 до 6/5 К
вызывает изменение адгезии пленок сплава с 400 до 900 г мм2,
191
Д мкм Рис. 2. Влияние температуры нагрева
подложки на величину микронеровно
стей поверхности пленки
1 — чистая медь; 2 — сплав меди
Ss
S 1
в
1
192
ложки, вследствие чего с пленкой отслаивается поверхностный
слой подложки (поликор, ситалл). Частично снять напряжения
возможно, применяя ступенчатый способ напыления, который
заключается в том, что в процессе напыления после наращивания
толщины пленки на каждые 1—2 мкм необходимо увеличивать
температуру подложки. Однако этот способ не технологичен
п мало эффективен при толщинах —20 мкм.
Для получения толстых слоев разработан специальный метод
напыления. Его сущность заключается в том, что распыление
металла осуществляется из двух испарителей. В первый загру
жается навеска сплава, во второй — навеска чистой меди. На
первом этапе напыления испаряется 1/2 навески сплава, что
формирует адгезионный слой, затем подложка переводится на
вторую позицию и напыляется слой меди необходимой толщины.
После этого подложка возвращается на первую позицию, где
оставшаяся часть навески испаряется полностью, в результате
чего образуется защитный слой. Кристаллографическое соответ
ствие между медью и подложкой (а подложкой в этом случае
служит слой сплава) обусловливает мелкозернистую структуру
конденсата, поверхность которого сохраняет сглаженный рельеф,
характерный для пленок толщиной 0 ,5 —0,6 мкм. Плавное изме
нение химического состава пленки по ее толщине от марганца
к меди и от меди до титана исключает вероятность возникновения
эффекта Зеебека. Когезионная прочность такой структуры со
ответствует однородной пленке.
Для сравнения традиционно применяемой технологии (рис. 1)
с предлагаемой на рис. 3 показана последовательность операций
при формировании печатных элементов ГИС. На подложку 1
напыляется пленка 2 (сплав -j- медь), наносится фоторезистив-
ная контактная маска 5, производится травление (рис. 3, б) и уда
ляется фоторезист (рис. 3, в) Геометрические размеры печатных
элементов ГИС, изготовленные описанным методом, выдерживают
ся с точностью не хуже 4 - 5 мкм, а неравномерность пленки по
толщине на подложке 58 х 60 мм не превышает + 2 мкм. Пайка
по поверхности пленки осуществляется любыми мягкими припо
ями с использованием флюсов. Усилие отрыва проводников, при
варенных к поверхности пленки, для золотой проволоки диаметром
60 мкм составляет 15—17 г, медной — 20—25 г, алюминиевой —
15—18 г [9].
ЛИТЕРАТУРА
1. Технология тонких пленок: Справочник. Пер. с англ. Под ред. М. И. Ели-
нсона. Г. Г. Смолко. М., Сов. радио, 1977. Т. 2. 682 с.
2. Основы проектирования микроэлектронной аппаратуры / Под ред.
Б. Ф. Высоцкого. М.: Сов. радио, 1077. 352 с.
3. Я м п о л ь с к и й А . М. Меднение и никелирование. Л.: Машиностроение,
1971. 60 с.
4. Туричин А . Л/. Электрические намерения нсэлектрнческнх величин.
М.; Л.: Энергия, 1966. 338 с.
У Д К 5 4 8 - 1 6 2 539.3
В Л И Я Н И Е М А Л Ы Х Д О БА ВО К
РЕД К О ЗЕМ ЕЛ ЬН Ы Х М ЕТА Л Л О В Н А Э Л ЕК Т РО Д И Ф Ф У ЗИ Ю
В ТО Н К О П Л ЕН О Ч Н Ы Х А Л Ю М И Н И ЕВЫ Х
П РО ВО Д Н И КА Х
В . М . К о л еш к о , М. Е . Дриц, Л . С. Т о р о п о ва , В . Ф . Белицкий
196
А1 в первый момент времени
ее образования, т.е. при тем
пературах, близких к темпе
ратурам плавления исходных
компонентов. Приведенные в
таблице значения, по-види
мому, несколько занижены,
поскольку при расчете ис
пользовались только пред
ставления об упругом взаи
модействии РЗМ с границами
зерен А1, что, как известно
[8], приводит к завышенным
значениям энергии взаимо
Рнс. 3. Удельное электросопротивление
действия примеси с граница- тонких пленок алюминия в зависимости
мп зерен основного материа от содержания РЗМ (Та = 293 К)
ла. Кроме того, не учитыва 1 — А1 + Sm; 2 — А1 + Ей; 3 — Ai + Gd;
лась температурная зависи 4 — Al 4- T t
мость упругих постоянных
К и G.
В отличе от рассмотренной идеализированной модели, в реаль
ных условиях при с0 ^ с0 mi„ границы зерен п другие дефекты
кристаллической структуры тонкой пленки будут заполнены
разного рода примесями. Поэтому при Со^Сошы адсорбирован
ные по границам зерен пленки А1 атомы РЗМ будут взаимодей
ствовать с захваченными в процессе получения атомами водорода
и других активных газов. В результате должно наблюдаться не
только рафинирование границ зерен пленки А1 (т. е. частичное
связывание РЗМ примесей, ограничивающих придание зерну
равновесной, округлой формы, в тугоплавкие соединения), но
и повышение поверхностной активности данных комплексов по
отношению к алюминию вследствие того, что при образовании
соединения прочность связи данного комплекса с алюминием бу
дет уменьшаться, т. е.
t ’ CB ^ .СВ
Л [РМ З] нп- A l ^ Р З М -A l .
197
трического тока высокой плотности, становится затруднительным.
При использовании тонких пленок в качестве проводников
в ИМС или полупроводниковых приборах введение РЗМ в коли
честве более 1 мас.% нецелесообразно, поскольку при таких
концентрациях наблюдается заметное увеличение их удельного
сопротивления.
ЛИТЕРАТУРА
Предисловие................................................................................................. 3
Раздел I
ДИАГРАММЫ СОСТОЯНИЯ
Кузьма Ю. Б .. Михаленко С. Я ., Чабан Я . Ф. Взаимодейст
вие Mo, W н Не с редкоземельными металлами и бором . . . 5
Орищин С. В .. Кузьма 10. Б Т е р л е ц к и й Р. М ., Данкевич Я. Г.
Взаимодействие рения с металлами триады железа и фосфором 11
Смольянинова Э. Л., Стрибун Е. К ., Тявловский В. И ., Шиман
ский Б . Я . Диаграммы состояния тройных систем Nb—Мо—Не,
Y —Mo —Re, V —Nb —R e ....................................................................... 16
Гусева И . Л ., Соколовская Е. М С е р о п е г и н Ю. Д. Физико
химическое исследование сплавов системы Nb—Sn —Ge—Zr 18
Красноярова О. А/., Грибанов А. Я ., Гузей Л. С. Построение
фазовой диаграммы системы Ni—W —R e ...................................... 23
Кузнецов В. Я ., Балдаев Л. X ., Кусаинов Т. Л ., Гузей Л . С.,
Соколовская Е. М . Построение фазовой диаграммы системы
N i - W - T i - C ............................................................................................. 23
Соколовская Е. А/., Геращенко И. Я . Изотермическое сечение
системы W —Nb—Со при 900° С ............................................................ 28
Печорский В. Я ., Бодак О. И., Гладышевский Е. И. Новые
структурные типы тугоплавких соединении............................ 30
Раздел II
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СПЛАВОВ
Плешивцев Я . Я ., Малахов Н. Я ., Семашко Н. Я . Проблемы
применения сплавов тугоплавких и редких металлов в инжекто
рах мега ваттных пучков ионов и атомов термоядерных устано
вок и реакторов......................................................................................... 37
Савицкий Е. М ., Поварова Я. Я ., Хмелькова М. Л. Анализ
термодинамической стабильности тугоплавких фаз внедрения
в вольфраме................................................................................................. 42
Савицкий Е. М., Поварова К, Я ., Хмелькова М. Л ., Карелин
Б . Л ., Дзнеладзе Д. Ж. Структура и свойства сплавов систе
мы W —Y 20 3 в области температур вязкохрупкого перехода 47
Савицкий Е . А/., Поварова Я. Я ., Макаров Я. Я ., Рабинович
Е. Я ., Ольшанский Б . Я ., Ольшанский А. Я. Гачегов Я. Я.
Влияние микролегирования на структуру и свойства вольфра
ма порошковой металлургии............................................................... 53
Митин Б . С ., Мороков В. И., Савранская Е. С ., Туманов Л. Я .,
Файфер С. Я ., Шумейко В. Я . Исследование условий уплотне
ния и свойств спеченных материалов на вольфрамовой основе
с редкоземельными окислами.............................................................. 60
199
Лихачев В. А., Патрикеев Ю. И ., Петрова Т. /’., Сербина
Л. //., Сидоров Ю. Л/., Фирсова Н. А., Шибалова Л. И. О при
роде высокопрочного состояния сплава M R 4 7 B II...................... 05
Тыл к ик а Л/. Л ., Казанская //. /Г., Несговоров В. В ., К абако
ва Л. Г. Исследование прочностных характеристик двойных и
тройных сплавов системы W - Мо—R e ................................................ 71
Вулихман Л . М., Гроссман И . Я ., Жданова Л. У/., Семенюк
В . Ф . , Тылкина М. л ., Шнырев Г . Д . Исследование метроло
гических характеристик тензорезисторов из сплавов VV и Мо
с Н е .................................................................................................................... 78
Ускова 6’. /\, Докучалова В. В . Новые износостойкие .материалы
для ответственных пар трения . . . ....................................... 82
Петров Ю. Н. , Паршутин В. В,, Андреева Л. У/., Тылки
на М. А Ж д а н о в а Л. Л. К вопросу коррозионной стойкости
снлавов систем YV—Re и Мо—Н е ....................................................... 89
Смольянинова Э. Л ., С трибун Е. К ., Тявловский В . II. Иссле
дование электросопротивления тройного сплава на основе Nb.
Мо, Re в области температур 4 ,2 —400 К ....................................... 1*4
Андреева Л. В ., Павлова Е . У/., Тираспольский В . И . Термо
электрические свойства вольфрам-ренпевых с п л а в о в ................... 96
Белков В. Л/., Исайчев В. И ., Лариков Л. II., Максимен
ко Е. А. Исследование структуры тугоплавких металлов и
сплавов на основе Мо и W при взаимодействии с L i ................. 100
Литвинова Я . //., Несговоров В. Я ., Бурханов Г. С. Влияние
марганца на свойства молибдена............................................................. 103
Лосева Я. Я ., Альтовский Е. Р ., Арсентьева И. Я ., Кантор
М . Л/., Ястребков А. А. Дислокационная структура деформи
рованных монокристаллов Мо и сплава Мо—N b ..................... Ill
Котов В . Д ., Толстикова Л. Я ., Савицкий Е . Л/., Буров Я . Я ..
Литвак Л. Я ., Кривда Я. Я. Автоэмиссионные свойства тон
ких фольг из Та н его сплава с N b ................................................ t 118
Шефтель Е. Я ., Григорович Я. А*., Усманова Г. Ш. Исследо
вание процесса распада твердых растворов в системе Nb—
Zr—N ............................................................................................................... 119
Смирнова Г. II., Курицин В. Б . . Погосов В . 3 ., Прусаков А. II.
Прогнозирование сплавов для работы на сверхвысоких частотах 130
Лазарев Э. М., Коротков II. А.. Арская Е. Я . Легирование
и жаростойкость никель-ренневых с п л а в о в ............................. 133
Петров Ю. II., Паршутин В. В ., Андреева Л . Я ., Арская
Е. II., Лазарев Э. М. Исследование коррозионного поведения
сплавов Ni —Re, легированных Мо, W и Ш ................................... 139
Савицкий Е. М., Арская Е. Я .. Верещагин Ю. И ., Л а за
рев Э. М., Комаров II. В ., Коротков Н. А. Жаростойкие ма
териалы для реакторов сернокислотного цикла получения во
дорода ................................................................................................................. 144
Дорошек С. Я ., Марьин Г. А. Особенности действия рения на
физические свойства железоникелевых с п л а в о в .......................... 147
Савицкий Е. М ., Нофис II. А.. Буров И. В ., Пирогова С. В .,
Солдатов В. М., Скуратовский II. В. Электросопротивление
твердых растворов никеля с тугоплавкими металлами . . . . 151
Астахова Г. К .. IIикитина М. В .. Поликарпова Н. Я.* Саф
ронова Л. Г. Анализ основных компонентов н примесей в спла
вах Ni с Re, легированных элементами VIA гр у п п ы .................. 153
Петров 10. II., Паршутин В. В ., Тылкина М. А . ч Казанская
II. К. Особенности высокоскоростного анодного растворения
Со и его сплавов с Мо и R e .................................................... .... 156
200
Раздел 111
МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Озолг К. К ., Е р м о л а е в Я . Ф., Р у ш к о Я . Э . у Т у л у е в с к и й В . А/.,
У м а й с к и й А. А/., Т олст ов С. 7/. Тонкопленочные резисторы
из соединении R e—W —А120 3 ................................................................. 161
Ю си п о в Н . Ю ., Т ы л к и н а А/. 4 ., Ж данова Л . Л . ' Сипикин
Ю . 77. Электрические свойства пленок сплавов на основе ди-
снлнцнда рения ........................................................................................... 164
Гот ра 3. 70., С к облен ко А . В . Исследование резистивных
свойств пленок соединений Re с Si и переходными металлами
IV —VI г р у п п .............................................................................................. 168
Л евинЕ. Л/., Б а л а б и н М. 1 0 ., К у з ь к и н А . 77., Л7ансг/ров Л . /\
Структура и гальваномагннтные свойства пленок на основе
тройных силицидов /- и (/-металлов.............................................. m
Ю сипов77. 70. Электрические свойства пленок нитридов пере
ходных металлов ........................................................................................ 178
О сипов К . А . , Борович Т .Л . . М и р о ш к и н а Е . А/., Ю сипов
77. ТО., С и п и к и н 1 0 . П . Электрофизические свойства резистив
ных тонких пленок на основе тугоплавких соединений титана 185
Сасов А . А7., П о п о в В . //., Б о чв а р Н . Р . , Л ы сова Е . В . Про
водниковый пленочный сплав с низким уровнем собственных
ш у м о в ............................................................................................................ 188
К о л е ш к о В . А7.. Д р и ц М . Торопова Л . С., Б е л и ц к и й В . Ф.
Влияние малых добавок редкоземельных металлов на электро
диффузию в тонкопленочных алюминиевых проводниках . . . 194
ИБ № 27376
Сдано в набор 22.03.83, Подписано к печати 16.06.83. Т -07691 Формат 60х90*/и
Бумага книжно-журнальная. Гарнитура обыкновенная. Печать высокая
Уел. печ. л. 13,0. Уч.-изд. л. 15,2. Уел. кр.-отт. 13,125. Тираж 1450 экэ. Тип. эак. 2677
Цена 2 р. 30 к.
Издательство «Наука». 1178С4 ГСП-7, Мгсква. В-485, Профсоюзная у л ., 90
2-я типография издательства «Наука». 121(99, Москва, Г-59, Шубинский пер., 10
201
У Д К 5 4 6 ' 6 4 ' 2 7 ' 7 7 ' 7 8 ' 7 1 9 ' 4- С 6 9.018
Взаимодействие M o, W и R e с редкоземельными металлами и бором. К у з ь
м а Ю. Б. , М и х а л е н к о С. I I ., Ч а б а н Н . Ф .— В к н .: И сследование и при
менение сплавов тугоп лавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
Методами рентгенофазового, рентгеноструктурного и м икроструктурного ан а
лизов исследованы тройные системы РЗМ — Ш о , W , R e) — В . Построены иво-
термические сечения диаграмм состояния для 21 тройной системы. Выявлено сущ е
ствование 59 тернарны х соединений, содерж ащ их РЗМ , В и Mo, W или R e. Д л я
49 боридов определена кристаллическая стр у к ту р а. В исследованны х си стем ах
обр азую тся ряды изоморфных соединений со структурам и типов Y C r B 4, Y * R e B e,
Y 3R e B 7 и — C eR eiB i. П роанализирован хар актер взаимодействия компонентов
в указанны х си стем ах.
Ил. 4. Т абл. 1. Список лит. 20 н азв.
У Д К 6 6 9 .0 1 7 .1 3 .3
Диаграммы состоян и я тройных систем Nb— Mo — R e , Yr— Mo — Re и V — Nb — R e.
С м о л ь я н и н о в а Э. А. , С т р и б у к Е. К. , Т я в л о в с к и й В. И. , Ш и
м а н ск и й Б . П .— В к н .: И сследование и применение сплавов тугоп лавких
металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Изучены диаграммы со ст а в — свойство: а, Н ц, р и Тс сплавов с и с т е м у — М о— Re»
V — N b — R e, N b — M o— R e в области твердых растворов. П оказан о, что наиболь
шими значениями Jfy , р и Т с обладаю т сплавы системы N b — M o— R e, располож ен
ные в области фазовой границы а-ф аза о-ф аза.
И л. 3. Список лит. 3 н азв.
У Д К 5 4 1 .1 2 3 .4 4 : 5 4 6 .2 8 9 '8 1 Г 8 3 Г 8 8 2
Физико-химическое исследование сплавов системы Nb— S n — G e— Z r. Г y-
c e в а И. А ., С о к о л о в с к а я E. M. , С с р о п е г и и Ю. Д .— В к н .: И ссл е
дование и применение сплавов тугоп лавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
Рентгенофазовым, локальным рентгеноспектральным, микроструктурны м мето
дами анализа исследовано взаимодействие N b, S n, Ge, Z r в четырехкомпонентной
системе в области сущ ествования a -фазы. П оказан о, что область проникновения Z r
в ct-ф азу уменьш ается по мере замещения Sn на Ge. Д л я сплавов лучевых разре
зов параметр решетки a -фазы возр астает при замещении Nb на Z r. В равновесии
с a -фазой н аходи тся твердый раствор на основе Nb. Овреяелены физико-химические
свойства сплавов (микротвердость, твердость, электросопротивление). П оказан о,
что твердый раствор на основе Nb и я-ф аэа имеют сильно отличающиеся значения
микротвердости. В пределах одного лучевого разреза замещение N b на Z r приво
дит к снижению Н у a -фазы. При переходе от N b 3Sn к N b 3Ge для сплавов лучевых
разрезов происходит увеличение значений микротвердости а-фаэы и уменьшение
величин электросопротивления сплавов.
Ил. 2. Т аб л . 3. Список лит. 7 назв.
УДК 6 6 9 .2 4 : 6 6 9 .2 7 : 6 6 9 .8 4 9
Построение фазовой диаграммы системы N i— W — R e. К р а с н о я р о-
п а О. М. , Г р и б а н о в А. В ., Г у з с й Л . С .— В к н .: И сследование и приме
нение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Методами физико-химического ан али за: рентгенофазовым и м и кроструктур
ным — изучены сплавы тройной системы N i— W — R e. П остроено изотермическое
сечение указанной системы при 1200° С. Взаимодействие в тройной системе опре
деляется взаимодействием только тех фаз, которые присутствую т в исходны х двой
ны х си стем ах.
Ил. 1. Список лит. 4 назв.
2UZ
УДК 6 6 9 .3 4 ' 2 7 '2 9 ' 7 8 4 : 536.7
Построение фазовой диаграммы системы \ i-~ \ v —Ti —С. К у з н е ц о в В. Н . в
Б а л д а е в Л. X. , К у с а н н о й Т. А. , Г у з е й Л. С. , С о к о л о в с к а я
М. В кн.. Исследование и применение сплавов тугоплавких металлов. М.:
Й лука, 1983.
\
При 1273 К рентгенографическим методом определили растворимость углерода
в сплавах М W Ti С (до 10 ат.% W и до 6 ат.% T i). Результаты сопоставлены
с расчетом, в котором использованы свойства систем N i— W , N i— Ti, N i— W __С
и N i— T i — С. Уточнена фазовая диаграмма системы N i— T i — С.
Ил. 2. Список лит. 7 назв.
УДК 5 4 8 .7 3 6 .4
Новые структурные типы тугоплавких соединении. П е ч а р с к и й В. K. j
Б о д а к О. II.. Г л а д ы ш е в с к и й Е . И .— В к н .: Исследование п применение
сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Рассмотрены родственные отношения между новыми структурными типами,
характерными для соединени й, образующихся в системах PSM — R e — Si.
Ил. 2. Табл. 2. Список лит. 14 назв.
У Д К 5 3 7 .5 3 4 4 - 6 2 1 .0 3 9
Проблемы применения сплавов тугоплавких и редких металлов в инжекторах
мега ваттных пучков ионов п атомов термоядерных^установок и реакторов. П л е
щ и в ц е н Н. В ., М а л а х о в Н. П. , С е м а ш к о Н. Н .— В кн.: Исследо
вание и применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Приводятся основные параметры пучков быстрых атомов, используемых для
нагрева плазмы в токамаках и открытых магнитных ловуш ках до 60 млн. К . а так
же в проектируемой системе инжекции с суммарно1.! мощностью пучков дейтерия
75 М Вт для испытательного реактора И Н Т О Р. Отмечаются проблемы материалов,
обусловленные катодным распылением, блистерингом. водородной хрупкостью ,
термоциклическими нагрузками, радиационными повреждениями.
Ил. 3. Список лит. 7 назв.
У Д К 669 .2 8 .0 1 7 3
Анализ термодинамической стабильности тугоплавких фаз внедрения в воль
фраме. С а в и ц к и й Е. М. , П о в а р о в а К. Б. , Х м е л ь к о в а М. А .—
В кн : Исследование и применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а,
1983.
Рассчитана свободная энергия растворения карбидов в вольфраме, что позво
лило провести сравнительную оценку термодинамической стабильности различных
карбидных фаз с учетом их взаимодействия с вольфрамовой матрицей. Расчет по
к азал . что при всех температурах наиболее стабильны карбиды H fc и ZrC. Ста
бильность карбидов ТаС и NbC выше, чем стабильность карбида WaC при низких
температурах, и ниже стабильности карбида WiC при температурах свыше 2200° С.
В отличие от тугоплавких карбидов металлов IV A и VA групп стабильность карби-
па вольфрама W*C возрастает с температурой, что подтверждается строением
вольфрамовых углов диаграмм состояния систем вольфрам— углерод— металл
(цирконий, гафний, ниобий, тантал).
Ил. 2. Табл. 1. Список лит. 8 назв.
У Д К 6 6 9 .0 1 7 :5 3 9 .5 6 .1
Структура н свойства сплавов системы W — YaOa в области температур вязко
хрупкого перехода. С а в и ц к и й Е. М. , П о в а р о в а К. Б. , Х м е л ь к о
в а М. А. , К а р е л и н Б . А ., Д з н е л а д з е Д . Ж — В кн.: Исследование и
применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
203
Проведено исследование пластической деформации и механизмов разруш ения
сплавов вольфрама с различным содержанием окиси иттрия (0 .5 — 2 ,0 м ас.% )
в интервале температур 2 0 — 500° С. У становлен о, что при низких температурах
в области r i 1 (1 8 0 — 200° С) введение дисперсных частиц Y *0 * увеличивает coiif c -
тивление разрушению при распространении хруп кой трещины и несколько л с ь и -
шает характеристики пластичности.
В облвсти высоких температур, когда реализую тся разруш ение с образованием
микропор (250— 5 0 0 °С ), введение частиц, служ ащ их центром зарож дения мнкронор,
приводит к локализации пластической деформации по микрошейкам.
11л. 3. Список лит. 15 назв.
У Д К 0 6 9 .0 1 7 .1 1 J
Влияние микролегнрования на структуру и свой ства вольфрама корси.ьодхн
металлургии. С а в и ц к и й Е . М ., П о в а р о в а К . Б ., М а к а р о в 11. В .,
Р а б и н о в и ч Б. М. , О л ь ш а н с к и й Б. И. , О л ь ш а н с к и й А. Б. ,
Г а ч е г о в В . И .— В к н .: И сследование и применение сплавов тугоп лавких ме
таллов. М .: Н а у к а , 1983.
Проведено комплексное исследование физико-химических свойств сплавов г а
основе вольфрама, изготовленных методами порошковой металлургии (II. Ы .),
легированных тугоплавкими соединениями УгСЬ, НЮ г, МеС (Me— N b, l a , H f)
и углеродом « 1 м а с.% ). Установлено, что фазовый со став сп лавов, легированны х
У,Оэ и Ш Ог, после спекания соответствует а ^ у УгОз и л и а\ у - f (У , Ш )г 0 3.
В сп л ав ах, легированных Ш С , в процессе спекания происходит разложение
исходны х карбидов гафния, образование оксидов НЮ г, перераспределение H f
между оксидами и твердым раствором на основе вольфрама. В сп л ав ах, легирован
ных МеС и С, присутствую т карбиды \УгС и карбиды МеС; в сп л авах с гафнием при-
р
сутствую т такж е оксиды НЮг. Температура начала рекристаллизации ( T J ) сплавов,
деформированных ковкой, прессованием, прокаткой, легированных оксидами и
карбидами NbC, ТаС и Ш С , на 150—200° С выше, чем у нелегированного вольфрама:
легирование сплава совместно, Ш С и С повышает Т £ вольфрама на 4 0 0 — 450° С.
Легированные сплавы склонны к старению после отж ига при 1600 и 1800° С.
.Ил. 5. Список лит. 13 назв.
У Д К 6 6 9 .0 1 7 .1 1 + 5 3 9 .5 6
Исследование условии уплотнения и свой ств спеченных материалов на воль
фрамовой j основе [ с [редкоземельными .окислами. Митин Б. С. , М о р с
кое В. И. , С а в р а н с к а я Е . С. , Т у м а н о в А. Н. , Ф а й ф е р С. И. ,
Ш у м е й к о В . Н .— В к н .: И сследование и применение сллаЕов тугоп лавких
металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Проведены исследования по изучению кинетики спекании композиционных
материя лов гива W — ШО$ (R — Y i , S m , D y ). П ок азан о , что ск ор ость уплотнения
частиц в вакуум е определяется как объемным содержанием окисноЙ присадки
в вольфраме, так и термодинамической ее устойчивостью в контакте с ним. Н а про
ц есс уплотнения смесей сущ ественное влияние оказы вает присутствие в их объеме
окислов вольфрама или его соединений.
Ил. 2. Табл. 3. Список лит. 5 назв.
У Д К 6 2 1 .3 1 7 .7
О природе высокопрочного состоян и я сплаьа М Р 47В П . Л и х а ч е в В. А. ,
П а т р и к е е в Ю. И. , П е т р о в а Т. Г. , С е р б и н а Л. Л. , С и д о р о в
Ю. М. , Ф и р с о в а Н . А. , Ш и б а л о в а, Л . И .— В к н .: И сследование и при
менение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Методом электронной микроскопии^ п оказан о изменение дислокационной
структуры на разны х стади я х холодной деформации проволоки из сп лава М Р 4 7 ,
что позволяет объяснить природу упрочнения сп л ава.
И л. 4. Список лит. 4 н азв.
У Д К 6 6 9 .0 1 1 .7 + 6 6 9 .2 7 /2 9 J
Исследование прочностных характеристик двойных и тройны х сплавов си ст е
мы W — М о— R e . Т ы л к и н а М. А. , К а з а н с к а я Н. K .,r Н е с г о в о
р о в В . В ., К а б а к о в а Л . Г . — В к н .: И сследование и применение сплавов т у го
плавких металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Разработаны сплавы двойных и тройных систем вольфрама и молибдена с ре*
нием и методы и х деформации, позволяющие получить проволоку и ленту с проч
ностью 4 0 0 — 600 кге/м м 2 в сочетании с минимальным противодействующим момен
том.
И л. 5. Т аб л . 1. Список лит. 9 н азв.
204
У Д К 6 6 9 .2 8 ' 5 . 8 4 9 : 583.653.1
Исследование метрологических характеристик тензорезисторов из сплавов W
и Мо с Re. В у л и х м а н Л . М ., Г р о с с м а н Н. Я. , Ж д а н о в а Л. Л. ,
С е м е н ю к В. Ф. , Т ы л к и н а М. А. , Ш н ы р е в Г . Д .— В кн.: Ксследо»
ьлнис и применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
В работе исследованы сплавы систем вольфрам— рений и молибден— рений
в качестве материала тензодатчиков. П оказано, что эти материалы весьма перспек
тивны для использования, так как обладают по сравнению с известными (констан-
таном и др ) высоким коэффициентом тензочувствительности ( 5 ,0 — 5 ,8 ) и обеспечи
вают большие выходные сигналы при хороших метрологических характеристиках.
Ил. 3. Табл. 1. Список лит. 3 назв.
У Д К 5 4 6 .3 — 19 : 62 0 .1
Новые износостойкие материалы для ответственных пар трения. У ско
в а С. Г ., Д о к у ч а л о в а В. В .— В к н .: Исследование и применение сплавов
тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Изложены результаты исследований с учетом масштабного фактора износо
стойкости, ударной вязкости и фрикционных характеристик сплавов рения с туго
плавкими металлами. Приведены сравнительные данные по твердому сплаву
(W C — Со), инструментальным сталям и прецизионным сплавам. Даны рекоменда
ции по их применению в качестве конструкционных материалов для узлов трения.
Ил. 1. Т абл. 1 Список лит. 12 назв.
У Д К 6 6 9 .0 1 8 .8
К вопросу коррозионной стойкости сплавов системы W — Re и Mo — Re. П е т
р о в Ю. Н. , П а р ш у т и н В. В. , А н д р е е в а Л. Н. , Т ы л к и н а М. А. ,
Ж данова Л . Л — В кн.: Исследование и применение сплавов тугоплавких
металлов. М .: Н аук а, 1983.
Изучено коррозионное поведение двойных сплавов В Р 27В П и М Р 47В П и их
компонентов (вольфрама, молибдена и рения) в кислых, нейтральных и щелочных
ср едах. П оказано, что в кислых средах наиболее коррозионно-устойчивым явля
ется сплав В Р 2 7 В П . В нейтральных и щелочных средах оба сплава одинаково
коррозионно-устойчивы Исследовано анодное растворение вольфрама, молибдена,
рения и сплавов В Р 2 7В П и М Р 47В П в нейтральных и щелочных растворах при
высоких плотностях тока ( 1 — 50 А /см 2).
Ил. 4. Табл. 2. Список лит. 8 назв.
У Д К 5 3 7 .3 1 1 .3 1 : 6 6 9 .2 8 .2 9 3 .8 4 9
Исследование электросопротивления тронного сплава на основе Nb, Мо, Не
в о б 1 астн температур 4 , 2 — 400 К. С м о л ь я н и н о в а ! Э. А ., С т р и б у к Е . К .,
Т я в л о в с и и й В . И — В кн.: Исследование и применение сплавов тугоплав
ких металлов. М.: Н аук а, 1983.
Изучена температурная зависимость электросопротивления сплава 50М о—
4 0 П с — iONb в отожженном и закаленном состояниях. П оказано, что для рт отож
женного образца наблюдается излом кривой в области температур 200 К.
Ил. 2. Список лит. 5 назв.
У Д К 620.1 : 6 6 9 .2 7
Термоэлектрические свойства вольфрам-ренневых сплавов. А п д р е е в а Н . В. ,
Павлова К. И ., Т и р а с п о л ь с к и й В. И .— В кн.: Исследование и при
менение сплавов тугоплавких металлов. М.: Н аук а, 1983.
Разработана методика для определения содержания рения в проволоке из
вольфрам-рсниепых сплавов методом ТЭДС с точностью ± 0 ,0 6 5 % Re.
Табл 1. Список лит. 6 назв.
У Д К 5 3 9 .2 1 9 .3
Игсле юпнние структуры металлов и сплавов на основе Мо н W при вааимо-
де Гит пи и с L i . Б с л к о в В. М., II с а Й ч е в В. И ., Л а р н к о в Л , Н ,, М а к-
с и м е н к о Е . А .— В кн.: Исследование и применение сплавов тугоплавких ме
таллов. М .: Н аук а, 1983.
Исследованы структурные изменения в тугоплавких металлах и сп лавах на
основе молибдена и вольфрама при взаимодействии с литием в интервале темпера
тур Установлен двойственный характер влияния лития на тонкую кристалличе
скую структуру В зависимости от состава, наличия неметаллических примесей и
плотности дислокаций возможно уменьшение или увеличение разориеитироьки
субзерен, а также протекание динамической полигонизацни и рекристаллизации.
Ил. 1. Табл. I. Список лит. Г» назв.
205
У Д К 669.017.И
Влияние марганца на свой ства молибдена. Л и т в и н о в а И. И. , И е с г о-
в о р о в В. В. , Б у р х а н о в Г . С .— В кн .: И сследование и применение сплавов
тугоплавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
И сследовано влияние микродобавок м арганца на свойства молибдена, получен
ного методом порошковой металлургии. Установлено, что легирование марганцем
в количестве около 0 ,2 м ас.% повышает пластические характеристики отожж енной
молибденовой проволоки микронных сечений. Обнаруженное увеличение пластич
ности молибдена в присутствии марганца объясн яется снижением содерж ания при
месей внедрения и благоприятным изменением морфологии выделений.
Ил. 5. Список лит. 12 н азв.
У Д К 6 6 9 .2 8
Дислокационная структура деформированных монокристаллов Мо и сплава
Мо — Nb. А г е е в а Е. Н. , А л ь т о в с к и й Е. Р. , А р с е н т ь е в а И. I I .,
К ан то р М. М. , Я с т р е б к о в А. А .— В к н .: И сследование и применение
сплавов тугоплавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
Изучено влияние легирования и температуры деформации на дислокационную
структуру деформированных монокристаллов Мо и сплава М о— Nb. М онокристал
лы с ориентацией L110] деформировали растяж ением при 20, 1000 и 1600° С. Д и сло
кационную структуру изучали методом дифракционной электронной микроскопии,
а такж е методом оптической микроскопии. П осле деформации при комнатной тем
пературе наблю дали длинные прямолинейные дислокации, большое количество
дислокационных петель и дислокационных клубков. П осле вы сокотемпературной
деформации наблюдали образование ячеистой субструктуры . Л егирование ниобием
затрудняет ее форлги ров анис, а такж е замедляет рост ячеек. Результаты о бсу ж д а
ю тся с точки зрения влияния легирования на подвижность дислокаций.
Ил. 5. Список лит. 9 назв.
У Д К 5 3 7 .5 3 3 .2
Автоэмисснонные свой ства тонких фольг из Та и его сплава с ниобием. К о
тов В . Д ., Т о л с т и к о в а Л. П. , С а в и ц к и й Е. М. , Б у р о в И. В. ,
Л и т в а к Л. Н. , К р и в д а В . В . — В к н .: И сследование и применение сп ла
вов тугоп лавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
В вак уум е 10” 7 мм рт. ст. изучены начальные вольт-амперные характеристики
и изменение эмиссионных токов во времени ультратонких фольг из Т а и сп лава
Т а — 20 м а с.% N b. П оказан о, что после шести часов непрерывной работы эмис
сионные токи стабилизирую тся, что связы вается с достижением динамического
равновесия между скоростями возникновения и разруш ения локальны х центров
эмиссии.
Ил. 2. Список лит. 4 н азв.
У Д К 6 6 9 .2 9 3 .2 9 6 .7 8 6
Исследование процесса распада тверды х растворов в системе Nb — Z r — N.
Ш е ф т е л ь Е . Н ., Г р и г о р о в и ч В. К. , У с м а н о в а Г . Ш .— В.» к н .:
И сследование и применение сплавов тугоп лавких металлов. М .: Н а у к а , 1983.
В работе приводятся результаты исследования методами просвечивающей
электронной микроскопии, измерения периода кристаллической решетки и удель
ного электросопротивления процесса р асп ад а закаленны х тверды х растворов в
сп л ав ах Nb — (1 -*■ 3)% Z r — N (ат.% Z r/aT .% N » 1) при тем п ер атур ах 8 0 0 —
1200° С. П оказан о, что р асп ад твердых р астворов приводит к образованию преиму
щественно д в ух типов выделений — мелкодисперсных нитридов ZrN с Г П К реш ет
кой, когерентно связанны х с матрицей, и нитридов N b2N с Г П У решеткой в виде
крупных пластин. Нитрид Nb2N оказы вается нестабильным при длительных вы
дер ж ках, р аствор яясь тем быстрее, чем выше температура старен ия. З а упрочнение
сплавов ответственен ГЦ К -н и трид Z rN . Определены размеры частиц выделяю
щ и хся фаз в зависимости от температурно-временны х условий термической обра
ботки. Установленная последовательность образования соответствую щ их нитри
дов при старении отр аж ается в немонотонном изменении п арам етра кристалличе
ской решетки и удельного электросопротивления.
Ил. 5. Т аб л . 2. Список лит. 16 назв.
У Д К 6 6 9 .0 1 8 .6
Прогнозирование сплавов для работы на сверхвы соких ч аст о тах С м и р н о
ва Г. П. , К у р и ц ы н В. Б. , П о г о с о в В . 3 . , П р у с а к о в. А. Н .—
В к н .: И сследование и применение сплавов тугоп лавк и х металлов. М .: Н ау к а,
1983.
П риводится алгоритм программы для прогнозирования сп лавов, применяемых
в устр ой ствах С В Ч , по статическим электрическим и магнитным свойствам.
Ил. 2. Список лит. 2 н азв.
206
У Д К 6 6 9 .2 4 *7 8 7
Легирование и жаростойкость никель-реиueiibixj сплавов. Л а з а р е в Э. М. ,
Коротков, Н. А. , А р с к а я Е . II. — В кн .: Исследование и применение
сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Исследованы кинетика окисления, состав и структура оксидных слоев, обра
зующихся при высокотемпературном окислении никель-рениевых сплавов, содер-
яш щ щ х до 25 м ас.% Не. П оказано, что введение в никель до 10 м ас.% Не не влияет
на скорость окисления никеля при температурах 10 0 0 — 1200° С, тогда как сплав
с 2d мас.% Не окисляется в 2 р аза медленнее, чем нелегпрованный никель. У ста
новлено, что при окислении сплавов имеет место двухсторонняя диффузия — нике
ля на поверхность окалины и кислорода в сплав. Н а всех сп. :авах окалина двух
слойна: верхний слой состоит из NiO, нижний — из смеси NiO и ReO j, что вызвано
малой диффузионной проницаемостью окиси никеля или р енгя.
Ил. 5. Список лит. 10 иазв.
У Д К 6 6 9 .0 1 8 8
Исследование коррозионного поведения сплавов Ni — R e, легированных Мо,
W и H f. П е т р о в Ю. Н. , П а р ш у т и н В . В ., А н д р е е в а Л . Н , А р-
с к а я Е . II ., Л а з а р е в Э. М .— В к н .: Исследование и применение сплавов ту
гоплавких металлов (рения, вольфрама, молибдена). М .: Н аука, 1983.
Исследовано коррозионное поведение двойного сплава никеля с рением, а
такж е влияние легирования молибденом, вольфрамом, гафнием на коррозионную
стойкость сплава в деформированном и отожженном состояниях в 48%-ном раство
ре H aSO«, в концентрированных НС1 и H N 0 3, в смеси НС1 и HNO*, а также в
20% -ны х растворах NaCl и N aO H . Построены потенциодинамические анодные по
ляризационные кривые сплавов в деформированном и отожженном состояниях.
П оказано, что легирование двойного никель-рениевого сплава тугоплавкими ме
таллами повышает его коррозионную стойкость. Максимальное положительное
влияние оказывает гафний.
Ил. 4. Табл. 2. Список лит. 6 назв.
У Д К 6 2 1 .0 3 9
Жаростойкие материалы для реакторов; сернокислотного цикла получения во
дорода. С а в и ц к и й Е М. , А р с к а я Е . II ., В е р е щ а г и н Ю. И, , Л а
з а р е в D. М. , К о м а р о в Н. В. , К о р о т к о в Н . А .— В кн .: Исследование
и применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
В среде концентрированной кипящей серной кислоты и в атмосфере SOe4*
4 SO* 4- О* 4- Н аО при температурах 600, 750, 900° С изучена коррозионная
стойкость многокомпонентных сплавов на никель-хромовой основе и стали марок
0 ,4 5 Х 1 8 Н 1 0 Т . Проанализирован состав продуктов коррозии, содержащ их в основ
ном NiO, NiS и C r2( S 0 4)3. Более полные данные о химическом составе пленок по
лучены методом оже-электронной микроскопии. Установлено, что наибольшей кор
розионной стойкостью в газовой среде в интервале температур 6 0 0 — 900° С облада
ют сплавы Х Н 45Ю и В 1 950, а в жидкой — Х Н 45Ю .
Ил. 3. Табл. 1. Список лит. 8 назв.
У Д К 538.245
Особенности действия рения на физические свойства железоникелевых спла
вов. Д о р о ш е к С. I I ., М а р ь и н Г. А .— В кн .: Исследование и применение
сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Исследовано влияние рения на д£-эф ф ект, термоупругий коэффициент, мо
дуль Юнга, коэффициент термического расширения, параметр кристаллической
решетки, удельное электросопротивление и магнитные свойства (точку Кюри, на
магниченность насыщения, магнитострикцию насыщения, магнитострикционную
восприимчивость парапроцесса и коэрцитивную силу) ГЦ К -инварны х сплавов.
П оказано, что м алая добавка рения (1 м ас.% ) заметно влияет на концентра
ционные зависимости физических свойств железоникелевыхi инварных сплавов.
Отмечено, что это больше касается упругих свойств, чем теплового расширения.
Ил. 6. Список лит. 4 назв.
У Д К 669.24:537.311
Электросопротивление твердых растворов никеля с тугоплавкими металлами.
С а в и ц к и й Е. М. , II о ф и с Н. А. , Б у р о в И. В. , П и р о г о в а С. В. ,
С о л д а т о в В . М ., С к у р а т о в с к и й И. В . — В нн.: Исследование и при
менение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Изучено влияние температуры и термической обработки на удельное электро
сопротивление сплавов никеля с рением и молибденом в области твердых раство
ров в интервале температур от 20 до 1000° С и обнаружены аномалии в температур
ной зависимости электросопротивления, связанные с нестабильностью структуры .
Ил. 2. Список лит. 5 назв.
207
У Д К 543.423
Анализ основны х компонентов и примесей в сп лавах Ni с R e, легированных
элементами VIA группы. А с т а х о в а Г. К. , Н и к и т и н а М. В. , П о л и
к а р п о в а Н . В ., С а ф р о н о в а Л . Г . — В к н .: Исследование и применение
сплавов тугоп лавк и х металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Предложены методы амперометрического и атом но-абсорбционного определе
ния рения и молибдена в сп л ав ах N i с R e, легированных W , Мо и Сг, а так ж е ме“
тод определения примесей в сп л ав ах N i— R e — W . Амперометрическое определе
ние Мо и Re основано на использовании в качестве электроактивного ти гран а фер
роцена в водноорганических ср ед ах. Атомно-абсорбционный метод определения
рения осущ ествляется с применением спектроскопического буфера (А1 Н аР 0 4),
подавляющ его межэлементные влияния компонентов сп л ав а. Спектральное опре
деление примесей в сп л ав ах основано на предварительном удалении рения путем
отгонки его в виде К е20 : и последующем анализе пробы в дуге постоянного то к а.
Ил. 1. Список лит 4 н азв.
У Д К 6 2 1 .9 .0 4 7 .7
Особенности вы сокоскоростного анодного растворения Со и его сплавов с Мо
и R e. П е т р о в Ю. Н. , П а р ш у т и н В. В. , Т ы л к и н а М. А. , К а з а н -
с к а я Н . К .— В к н .: И сследование и применение сплавов тугоп лавких метал
л ов. М .: Н а у к а , 1983.
И сследованы особенности вы сокоскоростного анодного растворения кобальта
и его сп лавов: двойного сп л ав а с 7 м ас.% R e и тройного сп лава С о — 7 ,5 м ас.%
R e — 2 ,5 м ас.% Мо в различны х у сл о ви я х. П оказан хар ак тер изменения потен-
циодинамических поляризационных кривых в зависимости от со ст ав а электроли
т а и скорости вращ ения электрода. Введение в кобальт 7 м ас.% R e затрудн яет
процесс анодного растворения сплава в электролите на основе хлористого н атрия.
Ил. 5. Список лит. 8 назв.
У Д К 6 2 1 .3 8 2 .8 : 3 1 6 .8
Тонкопленочные резисторы из соединений R e —W — AhO?. О з о л е К. К. ,
Е р м о л а е в Я. Ф. , Р у ш к о Я. Э. , Т у л у е в с к и й В. М. , У м а н-
е к п й А. М . , Т о л с т о в С. И .— В к н .: И сследование и применение сплавов т у
гоплавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
Тонкопленочные резисторы из соединений рения, вольфрама и окиси алю ми
ния получали на ситалловы х и кремниевых п ласти н ах ионно-плазменным р асп и -
лением мишени, изготовленной прессованием и спеканием порош ков. П ок азан о
влияние содерж ания окиси алюминия в мишени, удельного поверхностного соп ро
тивления резистивного сл оя и режимов термической обработки и испытаний на па
раметры тонкопленочных резисторов. Значения тем пературного коэффициента
сопротивления (Т К С ) резисторов всех марок после термообработки отрицательны.
Ил. 2. Список лит. 3 назв.
У Д К 5 3 9 .2 1 6 : 6 2 1 .3 1 6 .8 : 5 4 8 .4 .0 0 1
Электрические свой ства пленок сплавов на основе дисилнцнда рения. Ю с и -
пов Н. Ю. , Т ы л к и н а М.| А ., Ж д а н о в а Л . Л ., С и п и к и н Ю. П .—
В к н .: И сследование п применение] сплавов тугоп лавких металлов. М .: Н ау к а,
1983.
Изучены электрические свойства пленок дисилнцнда рения и сплавов на его
основе для использования в термостабильны х тонкопленочных р ези сто р ах. П ок а
зан о, что дисилицнд рения с легирующими добавками (T i, N i, Со, Си) п озволяет
получать пленочные резисторы с широким диапазоном сопротивлений — от деся т
ков ГОм до десятков Ом при толщине пленок 1 0 0 — 500 нм.
Ил. 2. Т аб л . 2. Список лит. 6 н азв.
У Д К 5 3 9 .2 1 6 : 6 2 1 .3 1 6 .8 : 5 4 8 .4 .0 0 1
Исследование резистивны х свой ств пленок соединений Re с Si п переходными
металлами IV — VI групп. Г о т р а 3 . Ю ., С к о б л е н к о А. В .— В к н .: И с
следование и применение сплавов тугоп лавких металлов. М .: Н а у к а , 1983.
И сследованы температурный коэффициент сопротивления и удельное соп ро
тивление тонких пленок на основе соединений R e с Si и переходными металлами
I V — VI групп. П редставлен экспериментально-теоретический прогноз резистив
ных свойств пленок этих соединений, составленны й по диаграммам с о с т а в — свой
ство, построенным с помощью ЭВМ .
Ил. 3. Т аб л . 1. Список лит. 6 н азв.
208
У Д К 5 3 7 .3 1 2 : 5 3 9 .2 : 5 4 6 . 7 ' 2 8 i ' 6 5 5
Структура и гальваномагнитные свойства пленок на основе тройных силнци~
До« / - и d -металлов. Л е в и н Е. М. , Б а л а б и н М. Ю. , К у з ь к и н А. П. ,
М а н с у р о в Л . Г .— В к н .: Исследование и применение сплавов тугоплавких
металлов. М .: Н а у к а , 1983.
Исследованы структура, субструктура, электросопротивление, эффект Х ол ла
и магнетосопротивление вакуум-термических конденсатов на основе тройных ин-
терметаллических соединепий церия с железом, кобальтом, никелем и кремнием.
Обнаружены закономерные изменения структурны х особенностей и хар актер а пе
реноса заряда в пленках исследованных составов при изменении типа 34-металла.
Установлена возможность использования пленок на основе соединений с никелем
в качестве резистивных элементов.
Ил. 3. Список лит. 13 назв.
У Д К 6 2 1 .3 1 6 .8 .
Электрические свойства пленок нитридов переходных металлов. Ю с и-
п о в Н . Ю.— В к н .: Исследование и применение сплавов тугоплавких метал
лов. М .: Н аук а, 1983.
Приведены методы получения и электрические свойства пленок нитридов
переходных металлов IV — VI и V I I — V III групп — T i, V , N b, Т а , Сг, Mo, W , N i,
R e, а такж е сплава W — R e. Обнаружена аномально высокая величина удельного
сопротивления нитрида хрома по сравнению с литературными источниками. Нау
чена термостойкость пленок в интервале 6 7 3 — 1073 К , а также изменение величины
электрического сопротивления и ТКС в процессе термической обработки.
Показаны вы сокая термостойкость нитридных пленок и широкий диапазон-
удельного сопротивления, позволяющий изготавливать тонкопленочные резисто
ры с номиналами от единиц Ом до сотен МОм.
И л. 2. Табл. 1. Список лит. 11 назв.
У Д К 5 3 9 .2 3 .6 6 9 .2 8
Электрофизические свойства резистивных тонких пленок на основе тугоплав
ких соединений ти тан а. О с и п о в К. А. , Б о р о в и ч Т. Л. , М и р о ш к и-
н а Е. М. , Ю с и п о в Н. Ю. , С и п и к и н Ю. П .— В к н .: Исследование г при
менение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н ау к а, 1983.
В работе рассмотрены электрофизические свойства тонких пленок металло-
диэлектрических смесей Т1 — A lfO j, T iC — А 1 ,0 * и T iB 2— А 1*0*. Содержание A lt Oi
во всех тр ех системах 50 м ас.% . Исследованы зависимости электросопротивления
■ ТК С от толщины пленок, стабильность электрических свойств при циклических
н агревах в вакууме до 600° С и влияние температуры отжига до 1000° С в вакууме
на свойства пленок. Показано, что данные материалы могут найти применение
в качестве резистивных для высокостабильных и термостойких интегральных схем.
Ил. 3. Список лит. 6 назв.
У Д К 6 2 1 .3 .0 4 9 .7 7 2 .1
Проводниковый клепочный сплав с низким уровнем собственных шумов.
С а с о в А. М., П о п о в В. И. , Б о ч в л р Н. Р. , Л ы с о в а Е . В .— В к н .:
Исследование и применение сплавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Рассм(/грено формирование пленочных печатных элементов микросхем при
использовании многослойных структур и фракционирующего сплава Б р. Ш 1цТ
5 -2 -0 ,1 . Показано преимущество применения сплава Бр. НМцТ 5-2-0,1 по сравне
нию с использованием чистых металлов.
Ил. 3. Список лит. 14 назв.
У Д К 548 162 : 5 3 9 .3
Влияние малых добавок редкоземельных металлом на элсктроднффулию в тон
копленочных алюминиевых проводниках. К о л с ш и о В . М ., Д р и ц М. Е. »
Т о р о п о в а Л. С. , Б е л и ц к и й В . Ф. В кн .: Исследование и применение
плавов тугоплавких металлов. М .: Н аук а, 1983.
Установлено, что при замедлении электродиффузии в алюминиевых тонкопле
ночных проводниках эффективными оказы ваю тся малые ( е 1 м ас.% ) добавки ред
коземельных металлов <РЗМ). П редполагается, что это связано с модифицирующим
действием РЭМ и связыванием их в комплексы с неметаллическими примесями,
в результате чего элсктродиффуэия но границам зерен тонких пленок алюминия
замедляется.
Ил. 3. Табл. 1. Список лит. 8 назв.