ÂÛÑØÅÅ ÏÐÎÔÅÑÑÈÎÍÀËÜÍÎÅ ÎÁÐÀÇÎÂÀÍÈÅ

В. И. ТОМИЛИН

ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ
ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ
УЧЕБНИК

Рекомендовано
Учебнометодическим объединением вузов Российской Федерации
по образованию в области радиотехники, электроники,
биомедицинской техники и автоматизации
в качестве учебника для студентов высших учебных заведений,
обучающихся по специальностям «Проектирование и технология
радиоэлектронных средств» и «Проектирование и технология
электронновычислительных средств» направления
«Проектирование и технология электронных средств»

1
ÓÄÊ 541.1(075.8)
ÁÁÊ 24.5ÿ73
Ò56

Ð å ö å í ç å í ò û:
çàâ. ëàáîðàòîðèåé ÝÄ è ÑÂ× ýëåêòðîíèêè ÈÔ ÑÎ ÐÀÍ, ä-ð òåõí. íàóê, ïðîô.
Á. À. Áåëÿåâ;
êàíä. òåõí. íàóê, äîö. êàôåäðû «Ìèêðîðàäèîýëåêòðîíèêà è òåõíîëîãèÿ
ðàäèîàïïàðàòóðû» Ñàíêò-Ïåòåðáóðãñêîãî ãîñóäàðñòâåííîãî
ýëåêòðîòåõíè÷åñêîãî óíèâåðñèòåòà «ËÝÒÈ» Ã. Ô. Áàêàíîâ

Òîìèëèí Â. È.
Ò56 Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå îñíîâû òåõíîëîãèè ýëåêòðîííûõ
ñðåäñòâ : ó÷åáíèê äëÿ ñòóä. âûñø. ó÷åá. çàâåäåíèé / Â.È. Òî-
ìèëèí. — Ì. : Èçäàòåëüñêèé öåíòð «Àêàäåìèÿ», 2010. — 416 ñ.
ISBN 978-5-7695-4712-6
Èçëîæåíû ñîâðåìåííûå ïðåäñòàâëåíèÿ î ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ îñíîâàõ
òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ ýëåêòðîíèêè, îñîáåííîñòè òåðìîäèíàìèêè
õèìè÷åñêèõ è ôàçîâûõ ðàâíîâåñèé, êèíåòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ïðîöåñ-
ñîâ. Ðàññìîòðåíû ïðîöåññû çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ, ðîñòà ñëîåâ íîâîé ôàçû,
ìåòîäû ïðîâåäåíèÿ òåðìîäèíàìè÷åñêîãî àíàëèçà.
Äëÿ ñòóäåíòîâ âûñøèõ ó÷åáíûõ çàâåäåíèé.

ÓÄÊ 541.1(075.8)
ÁÁÊ 24.5ÿ73

Îðèãèíàë-ìàêåò äàííîãî èçäàíèÿ ÿâëÿåòñÿ ñîáñòâåííîñòüþ Èçäàòåëüñêîãî öåíòðà

«Àêàäåìèÿ», è åãî âîñïðîèçâåäåíèå ëþáûì ñïîñîáîì áåç ñîãëàñèÿ
ïðàâîîáëàäàòåëÿ çàïðåùàåòñÿ

© Òîìèëèí Â.È., 2010

© Îáðàçîâàòåëüíî-èçäàòåëüñêèé öåíòð «Àêàäåìèÿ», 2010
ISBN 978-5-7695-4712-6 © Îôîðìëåíèå. Èçäàòåëüñêèé öåíòð «Àêàäåìèÿ», 2010

2
 ОГЛАВЛЕНИЕ

Ïðåäèñëîâèå ................................................................................................. 3

Ãëàâà 1
Õàðàêòåðèñòèêà ôàçîâîãî ñîñòîÿíèÿ è ñòðóêòóðû ìàòåðèàëîâ. Ýëåìåíòû
êðèñòàëëîãðàôèè

1.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è îïðåäåëåíèÿ ...................................................... 7

1.2. Êðèñòàëëè÷åñêàÿ ðåøåòêà è ñòðóêòóðà èäåàëüíûõ êðèñòàëëîâ ......... 9
1.3. Çàêîí ðàöèîíàëüíûõ îòíîøåíèé. Ìåòîä êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîãî
èíäèöèðîâàíèÿ .................................................................................... 13
1.4. Ñèììåòðèÿ òâåðäûõ òåë ........................................................................ 16
1.5. Ïðèíöèï Êþðè. Êâàçèêðèñòàëëû ........................................................ 18
1.6. Êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèå ïðîåêöèè ....................................................... 22
1.7. Ïðèìåíåíèå òåíçîðíîãî àíàëèçà ê îïèñàíèþ ôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ
êðèñòàëëîâ ............................................................................................ 24
1.8. Îñíîâíûå òèïû êðèñòàëëè÷åñêèõ ñòðóêòóð ........................................ 27
1.9. Äåôåêòû ñòðóêòóðû ðåàëüíûõ êðèñòàëëîâ .......................................... 33

Ãëàâà 2
Ýëåìåíòû êðèñòàëëîõèìèè

2.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è îïðåäåëåíèÿ ..................................................... 43

2.2. Ìîëåêóëÿðíûå êðèñòàëëû .................................................................... 45
2.3. Ìåòàëëè÷åñêèå êðèñòàëëû ................................................................... 47
2.4. Êîâàëåíòíûå êðèñòàëëû ....................................................................... 49
2.5. Èîííûå êðèñòàëëû ............................................................................... 50

Ãëàâà 3
Òåðìîäèíàìè÷åñêèé ìåòîä îïèñàíèÿ ñâîéñòâ ìàòåðèàëîâ è ïðîöåññîâ
èõ ïîëó÷åíèÿ

3.1. Ïðåäìåò è çàäà÷è òåðìîäèíàìèêè. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è

îïðåäåëåíèÿ .......................................................................................... 54
3.2. Ýíåðãåòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè òåðìîäèíàìè÷åñêèõ ñèñòåì .......... 59
3.2.1. Âíóòðåííÿÿ ýíåðãèÿ ............................................................... 59
3.2.2. Ôîðìû ïåðåäà÷è ýíåðãèè. Ïåðâîå íà÷àëî
òåðìîäèíàìèêè ...................................................................... 60
3.2.3. Òåïëîâûå ýôôåêòû. Ýíòàëüïèÿ. Òåïëîâîé ýôôåêò
õèìè÷åñêîé ðåàêöèè .............................................................. 63

406
 3.2.4. Çàêîí ñîõðàíåíèÿ ìàññû ........................................................ 66
3.2.5. Óðàâíåíèå Ãèááñà ................................................................... 68
3.2.6. Òåïëîåìêîñòü ........................................................................... 68
3.3. Òåðìîäèíàìè÷åñêèå ïðîöåññû ............................................................ 75
3.3.1. Îáùàÿ õàðàêòåðèñòèêà òåðìîäèíàìè÷åñêèõ ïðîöåññîâ ...... 75
3.3.2. Íàïðàâëåíèå ïðîòåêàíèÿ ïðîöåññîâ. Ýíòðîïèÿ .................. 79
3.3.3. Âòîðîå íà÷àëî òåðìîäèíàìèêè .............................................. 84
3.3.4. Ýíòðîïèÿ îáðàòèìûõ è íåîáðàòèìûõ ïðîöåññîâ ................. 89
3.3.5. Óñëîâèå òåïëîâîãî ðàâíîâåñèÿ çàêðûòûõ ñèñòåì ................ 92
3.3.6. Âîçðàñòàíèå ýíòðîïèè, îáóñëîâëåííîå ïðîöåññàìè
ìàññîïåðåíîñà ........................................................................ 93
3.3.7. Âîçðàñòàíèå ýíòðîïèè, îáóñëîâëåííîå õèìè÷åñêèìè
ðåàêöèÿìè ............................................................................... 95
3.3.8. Îáúåäèíåííàÿ ôîðìà ïåðâîãî è âòîðîãî íà÷àë
òåðìîäèíàìèêè ....................................................................... 97
3.4. Òåðìîäèíàìè÷åñêèå ïîòåíöèàëû ........................................................ 98
3.4.1. Õàðàêòåðèñòè÷åñêèå ôóíêöèè ............................................... 98
3.4.2. Óñëîâèÿ ñàìîïðîèçâîëüíîñòè ïðîöåññîâ
â îòêðûòûõ ñèñòåìàõ ............................................................ 103
3.4.3. Õèìè÷åñêèé ïîòåíöèàë ........................................................ 105
3.4.4. Ïàðöèàëüíûå ìîëÿðíûå âåëè÷èíû. Óðàâíåíèå Ãèááñà—
Äþãåìà .................................................................................. 106

Ãëàâà 4
Õèìè÷åñêèå ðàâíîâåñèÿ. Ìåòîäû óïðàâëåíèÿ õèìè÷åñêèìè
ïðåâðàùåíèÿìè

4.1. Îáùèå óñëîâèÿ ðàâíîâåñèÿ è íàïðàâëåíèÿ ïðîòåêàíèÿ

ïðîöåññîâ ............................................................................................ 110
4.2. Õèìè÷åñêîå ðàâíîâåñèå ..................................................................... 113
4.3. Çàêîí äåéñòâóþùèõ ìàññ. Êîíñòàíòà õèìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ ..... 114
4.4. Óðàâíåíèÿ èçîòåðìû õèìè÷åñêîé ðåàêöèè ..................................... 119
4.5. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü êîíñòàíòû õèìè÷åñêîãî
ðàâíîâåñèÿ .......................................................................................... 122
4.6. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü òåïëîâîãî ýôôåêòà.
Çàêîí Êèðõãîôà ................................................................................. 125
4.7. Òðåòüå íà÷àëî òåðìîäèíàìèêè. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü
ýíòðîïèè õèìè÷åñêîé ðåàêöèè ........................................................ 129
4.8. Ðàñ÷åò èçîòåðìû õèìè÷åñêîé ðåàêöèè. Ìåòîä Òåìêèíà —
Øâàðöìàíà ......................................................................................... 132

Ãëàâà 5
Òåðìîäèíàìèêà ðàñòâîðîâ

5.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è îïðåäåëåíèÿ ................................................... 135

5.2. Òåðìîäèíàìè÷åñêèå ôóíêöèè èäåàëüíîãî ãàçà ............................... 137
5.3. Ëåòó÷åñòü è àêòèâíîñòü ...................................................................... 141

407
5.4. Êëàññèôèêàöèÿ ðàñòâîðîâ ................................................................. 142
5.5. Äàâëåíèå íàñûùåííîãî ïàðà ÷èñòîãî âåùåñòâà .............................. 147
5.6. Äàâëåíèå íàñûùåííîãî ïàðà íàä ðàñòâîðàìè.
Çàêîíû Ðàóëÿ è Ãåíðè ....................................................................... 149
5.7. Äàâëåíèå íàñûùåííîãî ïàðà íàä ðàñòâîðîì ëåòó÷èõ êîìïî-
íåíòîâ. Çàêîíû Êîíîâàëîâà .............................................................. 153
5.8. Ïåðåãîíêà ëåòó÷èõ æèäêèõ ñìåñåé. Ðåêòèôèêàöèÿ .......................... 158

Ãëàâà 6
Ôàçîâûå ðàâíîâåñèÿ

6.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è îïðåäåëåíèÿ ................................................... 164

6.2. Îáùèå óñëîâèÿ ôàçîâîãî ðàâíîâåñèÿ ............................................... 166
6.3. Ïðàâèëî ôàç Ãèááñà ........................................................................... 169
6.4. Ôàçîâûå äèàãðàììû ........................................................................... 171
6.5. Óñëîâèÿ ôàçîâîãî ðàâíîâåñèÿ â îäíîêîìïîíåíòíûõ ñèñòåìàõ.
Óðàâíåíèå Êëàóçèóñà — Êëàïåéðîíà ................................................ 172
6.6. Ôàçîâûå ïåðåõîäû ïåðâîãî è âòîðîãî ðîäà ..................................... 177
6.7. Ôàçîâûå ðàâíîâåñèÿ â äâóõêîìïîíåíòíûõ ñèñòåìàõ ...................... 182
6.7.1. Îáùèå óñëîâèÿ ðàâíîâåñèÿ áèíàðíûõ ñèñòåì.
Êîýôôèöèåíò ðàñïðåäåëåíèÿ ............................................. 182
6.7.2. Äèàãðàììû ïëàâêîñòè ñèñòåì ñ íåîãðàíè÷åííîé
âçàèìíîé ðàñòâîðèìîñòüþ êîìïîíåíòîâ â òâåðäîì
ñîñòîÿíèè .............................................................................. 186
6.7.3. Ñèñòåìû ñ ïðîñòîé ýâòåêòèêîé .......................................... 191
6.7.4. Ñèñòåìû ñ îãðàíè÷åííîé âçàèìíîé ðàñòâîðèìîñòüþ
êîìïîíåíòîâ â òâåðäîì ñîñòîÿíèè .................................... 193
6.7.5. Äèàãðàììû ñîñòîÿíèÿ áèíàðíûõ ñèñòåì ñ õèìè÷åñêèìè
ñîåäèíåíèÿìè ....................................................................... 197
6.8. Òåðìîäèíàìèêà ôàçîâûõ ðàâíîâåñèé áèíàðíûõ ñèñòåì ................. 205
6.9. Îñîáåííîñòè ôàçîâûõ äèàãðàìì ìíîãîêîìïîíåíòíûõ ñèñòåì ....... 211

Ãëàâà 7
Ïðèíöèïû êèíåòè÷åñêîãî îïèñàíèÿ è àíàëèçà
òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ

7.1. Íåêîòîðûå ïîëîæåíèÿ òåðìîäèíàìèêè íåîáðàòèìûõ

ïðîöåññîâ ............................................................................................ 217
7.1.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ .................................................................... 217
7.1.2. Òåîðèÿ Îíçàãåðà ................................................................... 219
7.1.3. Ôëóêòóàöèè. Óñòîé÷èâîñòü çàìêíóòûõ ñèñòåì .................... 221
7.1.4. Ïðèíöèï ëîêàëüíîãî ðàâíîâåñèÿ ........................................ 225
7.1.5. Ñòàöèîíàðíûå ñîñòîÿíèÿ. Òåîðåìà Ïðèãîæèíà
î ìèíèìóìå ïðîèçâîäñòâà ýíòðîïèè ................................. 227
7.2. Êèíåòèêà õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé ......................................................... 230
7.2.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ õèìè÷åñêîé êèíåòèêè ......................... 230
7.2.2. Ñêîðîñòü õèìè÷åñêîé ðåàêöèè ............................................ 232

408
 7.2.3. Êèíåòè÷åñêîå óðàâíåíèå õèìè÷åñêîãî ïðîöåññà
è ïîðÿäîê ðåàêöèè ............................................................... 235
7.2.4. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü ñêîðîñòè õèìè÷åñêîé
ðåàêöèè. Ýíåðãèÿ àêòèâàöèè è óðàâíåíèå Àððåíèóñà ...... 237
7.2.5. Òåîðèÿ ïåðåõîäíîãî ñîñòîÿíèÿ ........................................... 241
7.3. Êèíåòèêà è ìåõàíèçìû äèôôóçèîííûõ ïðîöåññîâ ......................... 243
7.3.1. Òåðìîäèíàìè÷åñêèé ïîäõîä ê àíàëèçó äèôôóçèîííûõ
ïðîöåññîâ. Çàêîíû Ôèêà ...................................................... 243
7.3.2. Ìåõàíèçìû äèôôóçèè .......................................................... 246
7.3.3. Íåêîòîðûå ÷àñòíûå ñëó÷àè ðåøåíèÿ âòîðîãî óðàâíåíèÿ
äèôôóçèè .............................................................................. 253
7.3.4. Äâóõñòàäèéíàÿ äèôôóçèÿ ..................................................... 258
7.4. Îñíîâíûå êèíåòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ïðîöåññîâ.
Ïîãðàíè÷íûå ñëîè ............................................................................. 261
7.5. Îñíîâíûå ïîëîæåíèÿ êèíåòèêè ãåòåðîãåííûõ ïðîöåññîâ ............. 265
7.6. Ìåõàíèçì è êèíåòèêà ïðîöåññîâ îêèñëåíèÿ ................................... 271
7.6.1. Ìåõàíèçì è êèíåòèêà òåðìè÷åñêîãî îêèñëåíèÿ ............... 271
7.6.2. Ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ îêñèäíûõ ïëåíîê ................................. 277
7.7. Ìåõàíèçì è êèíåòèêà ïðîöåññîâ èñïàðåíèÿ ................................... 281

Ãëàâà 8
Ïîâåðõíîñòíûå ÿâëåíèÿ. Àäñîðáöèÿ

8.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ î ïîâåðõíîñòè ........................................................ 290

8.2. Àòîìíàÿ ñòðóêòóðà ïîâåðõíîñòè. Ìåæôàçíàÿ ýíåðãèÿ .................... 293
8.3. Àäñîðáöèÿ íà ïîâåðõíîñòè òâåðäûõ òåë ........................................... 298
8.4. Òåðìîäèíàìèêà è êèíåòèêà àäñîðáöèîííûõ ïðîöåññîâ.
Èçîòåðìû àäñîðáöèè ......................................................................... 304

Ãëàâà 9
Òåðìîäèíàìèêà è êèíåòèêà ïðîöåññîâ çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ
è ôîðìèðîâàíèÿ íîâîé ôàçû

9.1. Äâèæóùèå ñèëû ïðîöåññîâ çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ ......................... 310

9.2. Òåðìîäèíàìè÷åñêàÿ ìîäåëü çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ ........................ 313
9.2.1. Òåðìîäèíàìè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ïðîöåññà
çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ .......................................................... 313
9.2.2. Ãîìîãåííîå çàðîäûøåîáðàçîâàíèå ..................................... 316
9.2.3. Ãåòåðîãåííîå çàðîäûøåîáðàçîâàíèå ................................... 321
9.2.4. Êèíåòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ïðîöåññà
çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ .......................................................... 325
9.3. Êèíåòè÷åñêàÿ ìîäåëü çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ .................................. 328
9.4. Îñíîâíûå ñòàäèè ïðîöåññà ôîðìèðîâàíèÿ ñëîåâ íîâîé ôàçû ...... 330

Ãëàâà 10
Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå îñíîâû ýïèòàêñèàëüíûõ ïðîöåññîâ
10.1. Îñíîâíûå ïîíÿòèÿ è îïðåäåëåíèÿ .................................................. 339

409
10.2. Òåðìîäèíàìèêà è êèíåòèêà îðèåíòèðîâàííîãî
çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ ....................................................................... 341
10.3. Ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð ................................ 346

Ãëàâà 11
Ïðèíöèïû òåðìîäèíàìè÷åñêîãî àíàëèçà òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ

11.1. Ïðîñòûå è ñëîæíûå ïðîöåññû ........................................................ 356

11.2. Òåðìîäèíàìè÷åñêèé àíàëèç ïðîñòûõ ïðîöåññîâ ........................... 358
11.3. Òåðìîäèíàìè÷åñêèé àíàëèç ñëîæíûõ ïðîöåññîâ .......................... 361
11.3.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ .................................................................. 361
11.3.2. Òåðìîäèíàìè÷åñêèé àíàëèç ãîìîãåííûõ ïðîöåññîâ ....... 361
11.3.3. Òåðìîäèíàìè÷åñêèé àíàëèç ãåòåðîãåííûõ ïðîöåññîâ .... 366

Ãëàâà 12
Òåðìîäèíàìèêà è êèíåòèêà ïðîöåññîâ õèìè÷åñêîãî
îñàæäåíèÿ èç ãàçîâîé ôàçû

12.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ ................................................................................ 372

12.2. Ðåàêöèè ðàçëîæåíèÿ ......................................................................... 374
12.3. Ðåàêöèè âîññòàíîâëåíèÿ .................................................................. 384
12.4. Ãàçîòðàíñïîðòíûå õèìè÷åñêèå ðåàêöèè ........................................ 388
12.5. Òåðìîäèíàìèêà è êèíåòèêà ïðîöåññîâ õèìè÷åñêîãî
òðàíñïîðòà .......................................................................................... 394
Çàêëþ÷åíèå ................................................................................................ 403
Ñïèñîê ëèòåðàòóðû ................................................................................... 404

410
 ПРЕДИСЛОВИЕ

Ñîâðåìåííûå òåõíîëîãèè ñîçäàíèÿ ýëåêòðîííûõ ñðåäñòâ, â êî-

òîðûõ èñïîëüçóåòñÿ îãðîìíîå êîëè÷åñòâî ìàòåðèàëîâ, ÿâëÿþòñÿ
íàèáîëåå äèíàìè÷íîé ÷àñòüþ ýëåêòðîíèêè â öåëîì. Ïðè ýòîì
ïîñòîÿííî âîçðàñòàþò òðåáîâàíèÿ ê ñòðóêòóðíîìó ñîâåðøåíñòâó
èñïîëüçóåìûõ ìàòåðèàëîâ, èõ ÷èñòîòå è òåõíîëîãèÿì ïðîèçâîä-
ñòâà.
Òåõíîëîãèÿ ïðîèçâîäñòâà ýëåêòðîííûõ ñðåäñòâ (ÝÑ) âêëþ÷àåò
â ñåáÿ îãðîìíîå ÷èñëî òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé, ÷àñòî ñîïðî-
âîæäàåìûõ ïîÿâëåíèåì íåæåëàòåëüíûõ ïîáî÷íûõ ýôôåêòîâ. Ñëå-
äîâàòåëüíî, ïðè ðàçðàáîòêå, àíàëèçå è âíåäðåíèè ïåðñïåêòèâíûõ
òåõíîëîãèé íåîáõîäèìî ïðîâåäåíèå êîìïëåêñà ôèçèêî-õèìè÷å-
ñêèõ è ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé, îáåñïå÷èâàþùèõ
ïîëó÷åíèå æåëàåìûõ ðåçóëüòàòîâ.
Ìíîãîîáðàçèå ïîñëåäíèõ äîñòèæåíèé ôèçèêè òâåðäîãî òåëà,
ìàòåðèàëîâåäåíèÿ, îðãàíè÷åñêîé è ýëåìåíòîîðãàíè÷åñêîé õèìèè,
îòêðûòèå íîâûõ ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, ðàçðàáîòêà è ñîçäàíèå
ïðèíöèïèàëüíî íîâûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèåìîâ è ìåòîäîâ íå
ïîçâîëÿåò äåòàëüíî èçó÷èòü êîíñòðóêòèâíûå è òåõíîëîãè÷åñêèå
îñîáåííîñòè òîãî èëè èíîãî êîíêðåòíîãî èçäåëèÿ ýëåêòðîíèêè.
Ëþáûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû îñíîâûâàþòñÿ íà èçâåñòíûõ
ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ, òåðìîäèíàìè÷åñêèõ èëè ýëåêòðîõèìè÷åñêèõ
çàêîíîìåðíîñòÿõ. Ýòî ïîçâîëÿåò óïðàâëÿòü ñòðóêòóðíûìè, ýëåêò-
ðè÷åñêèìè, ìåõàíè÷åñêèìè, õèìè÷åñêèìè è ðÿäîì äðóãèõ (íå ìå-
íåå âàæíûõ) ñâîéñòâ ìàòåðèàëîâ, à òàêæå âûäåëèòü è îïðåäåëèòü
îáùèå ôèçè÷åñêèå çàêîíîìåðíîñòè, óïðàâëÿþùèå èõ ñâîéñòâàìè
èëè ñâîéñòâàìè èñïîëüçóåìûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ. Òàêîé
ïîäõîä ê èçó÷åíèþ ýëåêòðîííîé òåõíîëîãèè, óäà÷íî ïðèìåíåí-
íûé àâòîðîì êíèãè [1], èñïîëüçîâàí è ïðè íàïèñàíèè äàííîãî
ó÷åáíèêà.
Ê íàñòîÿùåìó âðåìåíè èçäàíî áîëüøîå ÷èñëî ðàáîò ïî ïðà-
êòè÷åñêîìó ïðèìåíåíèþ ïîëîæåíèé êëàññè÷åñêîé òåðìîäèíà-
ìèêè è òåðìîäèíàìèêè íåîáðàòèìûõ ëèíåéíûõ ïðîöåññîâ â òåõ-
íîëîãèè ñîçäàíèÿ ìàòåðèàëîâ ÝÑ è ìàòåðèàëîâåäåíèè. Ñîâåð-
øåííî î÷åâèäíî, ÷òî ñïåöèàëèñòû, ðàáîòàþùèå â ýòîé îáëàñ-
òè, äîëæíû õîðîøî ïðåäñòàâëÿòü, êàêèå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå çà-
êîíîìåðíîñòè ÿâëÿþòñÿ îñíîâîé òåõ èëè èíûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
îïåðàöèé, è óìåòü ïðîãíîçèðîâàòü èõ ïðîòåêàíèå, à òàêæå óìåòü
îñóùåñòâëÿòü îïòèìàëüíûé âûáîð ìàòåðèàëîâ ñ ó÷åòîì âçàèìî-
ñâÿçè ìåæäó èõ ñîñòàâîì, ñòðóêòóðîé è ñâîéñòâàìè, âûïîëíÿòü

3
òåðìîäèíàìè÷åñêèå è êèíåòè÷åñêèå ðàñ÷åòû îñíîâíûõ òåõíîëî-
ãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ ïîëó÷åíèÿ ìàòåðèàëîâ è èçäåëèé ýëåêòðîí-
íîé òåõíèêè.
Îäíàêî îïóáëèêîâàííûå îòå÷åñòâåííûå è çàðóáåæíûå ìîíî-
ãðàôèè ïðåäíàçíà÷åíû äëÿ ñïåöèàëèñòîâ, èìåþò îãðàíè÷åííûé
òèðàæ è íå ìîãóò áûòü ðåêîìåíäîâàíû ñòóäåíòàì â êà÷åñòâå îñ-
íîâíîé ó÷åáíîé ëèòåðàòóðû, à ñóùåñòâóþùèå ó÷åáíèêè è ó÷åá-
íûå ïîñîáèÿ ïðàêòè÷åñêè íå îñâåùàþò ýòè âîïðîñû.
Äàííûé ó÷åáíèê ÿâëÿåòñÿ ïîïûòêîé àâòîðà çàêðûòü óêàçàííûé
ïðîáåë ïîñðåäñòâîì ïîñëåäîâàòåëüíîãî èçëîæåíèÿ ôèçèêî-õèìè-
÷åñêèõ îñíîâ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ ïðîèçâîäñòâà ýëåêòðî-
íèêè â ôîðìå, óäîáíîé äëÿ èçó÷åíèÿ ñòóäåíòàìè. Ïîñêîëüêó â
íàñòîÿùåì ó÷åáíèêå ðàññìàòðèâàåòñÿ òåõíîëîãèÿ ñîçäàíèÿ ìèê-
ðî- è íàíîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ è ïðîèñõîäÿùèõ ïðè ýòîì ïðî-
öåññîâ ñ ïîçèöèé òåðìîäèíàìèêè, â íåãî íå âêëþ÷åíû âîïðîñû
âûñîêîýíåðãåòè÷åñêîãî âîçäåéñòâèÿ íà ìàòåðèàëû, êîòîðûå ïî-
äðîáíî îñâåùàþòñÿ â ñïåöèàëüíûõ êóðñàõ è ìíîãî÷èñëåííûõ èç-
äàíèÿõ.
Ãëàâû 1 è 2 ó÷åáíèêà ïîñâÿùåíû èçëîæåíèþ íàèáîëåå âàæíûõ
ïîëîæåíèé ãåîìåòðè÷åñêîé êðèñòàëëîãðàôèè è êðèñòàëëîõèìèè,
àíàëèòè÷åñêèì ìåòîäàì îïèñàíèÿ êðèñòàëëè÷åñêèõ ñòðóêòóð, àíà-
ëèçó âçàèìîñâÿçè èõ âíóòðåííåãî ñòðîåíèÿ è ñèììåòðèè òâåðäûõ
òåë ñ ôèçèêî-õèìè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè.
 ãëàâå 3 íà îñíîâå ñòàòèñòè÷åñêîãî ïîäõîäà äåòàëüíî ðàññìîò-
ðåíû ôóíäàìåíòàëüíûå âîïðîñû êëàññè÷åñêîé òåðìîäèíàìèêè,
÷òî íåîáõîäèìî äëÿ ïîíèìàíèÿ îáùèõ ôèçè÷åñêèõ çàêîíîìåðíî-
ñòåé, óïðàâëÿþùèõ ñâîéñòâàìè ìàòåðèàëîâ è ïðèìåíÿåìûõ ïðè
ïðîèçâîäñòâå ÝÑ òåõíîëîãèé. Ïîäðîáíîå èçëîæåíèå ýòèõ âîïðî-
ñîâ îáúÿñíÿåòñÿ îòñóòñòâèåì â Ãîñóäàðñòâåííîì îáðàçîâàòåëüíîì
ñòàíäàðòå äëÿ äàííîé ñïåöèàëüíîñòè êóðñà «Ôèçè÷åñêàÿ õèìèÿ»,
ÿâëÿþùåãîñÿ áàçîâûì ïðè ðåøåíèè ìíîãèõ ïðàêòè÷åñêèõ çàäà÷, ñâÿ-
çàííûõ ñ öåëåíàïðàâëåííûì óïðàâëåíèåì ñâîéñòâàìè ìàòåðèàëîâ è
ðàçðàáîòêîé ïðîãðåññèâíûõ òåõíîëîãèé ñîçäàíèÿ ÝÑ, ÷òî, ïî ìíå-
íèþ àâòîðà, çàòðóäíÿåò èçó÷åíèå ìíîãèõ ñïåöèàëüíûõ êóðñîâ.
Ãëàâà 4 ïîñâÿùåíà èçëîæåíèþ îñíîâíûõ òåðìîäèíàìè÷åñêèõ
çàêîíîìåðíîñòåé, óïðàâëÿþùèõ íàïðàâëåíèåì ïðîòåêàíèÿ õèìè-
÷åñêèõ ðåàêöèé, à òàêæå èçó÷åíèþ óñëîâèé õèìè÷åñêîãî ðàâíîâå-
ñèÿ è ïðàêòè÷åñêîãî èñïîëüçîâàíèÿ èìåþùèõñÿ òåîðåòè÷åñêèõ
çàêîíîâ äëÿ óïðàâëåíèÿ õèìè÷åñêèìè ïðåâðàùåíèÿìè âåùåñòâ.
 ãëàâå 5 ðàññìîòðåíû òåðìîäèíàìè÷åñêèå îñíîâû òåîðèè ðà-
ñòâîðîâ, áàçîâûå ïîëîæåíèÿ êîòîðîé èñïîëüçóþòñÿ ïðè ðàçðà-
áîòêå òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ ïîëó÷åíèÿ òâåðäûõ ðàñòâîðîâ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ, à òàêæå ìåòîäîâ èõ ëåãèðîâàíèÿ
è î÷èñòêè.
 ãëàâå 6, ÿâëÿþùåéñÿ êëàññè÷åñêîé äëÿ ìàòåðèàëîâåäåíèÿ,
îñâåùàþòñÿ òåðìîäèíàìè÷åñêèå àñïåêòû ôàçîâûõ ðàâíîâåñèé. Èñ-

4
ïîëüçîâàíèå òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ïîäõîäà ê àíàëèçó ìíîãîêîì-
ïîíåíòíûõ ñèñòåì è ãåòåðîãåííûõ ðàâíîâåñèé ïîçâîëÿåò âûÿâëÿòü
õàðàêòåð è îñîáåííîñòè âçàèìîäåéñòâèÿ êîìïîíåíòîâ, ðàçðàáà-
òûâàòü ýôôåêòèâíûå ìåòîäû ñèíòåçà íîâûõ ìàòåðèàëîâ è óïðàâ-
ëåíèÿ èõ ñâîéñòâàìè.
 ãëàâå 7 èçëîæåíû îñíîâû êèíåòè÷åñêîãî è ôèçèêî-ñòàòèñòè-
÷åñêîãî àíàëèçà òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ. Îñîáîå âíèìàíèå óäå-
ëåíî òåðìîäèíàìèêå íåîáðàòèìûõ ëèíåéíûõ ïðîöåññîâ, ÿâëÿ-
þùèõñÿ îñíîâîé äèôôóçèîííîé è õèìè÷åñêîé êèíåòèêè. Ñ òåð-
ìîäèíàìè÷åñêèõ è êèíåòè÷åñêèõ ïîçèöèé ðàññìàòðèâàþòñÿ äèô-
ôóçèîííûå ïðîöåññû, ïðîöåññû îêèñëåíèÿ è èñïàðåíèÿ. Àíàëè-
çèðóþòñÿ îñíîâíûå êèíåòè÷åñêèå çàêîíîìåðíîñòè ñëîæíûõ ãåòå-
ðîãåííûõ ïðîöåññîâ, óïðàâëÿþùèå ïðîöåññàìè ôîðìèðîâàíèÿ ñëî-
åâ íîâîé ôàçû âåùåñòâà.
 ãëàâå 8 ïðåäìåòîì èçó÷åíèÿ ÿâëÿþòñÿ òåðìîäèíàìè÷åñêèå è
êèíåòè÷åñêèå îñîáåííîñòè ïîâåðõíîñòíûõ ïðîöåññîâ, èãðàþùèõ
âàæíóþ ðîëü â òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà ìèêðî- è íàíîýëåêòðîí-
íûõ óñòðîéñòâ, òàê êàê ëþáîå âîçäåéñòâèå íà ìàòåðèàë èëè èçäå-
ëèå íà÷èíàåòñÿ ñ âçàèìîäåéñòâèÿ òåõíîëîãè÷åñêîé ñðåäû èëè
èíñòðóìåíòà ñ ïîâåðõíîñòüþ. Ïîâåðõíîñòíûå ÿâëåíèÿ è ìåæôàç-
íûå âçàèìîäåéñòâèÿ îïðåäåëÿþò âàæíåéøèå õàðàêòåðèñòèêè ïðàê-
òè÷åñêè âñåõ ýëåìåíòîâ ÝÑ.
Ãëàâû 9 è 10 ïîñâÿùåíû èçó÷åíèþ ïðîöåññîâ çàðîäûøåîáðà-
çîâàíèÿ è ýïèòàêñèàëüíîãî âûðàùèâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
ñëîåâ ôîðìèðóþùèõñÿ ñòðóêòóð, òàê êàê íà÷àëüíûå ñòàäèè îáðà-
çîâàíèÿ è ðîñòà ñëîåâ íîâîé ôàçû îïðåäåëÿþò èõ êðèñòàëëîãðà-
ôè÷åñêèå, ýëåêòðîôèçè÷åñêèå, ìåõàíè÷åñêèå è äðóãèå õàðàêòå-
ðèñòèêè. Çäåñü æå ðàññìàòðèâàþòñÿ ìîäåëüíûå ïðåäñòàâëåíèÿ ïðî-
öåññîâ ãîìîãåííîãî è ãåòåðîãåííîãî îáðàçîâàíèÿ, òåðìîäèíàìè-
÷åñêèå è êèíåòè÷åñêèå óñëîâèÿ îðèåíòèðîâàííîãî ðîñòà, à òàêæå
ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð.
Òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà âêëþ÷àþò â ñåáÿ ÷ðåçâû÷àéíî ñëîæ-
íûå ãåòåðîãåííûå ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå ñ ó÷àñòèåì òâåðäûõ,
æèäêèõ è ãàçîîáðàçíûõ ñðåä.
Äëÿ ïðàâèëüíîé îðãàíèçàöèè ýòèõ ïðîöåññîâ íåîáõîäèìî çíà-
íèå òåðìîäèíàìè÷åñêèõ, êèíåòè÷åñêèõ è äðóãèõ çàêîíîìåðíîñ-
òåé, íà êîòîðûõ îíè îñíîâûâàþòñÿ. Òàêîé ïîäõîä íàèáîëåå îïòè-
ìàëåí, ïîñêîëüêó ïîëó÷åííûå ïðè ýòîì äîñòàòî÷íî äîñòîâåðíûå
ñâåäåíèÿ î ïðîöåññå ïîçâîëÿþò ìèíèìèçèðîâàòü òðóäîâûå è âðå-
ìåííû́å çàòðàòû íà ðàçðàáîòêó ÝÑ.
Îäíèì èç ýòàïîâ ñîçäàíèÿ ÝÑ ÿâëÿåòñÿ ïðîâåäåíèå òåðìîäèíà-
ìè÷åñêîãî àíàëèçà (ÒÄÀ), ïîçâîëÿþùåãî óñòàíîâèòü âåðîÿòíîñòü
îñóùåñòâëåíèÿ îòäåëüíûõ ñòàäèé è òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà â
öåëîì, à òàêæå íàïðàâëåíèå åãî ïðîòåêàíèÿ è ãðàíèöû âîçìîæ-
íîãî âàðüèðîâàíèÿ âíåøíèõ óñëîâèé (òåìïåðàòóðû, äàâëåíèÿ, èñ-
õîäíîãî ñîîòíîøåíèÿ ââîäèìûõ êîìïîíåíòîâ) è ò. ä.

5
  ãëàâå 11 íà áàçå òåîðåòè÷åñêèõ ñâåäåíèé, èçëîæåííûõ â ïðå-
äûäóùèõ ãëàâàõ, ðàññìàòðèâàþòñÿ ñóùåñòâóþùèå ìåòîäèêè è îñî-
áåííîñòè ïðîâåäåíèÿ òåðìîäèíàìè÷åñêîãî àíàëèçà ïðîñòûõ è
ñëîæíûõ ïðîöåññîâ. Ïðè ýòîì îñîáîå âíèìàíèå óäåëåíî òåðìîäè-
íàìè÷åñêèì ìåòîäàì àíàëèçà ñëîæíûõ ãîìîãåííûõ è ãåòåðîãåí-
íûõ ñèñòåì.
 ãëàâå 12 ïîäðîáíî ðàññìàòðèâàþòñÿ ãàçîôàçíûå ìåòîäû ïî-
ëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ, à òàêæå ïðèâî-
äÿòñÿ ìåòîäèêè ïðîâåäåíèÿ òåðìîäèíàìè÷åñêîãî àíàëèçà ïðîöåñ-
ñîâ ðàçëîæåíèÿ, âîññòàíîâëåíèÿ è õèìè÷åñêîãî òðàíñïîðòà.

6
 ГЛАВА 1

ХАРАКТЕРИСТИКА ФАЗОВОГО СОСТОЯНИЯ

И СТРУКТУРЫ МАТЕРИАЛОВ. ЭЛЕМЕНТЫ
КРИСТАЛЛОГРАФИИ

1.1. Основные понятия и определения

Äëÿ íà÷àëà ðàññìîòðèì íàèáîëåå âàæíûå ðàçäåëû ãåîìåòðè-

÷åñêîé êðèñòàëëîãðàôèè, àíàëèòè÷åñêèå ìåòîäû îïèñàíèÿ êðè-
ñòàëëè÷åñêèõ ñòðóêòóð, âçàèìîñâÿçü èõ âíóòðåííåãî ñòðîåíèÿ è
ñèììåòðèè ñ ôèçè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè, à òàêæå äåôåêòû êðè-
ñòàëëè÷åñêîé ñòðóêòóðû, îïðåäåëÿþùèå îñíîâíûå ñòðóêòóðíî-÷óâ-
ñòâèòåëüíûå ñâîéñòâà òâåðäûõ òåë.
 çàâèñèìîñòè îò âíåøíèõ óñëîâèé (îáû÷íî òåìïåðàòóðû è äàâ-
ëåíèÿ) êàæäîå âåùåñòâî ìîæåò íàõîäèòüñÿ â òðåõ ñîñòîÿíèÿõ: òâåð-
äîì, æèäêîì è ãàçîîáðàçíîì, íàçûâàåìûõ àãðåãàòíûìè.
Ïðè äîñòàòî÷íî âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ ïðîèñõîäèò òåðìè÷å-
ñêàÿ èîíèçàöèÿ àòîìîâ, è âåùåñòâî ïåðåõîäèò â ÷åòâåðòîå èçâåñò-
íîå ñîñòîÿíèå — ïëàçìåííîå, â êîòîðîì îíî ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé
ðàâíîâåñíóþ «ñìåñü» íåéòðàëüíûõ àòîìîâ è ìîëåêóë, ïîëîæèòåëü-
íûõ èîíîâ è ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ.
Ñóùåñòâóåò êëàññ îðãàíè÷åñêèõ âåùåñòâ, êîòîðûå â îïðåäå-
ëåííîì òåìïåðàòóðíîì èíòåðâàëå çàíèìàþò ïðîìåæóòî÷íîå ïî-
ëîæåíèå ìåæäó òâåðäûìè òåëàìè è æèäêîñòÿìè. Êàê òâåðäûå òåëà
îíè îáëàäàþò àíèçîòðîïèåé ðàçëè÷íûõ ñâîéñòâ (ñòðóêòóðíûõ, ýëåê-
òðîôèçè÷åñêèõ, îïòè÷åñêèõ è äð.), à êàê æèäêîñòè îíè òåêó÷è,
ìîãóò îáðàçîâûâàòü êàïëè è íå èìåþò îïðåäåëåííîé ôîðìû. Ýòî
ñîñòîÿíèå íàçûâàåòñÿ æèäêîêðèñòàëëè÷åñêèì, èëè ìåçîìîðôíûì
(ïðîìåæóòî÷íûì), à âåùåñòâà, íàõîäÿùèåñÿ â òàêîì ñîñòîÿíèè, —
æèäêèìè êðèñòàëëàìè.
 ïðèðîäå ñóùåñòâóåò äâå ðàçíîâèäíîñòè òâåðäûõ òåë: êðèñòàë-
ëè÷åñêèå è àìîðôíûå.
 êðèñòàëëè÷åñêèõ òåëàõ ÷àñòèöû ïîä âëèÿíèåì äåéñòâóþùèõ
ìåæäó íèìè ñèë ðàñïîëàãàþòñÿ ñòðîãî óïîðÿäî÷åííî ïî îïðåäå-
ëåííîìó çàêîíó è îáðàçóþò ïðîñòðàíñòâåííóþ êðèñòàëëè÷åñêóþ
ðåøåòêó. Ïîëîæåíèå ëþáîé ÷àñòèöû â ïðåäåëàõ ýòîé ðåøåòêè îä-
íîçíà÷íî îïðåäåëÿåòñÿ åå âçàèìîäåéñòâèåì ñ ñîñåäíèìè ÷àñòè-
öàìè. Ïðè âíåøíèõ óñëîâèÿõ, îáåñïå÷èâàþùèõ îáëàñòü óñòîé÷è-
âîãî ñóùåñòâîâàíèÿ âåùåñòâà, ÷àñòèöû, ðàñïîëîæåííûå â óçëàõ

7
êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè, íàõîäÿòñÿ â ñîñòîÿíèè ðàâíîâåñèÿ è
îáëàäàþò ìèíèìàëüíîé ýíåðãèåé. Åäèíñòâåííîé ôîðìîé èõ äâè-
æåíèÿ ÿâëÿþòñÿ áåñïîðÿäî÷íûå êîëåáàíèÿ îêîëî ïîëîæåíèé ðàâ-
íîâåñèÿ. Ýíåðãèÿ êàæäîãî òàêîãî òåïëîâîãî êîëåáàíèÿ êâàíòîâà-
íà è íàçûâàåòñÿ ôîíîíîì.
Õàðàêòåðíûì ñòðóêòóðíûì ïðèçíàêîì êðèñòàëëè÷åñêèõ òâåð-
äûõ òåë ÿâëÿåòñÿ ãåîìåòðè÷åñêàÿ ôîðìà êðèñòàëëîâ, îïðåäåëÿ-
åìàÿ âíóòðåííèìè ñâîéñòâàìè ñîñòàâëÿþùèõ åãî âåùåñòâ. ×àñòî
îäíè è òå æå àòîìû èëè ìîëåêóëû ïðè ðàçëè÷íûõ âíåøíèõ óñëî-
âèÿõ ìîãóò çàíèìàòü ðàçëè÷íûå ñòðóêòóðíûå ïîëîæåíèÿ, ò. å. îá-
ðàçîâûâàòü îòëè÷àþùèåñÿ äðóã îò äðóãà ïî ïðîñòðàíñòâåííûì õà-
ðàêòåðèñòèêàì êðèñòàëëè÷åñêèå ôîðìû, èëè ìîäèôèêàöèè. Ýòî ÿâ-
ëåíèå íàçûâàåòñÿ ïîëèìîðôèçìîì. Íàïðèìåð, ìîäèôèêàöèÿìè óã-
ëåðîäà ÿâëÿþòñÿ àëìàç, ãðàôèò, ôóëëåðåíû, íàíîòðóáêè.
Îòëè÷èòåëüíûì ïðèçíàêîì êðèñòàëëè÷åñêèõ òåë ÿâëÿåòñÿ è
ðåçêî âûðàæåííàÿ òåìïåðàòóðà ïåðåõîäà èõ â æèäêîå ñîñòîÿíèå
(òåìïåðàòóðà ïëàâëåíèÿ), êîòîðàÿ äëÿ ÷èñòîãî âåùåñòâà ïðè ïî-
ñòîÿííîì äàâëåíèè ÿâëÿåòñÿ ôèçè÷åñêîé êîíñòàíòîé.
Íàèáîëåå îáùèì ïðèçíàêîì êðèñòàëëîâ ÿâëÿåòñÿ àíèçîòðî-
ïèÿ — çàâèñèìîñòü ðàçëè÷íûõ èõ ñâîéñòâ îò êðèñòàëëîãðàôè÷å-
ñêèõ íàïðàâëåíèé.
Êðèñòàëëè÷åñêèå òâåðäûå òåëà ìîãóò ñóùåñòâîâàòü êàê â âèäå
îäèíî÷íûõ êðèñòàëëîâ áîëüøèõ ðàçìåðîâ, íàçûâàåìûõ ìîíîêðè-
ñòàëëàìè, òàê è â âèäå ìíîæåñòâà õàîòè÷íî ñðîñøèõñÿ ìåæäó ñî-
áîé ìåëêèõ ìîíîêðèñòàëëîâ (çåðåí), íàçûâàåìûõ ïîëèêðèñòàëëàìè.
 ïîëèêðèñòàëëàõ â ïðåäåëàõ êàæäîãî çåðíà ÷àñòèöû ðàñïîëîæåíû
ïåðèîäè÷åñêè, íî ïðè ïåðåõîäå îò îäíîãî çåðíà ê äðóãîìó íà
ãðàíèöàõ ðàçäåëà ýòà ïåðèîäè÷íîñòü íàðóøàåòñÿ. Ïîëèêðèñòàëëû
èçîòðîïíû, ò. å. èõ ñâîéñòâà îäèíàêîâû âî âñåõ íàïðàâëåíèÿõ.
Òâåðäûå âåùåñòâà, íå îáëàäàþùèå êðèñòàëëè÷åñêîé ñòðóêòó-
ðîé, ÿâëÿþòñÿ àìîðôíûìè. Àìîðôíûå òåëà õàðàêòåðèçóþòñÿ õà-
îòè÷åñêèì ðàñïîëîæåíèåì ÷àñòèö. Ïðè íàãðåâå îíè ðàçìÿã÷àþòñÿ
è íå èìåþò ÿðêî âûðàæåííîé òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ. Ïðåäåëü-
íûì ñëó÷àåì àìîðôíîãî ñîñòîÿíèÿ ÿâëÿåòñÿ èäåàëüíûé ãàç. ×àñòî
àìîðôíîå ñîñòîÿíèå îòîæäåñòâëÿåòñÿ ñ ñòåêëîîáðàçíûì, ÷òî íå
ñîâñåì âåðíî, ïîñêîëüêó â íåáîëüøèõ ýëåìåíòàõ îáúåìà ñòåêîë
íàáëþäàåòñÿ óïîðÿäî÷åííîå ðàñïîëîæåíèå ÷àñòèö. Òàêèå ìèêðî-
êðèñòàëëè÷åñêèå îáðàçîâàíèÿ, íàçûâàåìûå êðèñòàëëèòàìè, îá-
ëàäàþò êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêîé, ñâîéñòâåííîé ñòðóêòóðå äàí-
íîãî âåùåñòâà â êðèñòàëëè÷åñêîì ñîñòîÿíèè. Íàïðèìåð, â êâàð-
öåâîì ñòåêëå ñòðóêòóðíûìè ýëåìåíòàìè ÿâëÿþòñÿ òåòðàýäðû [SiO4],
ñîåäèíåííûå âåðøèíàìè.
Âíå çàâèñèìîñòè îò ñâîåãî àãðåãàòíîãî ñîñòîÿíèÿ ôèçè÷åñêè
îäíîðîäíîå — ãîìîãåííîå — âåùåñòâî èëè ñîâîêóïíîñòü íåñêîëü-
êèõ òîæäåñòâåííûõ ïî ñîñòàâó âåùåñòâ, íàõîäÿùèõñÿ â ðàâíî-
âåñíûõ ñîñòîÿíèÿõ, íàçûâàåòñÿ ôàçîé. Â ïðåäåëàõ îäíîé ôàçû âå-

8
ùåñòâî ìîæåò áûòü íåîäíîðîäíî â õèìè÷åñêîì îòíîøåíèè. Òàê,
âîçäóõ õèìè÷åñêè íåîäíîðîäåí, ïîñêîëüêó ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé
ñìåñü êèñëîðîäà ñ àçîòîì è äðóãèìè ãàçàìè, à ôèçè÷åñêè îí
îäíîðîäåí è ÿâëÿåòñÿ ãîìîãåííîé îäíîôàçíîé ñèñòåìîé. Âåùå-
ñòâà, ñîñòîÿùèå áîëåå ÷åì èç îäíîé ôàçû, ÷àñòî íàçûâàþòñÿ
ãåòåðîãåííûìè.
Íå ñëåäóåò îòîæäåñòâëÿòü ïîíÿòèÿ «ôàçà» è «àãðåãàòíîå ñîñòî-
ÿíèå». Ãåòåðîãåííàÿ ñèñòåìà ìîæåò ñîäåðæàòü íåñêîëüêî âåùåñòâ
â îäíîì è òîì æå àãðåãàòíîì ñîñòîÿíèè è áûòü ìíîãîôàçíîé èç-
çà ðàçëè÷èÿ ñâîéñòâ ýòèõ ôàç (íàïðèìåð, ñìåñü âîäû ñ áåíçèíîì
è äðóãèìè íåñìåøèâàþùèìèñÿ æèäêîñòÿìè).
Ìíîãîôàçíàÿ ñèñòåìà ìîæåò áûòü îáðàçîâàíà è îäíèì âåùå-
ñòâîì: ëèáî ðàçíûìè àëëîòðîïíûìè ìîäèôèêàöèÿìè â îäíîì àã-
ðåãàòíîì ñîñòîÿíèè (íàïðèìåð, ñìåñü òâåðäûõ êðàñíîãî è áåëîãî
ôîñôîðîâ, àëìàçà è ãðàôèòà è ò. ï.), ëèáî íàõîäÿùèìñÿ â ðàçíûõ
àãðåãàòíûõ ñîñòîÿíèÿõ (íàïðèìåð, ëåä è âîäà).
Òàêèì îáðàçîì, âñå ãîìîãåííûå ÷àñòè ãåòåðîãåííûõ òåë, îäè-
íàêîâûå ïî õèìè÷åñêîìó ñîñòàâó, ñòðîåíèþ è àãðåãàòíîìó ñîñòî-
ÿíèþ, ñîñòàâëÿþò îäíó ôàçó.

1.2. Кристаллическая решетка и структура

идеальных кристаллов

Êðèñòàëëîãðàôèÿ èçó÷àåò ôèçè÷åñêèå ñâîéñòâà, ïðîöåññû îá-

ðàçîâàíèÿ è ðîñòà êðèñòàëëîâ, à òàêæå èõ âíåøíþþ è âíóòðåí-
íþþ ãåîìåòðèþ. Çàäà÷åé êðèñòàëëîãðàôèè ÿâëÿåòñÿ óñòàíîâëåíèå
îáùèõ ñèììåòðèéíûõ è òåðìîäèíàìè÷åñêèõ çàêîíîìåðíîñòåé äëÿ
ôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ êðèñòàëëîâ è èõ çàâèñèìîñòè îò âíåøíèõ âîç-
äåéñòâèé. Âàðüèðóÿ ýòè âîçäåéñòâèÿ, ìîæíî ñîçäàâàòü âåùåñòâà ñ
óíèêàëüíûìè ñâîéñòâàìè.
Ñîâåðøåííàÿ ãåîìåòðèÿ êðèñòàëëîâ ñâèäåòåëüñòâóåò î íàëè-
÷èè çàêîíîìåðíîñòåé â èõ âíóòðåííåì ñòðîåíèè. È äåéñòâèòåëü-
íî, åñòåñòâåííûå ïëîñêèå ãðàíè è ðîâíûå ðåáðà êðèñòàëëîâ îòðà-
æàþò èõ âíóòðåííþþ ñòðóêòóðó, ÿâëÿþòñÿ âíåøíèì âûðàæåíèåì
óïîðÿäî÷åííîãî ðàñïîëîæåíèÿ àòîìîâ, èîíîâ, ìîëåêóë èëè èõ
ãðóïï. Ýòè óïîðÿäî÷åííûå ñòðóêòóðíûå ÷àñòèöû, ðàñïîëîæåííûå
ïðàâèëüíûìè ðÿäàìè â ñòðîãîé èåðàðõè÷åñêîé ïîñëåäîâàòåëüíî-
ñòè, îáðàçóþò ïðîñòðàíñòâåííóþ êðèñòàëëè÷åñêóþ ðåøåòêó.
 ðåàëüíûõ êðèñòàëëàõ óïîðÿäî÷åííîå ðàñïîëîæåíèå ÷àñòèö
íàðóøåíî âñëåäñòâèå òåïëîâûõ êîëåáàíèé, âîçáóæäåíèÿ àòîìîâ è
äðóãèõ ïðè÷èí. Äëÿ ïðîñòîòû áóäåì ðàññìàòðèâàòü èäåàëüíûé êðè-
ñòàëë, ò. å. êðèñòàëë, â êîòîðîì îòñóòñòâóþò ñòðóêòóðíûå íàðóøå-
íèÿ, à ÷àñòèöû ðàñïîëîæåíû â ïîëîæåíèÿõ ðàâíîâåñèÿ, ñîîòâåò-
ñòâóþùèõ öåíòðàì òÿæåñòè.

9
 Ðèñ. 1.1. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå ðåøåòîê:
à — îäíîìåðíîé; á — äâóõìåðíîé; â — òðåõìåðíîé; à0, b0, ñ0 — ïåðèîäû êðèñòàë-
ëè÷åñêèõ ðåøåòîê; òîëñòûìè ëèíèÿìè âûäåëåíà ýëåìåíòàðíàÿ ÿ÷åéêà

Ðàññìîòðèì ïðîöåññ ïåðèîäè÷åñêîãî ïåðåìåùåíèÿ àòîìà òîëüêî

â îäíîì íàïðàâëåíèè âäîëü êîîðäèíàòíîé îñè íà ðàññòîÿíèÿ, êðàò-
íûå ìåæäóàòîìíûì.  ðåçóëüòàòå ïîëó÷èì ïåðèîäè÷åñêèé ðÿä èäåí-
òè÷íûõ òî÷åê (ðèñ. 1.1, à), ðàñïîëîæåííûõ íà ðàññòîÿíèÿõ à0, 2à0,
3à0 è ò. ä. Òàêîé ïåðèîäè÷åñêèé ðÿä íàçûâàåòñÿ îäíîìåðíîé ðåøåò-
êîé, à âåêòîð ýëåìåíòàðíîãî ñìåùåíèÿ — òðàíñëÿöèîííûì. Êðàò-
÷àéøåå ðàññòîÿíèå ìåæäó èäåíòè÷íûìè òî÷êàìè íàçûâàåòñÿ ïå-
ðèîäîì òðàíñëÿöèè, èëè ïåðèîäîì êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè à0 â
íàïðàâëåíèè âûáðàííîé òðàíñëÿöèîííîé îñè.
Ïåðåìåùàÿ èñõîäíûé àòîì â ïåðïåíäèêóëÿðíîì íàïðàâëåíèè
íà ðàññòîÿíèå b0, ïîëó÷èì äâóõìåðíóþ ðåøåòêó (ðèñ. 1.1, á ). È,
íàêîíåö, ïðè òðàíñëÿöèîííîì ïåðåìåùåíèè àòîìà âäîëü òðåòüåé
êîîðäèíàòíîé îñè íà ðàññòîÿíèå c0 îáðàçóåòñÿ òðåõìåðíàÿ ðåøåò-
êà (ðèñ. 1.1, â).
Òàêèì îáðàçîì, òðåõìåðíàÿ ðåøåòêà ìîæåò áûòü ïîëó÷åíà ñ
ïîìîùüþ îïåðàöèè òðàíñëÿöèîííîé ñèììåòðèè.
Òðàíñëÿöèîííàÿ ñèììåòðèÿ — ýòî ïåðèîäè÷åñêîå ïîâòîðåíèå â
îïðåäåëåííîé ïîñëåäîâàòåëüíîñòè ýëåìåíòà ñòðóêòóðû â ïðîñòðàí-
ñòâå âäîëü ïðÿìîé, íàçûâàåìîé îñüþ òðàíñëÿöèè.
Ïëîñêîñòè, ïðîâåäåííûå ïåðïåíäèêóëÿðíî êîîðäèíàòíûì
îñÿì, ðàçáèâàþò êðèñòàëëû íà ìíîæåñòâî ðàâíûõ è ïàðàëëåëüíî
îðèåíòèðîâàííûõ ïàðàëëåïèïåäîâ (ñì. ðèñ. 1.1, â). Íàèìåíüøèé
ïàðàëëåïèïåä, îáðàçîâàííûé òðåìÿ âåêòîðàìè à, b è ñ, íàçûâà-
åòñÿ ýëåìåíòàðíîé ÿ÷åéêîé êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè (ðèñ. 1.2), à
âåðøèíû ýëåìåíòàðíîé ÿ÷åéêè, â êîòîðûõ íàõîäÿòñÿ àòîìû, —
óçëàìè êðèñòàëëè÷åñêîé (ýëåìåíòàðíîé) ðåøåòêè. Îáúåì ýëåìåí-
òàðíîé ÿ÷åéêè íå çàâèñèò îò åå ôîðìû è ÿâëÿåòñÿ ïîñòîÿííûì
äëÿ äàííîãî òèïà ñòðóêòóðû.
Ýëåìåíòàðíàÿ ÿ÷åéêà îïðåäåëÿåòñÿ êàê ýëåìåíòàðíûé îáúåì
òâåðäîãî òåëà, èç êîòîðîãî ïîñðåäñòâîì áåñêîíå÷íîãî ÷èñëà òðàíñ-
ëÿöèé ìîæíî ïîñòðîèòü ïðîñòðàíñòâåííóþ ðåøåòêó, èìåþùóþ
äàëüíèé ïîðÿäîê è îòðàæàþùóþ ñèììåòðèþ êðèñòàëëà.

10
Ðèñ. 1.2. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå ýëåìåí-
òàðíîé ÿ÷åéêè:
a, b, c — òðàíñëÿöèîííûå âåêòîðû; α, β, γ — óãëû
ìåæäó âåêòîðàìè òðàíñëÿöèè

Ñóùåñòâîâàíèå äàëüíåãî ïîðÿäêà ÿâëÿåòñÿ âàæíåéøèì ïðè-

çíàêîì êðèñòàëëè÷åñêîãî ñîñòîÿíèÿ âåùåñòâà.  ñòåêëàõ è æèäêî-
ñòÿõ íåêîå óïîðÿäî÷åíèå èìååòñÿ ëèøü âáëèçè ðàññìàòðèâàåìîãî
àòîìà (ìîëåêóëû), ò. å. äëÿ íèõ õàðàêòåðåí áëèæíèé ïîðÿäîê.
Êàê ïðàâèëî, âåêòîðû òðàíñëÿöèè íå ïåðïåíäèêóëÿðíû äðóã
äðóãó, à îáðàçóþò ìåæäó ñîáîé óãëû, îòëè÷àþùèåñÿ îò ïðÿìîãî
(α ≠ β ≠ γ).  îáùåì ñëó÷àå ïåðèîäû òðàíñëÿöèè ïî ðàçíûì íà-
ïðàâëåíèÿì îòëè÷àþòñÿ è ïî ìîäóëþ (à ≠ b ≠ c). Ñëåäîâàòåëüíî,
îòëè÷àþòñÿ è ïåðèîäû êðèñòàëëè÷åñêîé òðåõìåðíîé ðåøåòêè (à0 ≠
≠ b0 ≠ c0).
 1848 ã. Î. Áðàâå ïîêàçàë, ÷òî âñå ìíîãîîáðàçèå êðèñòàëëè÷å-
ñêèõ ñòðóêòóð ñâîäèòñÿ ê 14 òèïàì òðàíñëÿöèîííûõ ðåøåòîê (íà-
çâàííûõ ðåøåòêàìè Áðàâå), îòëè÷àþùèõñÿ ôîðìàìè ýëåìåíòàð-
íûõ ÿ÷ååê è ñèììåòðèåé, è êîòîðûå â çàâèñèìîñòè îò ñîîòíîøå-
íèÿ óãëîâ α, β, γ ìåæäó îñÿìè è ïåðèîäîâ òðàíñëÿöèè à0, b0, c0 â
òðåõ íàïðàâëåíèÿõ îáðàçóþò ñåìü êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèõ ñèñòåì —
ñèíãîíèé (òàáë. 1.1).
Ò à á ë è ö à 1.1
Õàðàêòåðèñòèêè êðèñòàëëè÷åñêèõ ñèñòåì

Kðèñòàëëè÷åñêàÿ Ñîîòíîøåíèå ìåæäó óãëàìè â

Ïåðèîäû òðàíñëÿöèè
ñèñòåìà ýëåìåíòàðíîé ÿ÷åéêå

Òðèêëèííàÿ à0 π b0 π c0 aπbπg
Ìîíîêëèííàÿ à0 π b0 π c0 a = g = 90°, b π 90°
Ðîìáè÷åñêàÿ à0 π b0 π c0 a = b = g = 90°
Òåòðàãîíàëüíàÿ à0 = b0 π c0 a = b = g = 90°
Kóáè÷åñêàÿ à0 = b0 = c0 a = b = g = 90°
Ðîìáîýäðè÷åñêàÿ à0 = b0 = c0 120° < a = b = g π 90°
Ãåêñàãîíàëüíàÿ è à0 = b0 π c0 a = b = 90°, g = 120°
òðèãîíàëüíàÿ

11
 Ðèñ. 1.3. Êðèñòàëëè÷åñêèå êëàññû è òèïû ðåøåòîê:
à — òðèêëèííàÿ; á — ìîíîêëèííàÿ; â — ðîìáè÷åñêàÿ; ã —
òåòðàãîíàëüíàÿ; ä — êóáè÷åñêàÿ; å — ðîìáîýäðè÷åñêàÿ; æ —
ãåêñàãîíàëüíàÿ; 1 — ïðèìèòèâíûå ÿ÷åéêè; 2 ¾ 4 — ñîîòâåò-
ñòâåííî áàçî-, îáúåìíî- è ãðàíåöåíòðèðîâàííûå ÿ÷åéêè

12
 Íà ðèñ. 1.3 ïîêàçàíû ðàçëè÷íûå òèïû ðåøåòîê Áðàâå, ïðèíàä-
ëåæàùèå ñåìè êðèñòàëëè÷åñêèì ñèíãîíèÿì, ãäå öèôðîé 1 îáî-
çíà÷åíû ïðèìèòèâíûå ÿ÷åéêè, ò. å. ÿ÷åéêè, ó êîòîðûõ óçëû èìå-
þòñÿ òîëüêî â âåðøèíàõ, à öèôðàìè 2 ¾ 4 — ñîîòâåòñòâåííî áàçî-,
îáúåìî- è ãðàíåöåíòðèðîâàííûå.
Èç èäåíòè÷íîñòè âñåõ óçëîâ â ðåøåòêå Áðàâå ìîæíî ñäåëàòü
ñëåäóþùèé âûâîä: òðàíñëÿöèîííóþ ðåøåòêó ìîæíî ïîñòðîèòü
òîëüêî èç àòîìîâ îäíîãî ñîðòà. Ñòðóêòóðó ñëîæíîãî ñîåäèíåíèÿ
ìîæíî âîñïðîèçâåñòè, åñëè «âñòàâèòü» îäíó òðàíñëÿöèîííóþ ðå-
øåòêó â äðóãóþ.  ýòîì ñëó÷àå ïåðèîäîì òðàíñëÿöèè áóäåò ðàññòî-
ÿíèå íå ìåæäó áëèæàéøèìè èîíàìè, à ìåæäó áëèæàéøèìè îä-
íîèìåííûìè èîíàìè.

1.3. Закон рациональных отношений. Метод

кристаллографического индицирования
Îáû÷íî ïðè îïèñàíèè êðèñòàëëè÷åñêèõ ñòðóêòóð îñè êîîðäè-
íàò âûáèðàþò â ñîîòâåòñòâèè ñ ñèììåòðèåé êðèñòàëëà òàêèì îá-
ðàçîì, ÷òîáû îíè ñîîòâåòñòâîâàëè õàðàêòåðíûì íàïðàâëåíèÿì.
Íàïðàâëåíèÿ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèõ îñåé êîîðäèíàò ñîîòâåòñòâó-
þò íàïðàâëåíèÿì ðåáåð ýëåìåíòàðíîé ÿ÷åéêè, ò. å. íàïðàâëåíèÿì
â ïðîñòðàíñòâåííîé ðåøåòêå ñ íàèìåíüøèì ïåðèîäîì òðàíñëÿ-
öèè. Ïðè îïèñàíèè êóáè÷åñêèõ, òåòðàãîíàëüíûõ è ðîìáè÷åñêèõ
êðèñòàëëîâ èñïîëüçóåòñÿ ïðÿìîóãîëüíàÿ ñèñòåìà êîîðäèíàò, à ïðè
îïèñàíèè îñòàëüíûõ — êîñîóãîëüíàÿ. Íà÷àëî êîîðäèíàò íàõîäèò-
ñÿ â îäíîì èç óçëîâ êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè.
Çà åäèíèöó äëèíû ïî êàæäîé îñè — îñåâóþ åäèíèöó — ïðèíè-
ìàþòñÿ äëèíû ñîîòâåòñòâóþùèõ ðåáåð òðàíñëÿöèîííîé ðåøåòêè
(à0, b0, c0).
 êðèñòàëëå ìîæíî âûäåëèòü áåñêîíå÷íî áîëüøîå ÷èñëî ïàðàë-
ëåëüíûõ ïëîñêîñòåé. Äëÿ õàðàêòåðèñòèêè ïàðàëëåëüíûõ ïëîñêî-
ñòåé äîñòàòî÷íî îïðåäåëèòü îäíó ïëîñêîñòü, íàçûâàåìóþ åäèíè÷-
íîé, êîòîðàÿ îòñåêàåò íà îñÿõ êîîðäèíàò îòðåçêè à0, b0, c0 (ðèñ.
1.4, ïëîñêîñòü ABC ). Ïðè ýòîì êðàòíûå èì îòðåçêè mà0, nb0, pc0
(ãäå m, n è p — öåëûå ÷èñëà) îïðåäåëÿþò ïîëîæåíèå ëþáîé ãðà-
íè êðèñòàëëà è íàçûâàþòñÿ ïàðàìåòðàìè ãðàíè.
 êðèñòàëëîãðàôèè ïðèíÿòî õàðàêòåðèçîâàòü ãðàíè íå ïàðàìå-
òðàìè, à èíäåêñàìè Ìèëëåðà (h, k, l ), îïðåäåëÿåìûìè èç ñîîòíî-
øåíèÿ âåëè÷èí, îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíûõ ïàðàìåòðàì ãðàíè:

1 1 1
h:k :l = : : . (1.1)
m n p
Ñèìâîëû ãðàíåé çàïèñûâàþòñÿ â âèäå ïîñëåäîâàòåëüíîñòè ÷è-
ñåë, çàêëþ÷åííûõ â êðóãëûå ñêîáêè (hkl ). Åñëè èíäåêñ îòðèöà-

13
 Ðèñ. 1.4. Èíäèöèðîâàíèå ïëîñêîñòåé (ãðàíåé) êðèñòàëëà:
a0, b0, c0 — îñåâûå åäèíèöû

òåëüíûé, òî çíàê «−» ñòàâèòñÿ ñâåðõó íàä ñîîòâåòñòâóþùèì ÷èñ-

ëîì (hkl ). Ñèìâîë ãðàíè çàâèñèò òîëüêî îò ñîîòíîøåíèÿ îòðåç-
êîâ íà îñÿõ. Òàêèì îáðàçîì, ïëîñêîñòü ABC, ïîêàçàííàÿ íà ðèñ.
1.4, èìååò ñèìâîë (111), ïîñêîëüêó îòðåçêè íà îñÿõ ñîñòàâëÿþò
1à0, 1b0, 1c0, è ÿâëÿåòñÿ åäèíè÷íîé, à ãðàíü ADC èìååò ñèìâîë
(313).
Íà ðèñ. 1.5 ïðèâåäåíû ñèìâîëû íåêîòîðûõ ãðàíåé êóáè÷åñêîé
ðåøåòêè.
Ïðè èíäèöèðîâàíèè ãåêñàãîíàëüíîé ñèñòåìû èñïîëüçóåòñÿ
÷åòûðåõîñíàÿ ñèñòåìà êîîðäèíàò: òðè ðàâíîöåííûå îñè X, Y, U,
ðàñïîëîæåííûå ïîä óãëîì 120°, è ïåðïåíäèêóëÿðíàÿ èì îñü Z
(ðèñ. 1.6).  ýòîì ñëó÷àå ñèìâîëàìè ãðàíè ÿâëÿþòñÿ ÷åòûðå èíäåêñà
(hkil ), íàçûâàåìûå èíäåêñàìè Áðàâå è îïðåäåëÿåìûå èç ñëåäóþ-
ùåãî ñîîòíîøåíèÿ:

1 1 1 1
h:k :i :l = : : : , (1.2)
m n q p

ãäå m, n, q, p — öåëûå ÷èñëà.

Ðàññìîòðåííûé ìåòîä èíäèöèðîâàíèÿ ãðàíåé ñ ïîìîùüþ ñèì-
âîëîâ îñíîâûâàåòñÿ íà ñëåäóþùåì ýìïèðè÷åñêîì çàêîíå ðàöèî-
íàëüíûõ îòíîøåíèé: äëÿ ëþáûõ äâóõ ãðàíåé ðåàëüíîãî êðèñòàëëà äâîé-
íûå îòíîøåíèÿ ïàðàìåòðîâ, âûðàæåííûå â îñåâûõ åäèíèöàõ, ðàâíû
îòíîøåíèþ ìàëûõ öåëûõ ÷èñåë.
Ãðàíè, äëÿ êîòîðûõ îòíîøåíèÿ ïàðàìåòðîâ âûðàæàþòñÿ èððà-
öèîíàëüíûìè ÷èñëàìè, íåâîçìîæíû â ðåàëüíûõ êðèñòàëëàõ.

14
 Ðèñ. 1.5. Ñèìâîëû íåêîòîðûõ ãðàíåé êóáè÷åñêîãî êðèñòàëëà

Òàêèì îáðàçîì, â êðèñòàëëå îáðàçóþòñÿ ëèøü òàêèå ãðàíè, äëÿ

êîòîðûõ äâîéíûå îòíîøåíèÿ îòðåçêîâ, îòñåêàåìûå äàííîé è åäè-
íè÷íîé ãðàíüþ íà òðåõ ðåáðàõ, ðàâíû îòíîøåíèþ íåáîëüøèõ öå-
ëûõ ÷èñåë, íå èìåþùèõ îáùåãî ìíîæèòåëÿ.
Äëÿ îáîçíà÷åíèÿ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèõ íàïðàâëåíèé ïðèìå-
íÿþòñÿ èíäåêñû â âèäå íàèìåíüøèõ öåëûõ ÷èñåë, ïðÿìî ïðîïîð-
öèîíàëüíûõ îñåâûì åäèíèöàì. Îíè ñëóæàò õàðàêòåðèñòèêîé ëþ-
áîãî íàïðàâëåíèÿ, îäíîçíà÷íî îïðåäåëÿåìîãî, åñëè èçâåñòíû êî-

Ðèñ. 1.6. Èíäèöèðîâàíèå ãðàíåé ãåêñàãîíàëüíîé ðåøåòêè â ÷åòûðåõîñíîé

ñèñòåìå êîîðäèíàò:
a0, b0, c0, å0 — îñåâûå åäèíèöû

15
îðäèíàòû, êàêîé-ëèáî òî÷êè íà ïðÿìîé. Ñèìâîëû íàïðàâëåíèé îáî-
çíà÷àþòñÿ â êâàäðàòíûõ ñêîáêàõ [uwv]. Ïîëîæèòåëüíîå íàïðàâëå-
íèå îñè X îáîçíà÷àåòñÿ [100], îñè Y — [010], îñè Z — [001].

1.4. Симметрия твердых тел

Ðàññìàòðèâàÿ êðèñòàëëû ðàçëè÷íûõ âåùåñòâ, ìîæíî óâèäåòü,
÷òî íåêîòîðûå èç íèõ èìåþò âèä ãåîìåòðè÷åñêè ïðàâèëüíûõ ìíî-
ãîãðàííèêîâ. Íàïðèìåð, êðèñòàëëû êàìåííîé ñîëè NaCl ïðåä-
ñòàâëÿþò ñîáîé ïðÿìîóãîëüíûå ïàðàëëåïèïåäû ñ îäèíàêîâûìè
ãðàíÿìè, êðèñòàëëû êâàðöà SiO2 — ïðàâèëüíûå øåñòèãðàííûå ïðèç-
ìû è ò. ï. Ñëåäîâàòåëüíî, êðèñòàëëàì ñâîéñòâåííà ñèììåòðèÿ âíåø-
íåé ôîðìû.
Âñëåäñòâèå òîãî, ÷òî â ñòðóêòóðå êðèñòàëëà ñèëû ñâÿçåé è ðàñ-
ñòîÿíèÿ ìåæäó ÷àñòèöàìè ðàçëè÷íû â ðàçíûõ íàïðàâëåíèÿõ, îíè
îáëàäàþò àíèçîòðîïèåé ñâîéñòâ.
Òàêèì îáðàçîì, àíèçîòðîïèÿ è ñèììåòðèÿ ôèçè÷åñêèõ
ñâîéñòâ — ýòî õàðàêòåðíûå îñîáåííîñòè êðèñòàëëîâ, îáóñëîâ-
ëåííûå çàêîíîìåðíîñòüþ è ñèììåòðèåé èõ âíóòðåííåãî ñòðîåíèÿ.
Çàêîíîìåðíîñòü è ñèììåòðèÿ ñòðóêòóðû êðèñòàëëîâ ÿâëÿþòñÿ
ñëåäñòâèåì äèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ èõ âíóòðåííèõ ñèë èëè ïðî-
öåññîâ. Â ñîñòîÿíèè ðàâíîâåñèÿ êîíôèãóðàöèè ñ âûñîêîé ñòåïå-
íüþ ñèììåòðèè ñîîòâåòñòâóþò ìèíèìóìó âíóòðåííåé ýíåðãèè
âåùåñòâà. Âíåøíèå âîçäåéñòâèÿ ìîãóò íàðóøàòü ýòî ðàâíîâåñèå è
ìåíÿòü ñâîéñòâà êðèñòàëëà.
Ïîíÿòèå ñèììåòðèè ÿâëÿåòñÿ ôóíäàìåíòàëüíûì, ïîçâîëÿåò
ïðåäñòàâèòü ïðîñòðàíñòâåííîå ðàñïîëîæåíèå àòîìîâ è äàòü ãåî-
ìåòðè÷åñêóþ õàðàêòåðèñòèêó ðàçëè÷íûõ òèïîâ êðèñòàëëè÷åñêèõ
ñòðóêòóð.
Ñèììåòðèÿ — ýòî ñïîñîáíîñòü òâåðäîãî òåëà ñîâìåùàòüñÿ ñ
ñàìèì ñîáîé â ðåçóëüòàòå åãî äâèæåíèé èëè ìûñëåííûõ îïåðàöèé
íàä åãî òî÷êàìè.
 òåîðèè ñèììåòðèè îáúåêòîì èññëåäîâàíèÿ ÿâëÿåòñÿ ôèãóðà,
èìåþùàÿ îáúåì, ôîðìó, îïðåäåëåííóþ îðèåíòàöèþ è ïðåäñòàâ-
ëÿþùàÿ ñîáîé ïðîñòðàíñòâåííóþ ñîâîêóïíîñòü òî÷åê ÿâëÿþùèõ-
ñÿ öåíòðàìè òÿæåñòè àòîìîâ.
Õèìè÷åñêèå ñâÿçè ìåæäó àòîìàìè èçîáðàæàþòñÿ â âèäå ëèíèé.
Îïåðàöèåé ñèììåòðèè íàçûâàåòñÿ ïðîöåäóðà ñîâìåùåíèÿ òî÷-
êè (ýëåìåíòà) ñòðóêòóðû ñ äðóãîé åå òî÷êîé (ýëåìåíòîì).
Íàèáîëåå âàæíûìè îïåðàöèÿìè ñèììåòðèè ÿâëÿþòñÿ òðàíñ-
ëÿöèîííàÿ (ïåðåíîñíàÿ) è ïîâîðîòíàÿ (âðàùàòåëüíàÿ).
Òðàíñëÿöèîííàÿ ñèììåòðèÿ áûëà ðàññìîòðåíà â ïîäðàçä. 1.2.
Ïîâîðîòíàÿ ñèììåòðèÿ — ýòî ñâîéñòâî êðèñòàëëà ñîâìåùàòüñÿ
ñ ñàìèì ñîáîé ïðè âðàùåíèè íà íåêîòîðûé îïðåäåëåííûé óãîë
âîêðóã îñè ñèììåòðèè.

16
 Ýëåìåíòîì ñèììåòðèè íàçûâàåòñÿ âèðòóàëüíûé ãåîìåòðè÷å-
ñêèé ýëåìåíò, ñ ïîìîùüþ êîòîðîãî îñóùåñòâëÿåòñÿ îïåðàöèÿ ñèì-
ìåòðèè. Ñóùåñòâóåò ÷åòûðå ýëåìåíòà ñèììåòðèè: ïîâîðîòíàÿ îñü
ñèììåòðèè n-ãî ïîðÿäêà, ïëîñêîñòü ñèììåòðèè, öåíòð ñèììåò-
ðèè, çåðêàëüíî-ïîâîðîòíàÿ îñü n-ãî ïîðÿäêà.
Åñëè òåëî ñîâìåùàåòñÿ ñ ñàìèì ñîáîé ïðè ïîëíîì ïîâîðîòå
âîêðóã íåêîòîðîé îñè n ðàç (n = 1, 2, 3 ¾), òî ýòà îñü íàçûâàåòñÿ
ïîâîðîòíîé îñüþ ñèììåòðèè n-ãî ïîðÿäêà. Îñü n-ãî ïîðÿäêà — ýòî
îñü ïîâîðîòà íà óãîë, êðàòíûé 2π/n. Íàïðèìåð, òåëî, îñíîâàíèåì
êîòîðîãî ÿâëÿåòñÿ êâàäðàò, ñîâìåùàåòñÿ ñ ñàìèì ñîáîé ïðè ïîë-
íîì ïîâîðîòå âîêðóã îñè, ïðîõîäÿùåé ÷åðåç òî÷êè ïåðåñå÷åíèÿ
äèàãîíàëåé îñíîâàíèÿ ÷åòûðå ðàçà. Ñëåäîâàòåëüíî, ýòà îñü ÿâëÿ-
åòñÿ îñüþ 4-ãî ïîðÿäêà.
Åñëè òåëî ñîâìåùàåòñÿ ñ ñàìèì ñîáîé â ðåçóëüòàòå îòðàæåíèÿ
åãî òî÷åê â íåêîòîðîé ïëîñêîñòè, òî ýòà ïëîñêîñòü íàçûâàåòñÿ
ïëîñêîñòüþ ñèììåòðèè.
Öåíòð ñèììåòðèè (öåíòð èíâåðñèè) — îñîáàÿ òî÷êà âíóòðè òåëà,
äëÿ êîòîðîé õàðàêòåðíî òî, ÷òî ëþáàÿ ïðÿìàÿ, ïðîâåäåííàÿ ÷åðåç
ýòó òî÷êó, âñòðå÷àåò ïî îáå ñòîðîíû îò íåå íà ðàâíûõ ðàññòîÿíèÿõ
îäèíàêîâûå òî÷êè òåëà.
Åñëè òåëî ñîâìåùàåòñÿ ñ ñàìèì ñîáîé ïðè ïîâîðîòå íà óãîë
2π/n è îòðàæåíèè â ïëîñêîñòè, ïåðïåíäèêóëÿðíîé îñè ïîâîðîòà,
òî ýòà îñü íàçûâàåòñÿ çåðêàëüíî-ïîâîðîòíîé îñüþ n-ãî ïîðÿäêà.
Ñîâîêóïíîñòü ýëåìåíòîâ ñèììåòðèè îáðàçóåò ãðóïïó ñèììåòðèè.
Äëÿ ðàññìîòðåííûõ ýëåìåíòîâ ñèììåòðèè õàðàêòåðíî òî, ÷òî â
íèõ îñòàåòñÿ íåïîäâèæíîé, ïî êðàéíåé ìåðå, îäíà òî÷êà òåëà.
Ñëåäîâàòåëüíî, ñîîòâåòñòâóþùèå èì ãðóïïû ñèììåòðèè íàçûâà-
þòñÿ òî÷å÷íûìè ãðóïïàìè, (êëàññàìè) ñèììåòðèè.
Ïðè òî÷å÷íûõ ïðåîáðàçîâàíèÿõ òåëî íå ïåðåìåùàåòñÿ êàê åäè-
íîå öåëîå.
Êðèñòàëëè÷åñêèå òâåðäûå òåëà îáëàäàþò è òðàíñëÿöèîííîé
ñèììåòðèåé, ò. å. ñïîñîáíîñòüþ ñîâìåùàòüñÿ ñ ñîáîé ïðè ïîñòó-
ïàòåëüíîì ïåðåìåùåíèè.
Äëÿ ñëîæíûõ ðåøåòîê âîçìîæíû äîïîëíèòåëüíûå ýëåìåíòû
ñèììåòðèè: âèíòîâàÿ îñü è ïëîñêîñòü çåðêàëüíîãî ñêîëüæåíèÿ.
Âèíòîâîé îñüþ n-ãî ïîðÿäêà íàçûâàåòñÿ ïðÿìàÿ, ïåðåìåùåíèå
âäîëü êîòîðîé ðåøåòêè ñ îäíîâðåìåííûì ïîâîðîòîì íà óãîë 2π/n
ïðèâîäèò ê åå ñîâìåùåíèþ ñ ñàìîé ñîáîé.
Ïëîñêîñòü çåðêàëüíîãî îòðàæåíèÿ — ýòî ïëîñêîñòü, ïðè îòðà-
æåíèè â êîòîðîé ñ îäíîâðåìåííûì ïàðàëëåëüíûì ñìåùåíèåì íà
îïðåäåëåííîå ðàññòîÿíèå ðåøåòêà ñîâìåùàåòñÿ ñàìà ñ ñîáîé.
Ñîâîêóïíîñòü âñåõ âîçìîæíûõ ýëåìåíòîâ ñèììåòðèè íàçûâàåò-
ñÿ ïðîñòðàíñòâåííîé ãðóïïîé.
Âñåãî ìîæåò ñóùåñòâîâàòü 230 ðàçëè÷íûõ ïðîñòðàíñòâåííûõ
ãðóïï, íàçûâàåìûõ ãðóïïàìè Ôåäîðîâà. Ê íàñòîÿùåìó âðåìåíè
îáíàðóæåíû êðèñòàëëû áîëåå 180 ïðîñòðàíñòâåííûõ ãðóïï.

17